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公开(公告)号：CN113726307A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110947614.0
申请日：2021-08-18
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种有效机电耦合系数可调的超高频谐振器，其结构包括：沟槽，电极，压电薄膜；电极位于压电薄膜上表面。沟槽横截面为矩形、梯形、弧形中任一种，长度方向与电极长度方向一致，沟槽数目、宽度和深度据实际情况确定。沟槽可位于压电薄膜上表面或下表面或位于上下表面，若其位于压电薄膜上表面，则位于电极左右两侧；若其位于压电薄膜下表面，则位于电极正下方；若其位于压电薄膜上下表面，则上表面的沟槽位于电极左右两侧，下表面的沟槽位于电极正下方。刻蚀沟槽能够有效减小超高频谐振器的带宽，且可以通过改变沟槽的宽度和深度调节有效机电耦合系数，实现带宽可调。
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公开(公告)号：CN110995189A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911030650.X
申请日：2019-10-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供了一种谐振器及其制备方法，能够有效抑制格型结构滤波器存在的非谐振区域谐振问题，并提升滤波器的品质和性能。本发明提供的格型结构滤波器，包括至少两个串联谐振器和多个并联谐振器，其特征在于：在上下谐振器的重叠区域中，一个谐振器的上电极与另一个谐振器的下电极之间，为非压电且非导体材料形成的填充层。本发明提供的制备方法其特征在于：在沉积完压电材料之后，对压电材料的局部区域先进行刻蚀；局部区域指搭建滤波器时不同谐振器上下电极相重叠、其间包含压电材料的区域。
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公开(公告)号：CN110880923A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911255614.3
申请日：2019-12-10
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种螺旋状的声波谐振器，包括衬底，衬底中设有空腔，空腔中设置有支撑柱，支撑柱上支撑着悬浮于空腔上方的声波谐振器；声波谐振器包括均为相同螺旋形状的种子层、下电极层、压电薄膜层和上电极层。该谐振器能够很好的提高谐振器的机电耦合系数。
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公开(公告)号：CN109511023A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811479373.6
申请日：2018-12-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的压电麦克风及制作方法，压电麦克风包括具有空腔的基底和位于基底上的压电堆叠结构，基底上的空腔为真空的振动空腔，压电堆叠结构依次包括底部电极，压电薄膜和顶部电极，基底包括基底底层，基底中间层和基底顶层，首先在基底底层上刻蚀出空腔，然后沉积基底中间层，之后在真空环境下基底中间层上键合基底顶层形成振动空腔，然后在基底顶层上刻蚀环形凹槽，在环形凹槽内沉积牺牲层，然后在基底顶层上依次沉积底部电极，压电薄膜和顶部电极，在顶部电极上开设腐蚀孔，将牺牲层腐蚀掉，完成压电麦克风及制作。本发明能够保证空腔内部的真空状态，不存在空气抵抗，大大提高了压电薄膜的应变应力，输出更强的电信号。
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公开(公告)号：CN109474252A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811271504.1
申请日：2018-10-29
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供了一种可提高Q值的空腔薄膜体声波谐振器及其制备方法。本发明提供的可提高Q值的空腔薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，中部具有向上开口的凹槽；SiC/Diamond薄膜层，形成在衬底上，中部设有与凹槽对应的贯穿口；以及压电震荡堆部，形成在SiC/Diamond薄膜层上，并且位于贯穿口的正上方，从下至上依次包括：底电极、压电层、和顶电极。本发明利用SiC/Diamond薄膜层声波传播速率快、硬度高的特点，可以很好的抑制压电薄膜中产生的横向振动模式的声波，并且可以减小软质衬底引入的机械阻尼，减少声波能量损耗，降低薄膜体声波谐振器的插入损耗，获得高的Q值和机电耦合系数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106500374B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610931796.1
申请日：2016-10-31
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开一种双相纳米复合太阳能吸收涂层及制造方法，该涂层包括在基底上依次设有红外高反射层、主吸收层、次吸收层和减反层，将基底用化学法清洗后置于真空炉中，然后抽真空，往炉中通入高流量氮气，打开Ti靶，在基底沉积TiN的红外高反射层；然后关闭Ti靶，打开AlTi合金靶，通入低流量的氧气和氮气，在低氧低氮环境中，在红外高反射层上沉积双相纳米结构主吸收层；增加氮气流量，在低氧高氮环境中，主吸收层上沉积单相纳米结构的次吸收层；最后关闭氮气，在高氧浓度条件下沉积减反层，关闭加热器，自然冷却即得到四层结构的Ti‑Al‑O‑N双相纳米复合太阳能吸收涂层，本发明制造的涂层吸收效率好，能量转换效率高，具有较大推广应用价值。
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公开(公告)号：CN108326306A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810019933.3
申请日：2018-01-09
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种孔隙率可控的多孔纳米金属制备方法。依据特定保护性气氛下测试的纳米铜粉松装密度值，设计加工高强石墨模具，改变模具尺寸控制装粉密度，并进行放电等离子快速烧结以获得孔隙率在30％～80％范围内变化的纳米多孔铜材料。该方法无需对烧结体进行脱合金化，一步到位制备纳米多孔铜，工艺简单可重复、低能环保。制备得到纳米多孔铜材料孔隙尺寸小、分布均匀，孔隙率可控，且性能优异。
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公开(公告)号：CN108197399A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810026906.9
申请日：2018-01-11
Applicant: 武汉大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开的相对密度和棱径尺寸可控的纳米多孔介质建模方法及系统，包括：S100对立方体模型在三维方向上划分网格获得三维网格模型；S200用有限差分法得具三维双连续多孔结构的三维网格模型；S300利用阶跃函数计算三维网络模型当前时刻的相对密度；S400在三维网格模型各棱格点的内部生成