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公开(公告)号：CN101251621A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810059874.9
申请日：2008-02-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B6/10
Abstract: 本发明公开了一种含Cu离子的光波导。在玻璃基片上表面设有平板状Cu离子扩散区，在平板状Cu离子扩散区中设有条形高极化率离子扩散区，条形高极化率离子扩散区作为光波导的芯层，条形高极化率离子扩散区的折射率高于玻璃基片的折射率，也高于平板状Cu离子扩散区的折射率。由于条形高极化率离子扩散区在平板状Cu离子扩散区的基础上形成，这种离子交换光波导具有Cu离子的蓝绿发光特性。同时这种光波导的制作过程中避免了高温条件下Cu盐离子交换形成条形光波导的离子交换过程，对掩膜的要求降低，因此具有更低的成本。
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公开(公告)号：CN101101355A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200710069098.6
申请日：2007-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B6/124
Abstract: 本发明公开了一种基于弯曲波导上集成光栅的波长色散器件。在集成光学衬底上的输入波导，带有多条栅线的弯曲条形光波导，位于弯曲条形光波导的凹面一侧的扇形的自由传输区，一系列的输出光波导位于弯曲条形光波导的焦平面或焦平面附近。对于在条形光波导中传输的光，由于栅线的衍射作用而产生衍射光，不同栅线产生的衍射光相互干涉，在弯曲条形光波导的焦平面上聚焦，不同波长的光被聚焦到不同的点，并经过输出光波导导出。本发明具有紧凑的结构，并且对制作工艺的要求更宽松，制作工艺更灵活，制作成本更低。
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公开(公告)号：CN101030830A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710066897.8
申请日：2007-01-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了应用于ROF系统中的一种基于微碟结构的微波接收和转换装置。利用电光效应来调制接收到的微波信号。由激光器发出的光进入光波导，光波导在基片上形成对称M－Z干涉结构，这种结构的存在能够将相位调制转化成强度调制，在M－Z干涉结构的两臂上分别耦合微碟光波谐振腔，在其中一个微碟光波谐振腔上加电极，形成单臂调制结构；若在两个微碟光波谐振腔上都加电场，则以推挽方式工作。另外，微波信号通过微带线耦合进入金属微波谐振腔，形成电场作用于微碟光波谐振腔。由于微碟的超高Q值以及同时谐振的原理，这个微波接收装置具有非常高的灵敏度和频率选择性，选择波导作为耦合器又可以减小整个装置的尺寸，方便以后的集成工作。
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公开(公告)号：CN101013181A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710067324.7
申请日：2007-02-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种兼容CMOS工艺的硅光波导制备方法。在SOI基片的顶层硅上制作一层二氧化硅或者氮化硅或者氮氧化硅掩膜层，并对掩膜层进行光刻和蚀刻，制作出光波导掩膜图案，然后对制备有掩膜图案的SOI基片进行氧化，即可以制作出硅光波导。本发明利用了硅的氧化特点，结合了选择性腐蚀技术，所提出的硅光波导制备方法与CMOS平面工艺完全兼容，不再需要采用硅刻蚀或腐蚀等非CMOS标准工艺过程。
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公开(公告)号：CN1975483A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610155173.6
申请日：2006-12-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B6/28
Abstract: 本发明公开了一种提高输出均匀性的改进型Y分支功分器。在Y分支的输入直波导两侧分别设置一段宽度窄的直波导。在输入直波导两侧分别设置一段宽度窄的波导的改进型Y分支功分器，能级联构成1×NY分支功分器。当输入波长为1.55μm时，本发明器件每级Y分支比以往的均匀性提高0.06dB，并对器件的损耗几乎不会产生影响，制作的容差也较好，这对于器件的制作和应用是非常重要的。本发明能够将一路通过光纤传输的光信号均匀分配到多条光纤通路，它可应用于光通讯和光信号处理，特别是光纤到户，光纤有线电视等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1862228A
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN200610051970.X
申请日：2006-06-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G01C19/72
Abstract: 本发明公开了一种化合物半导体集成光学光纤陀螺芯片。其波导下包层至波导上波层的构成双异质结或者单异质结外延材料，衬底是化合物半导体材料。并在在Y分支波导的内分叉处为半矩形或半椭圆状，外分叉处采用折线或弧线；在Y分支波导输出与水平臂的连接拐角处与水平分支臂之间增加一个过渡结构，该结构先扩束后收束，然后与水平分支臂连接。该集成光学芯片主要由一个Y分支波导作为功分器，两个相位调制器，同时也作TE/TM模式偏振器，相位调制器采用上下电极结构，上电极直接覆盖在脊波导之上，器件整体尺寸较小，能够克服LiNbO3材料制作的光纤陀螺所带来的温度漂移，抗辐射、抗冲击性能差的问题，而且能够实现单片集成。
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公开(公告)号：CN1847929A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610050751.X
申请日：2006-05-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种光陀螺用LiNbO3电光相位调制器。在X－切LiNbO3基片上或在Z－切LiNbO3基片上设有耦合器和调制区；所述的耦合器为多模干涉型2×2耦合器，光的输入波导和输出波导分别在2×2耦合器的两个端口上。本发明具有结构紧湊和设计制作容差大的特点；由于避免了Y型1×2耦合器结构中尖角的制作，器件的制作工艺更加稳定；光陀螺无需采用3dB耦合器而直接与光源和光探测器相连接，具有更低的损耗，并系统具有更高的集成度。
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公开(公告)号：CN1818727A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200610049849.3
申请日：2006-03-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及了一种用于集成光学传感的复合结构光波导。光波导为四层结构，包括预先形成的条形光波导的下包层和芯层，位于芯层上方的传感膜，以及位于传感膜上方的含有待测物质的介质。传感膜的折射率等于或高于预先形成的条形芯层的折射率，位于传感膜上方的含有待测物质的介质的折射率小于传感膜的折射率；预先形成的条形光波导的下包层的折射率小于芯层的折射率；构成“倒脊型”的复合光波导。在这种复合结构光波导中传播的光导波能量大部分分布在传感膜中，增强了光导波与待测物质的相互作用，提高了传感器的敏感程度，并具有较大的工艺容差。
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公开(公告)号：CN1253736C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200410053160.9
申请日：2004-07-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种采用弯曲形状定向耦合器耦合的光波导微环器件。在输入/输出光波导一定距离上，采用与具有闭环谐振结构的光波导微环相同的弯曲形状，并且与光微环并行设置，构成弯曲形状的定向耦合器，通过波导中光波模式消逝场实现输入/输出光波导与光波导微环间的光功率耦合，并行的一定距离是根据应用中耦合量大小需要确定的。本发明采用弯曲形状的定向耦合器，可以在相当长的距离上设置光微环与输入/输出光波导间的耦合，从而可以容易地实现不同大小的光微环输入/输出功率耦合，进一步地利用定向耦合器的特性以及电光效应等，还可以容易地实现功率耦合大小的可调控制。
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公开(公告)号：CN1746709A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510061073.2
申请日：2005-10-12
Applicant: 浙江南方通信集团股份有限公司 , 浙江大学
IPC: G02B6/134
Abstract: 一种离子掩模法制作玻璃掩埋光波导器件的方法。包括用真空蒸发或者射频溅射技术在玻璃表面淀积一层金属铝薄膜；用常规光刻工艺刻出光功分器图形，这里，将要形成波导的区域表面有金属薄膜覆盖，而非波导区的金属薄膜在光刻时被除去；接着用离子交换技术进行钾－钠离子交换制作离子掩膜；去掉金属掩膜后，进行银－钠离子交换；然后是钠离子交换使表面的钾、银离子浓度降低，形成掩埋的光波导；最后进行退火处理。本发明用交换离子层作掩膜，掩膜本身深入玻璃表层内部，具有数微米的深度，这样它不仅在深度方向上限制了离子的交换，而且在玻璃表层的横向也限制了离子的横向扩散，使波导的深宽比得到提高，有利于制作深掩埋的圆形波导。
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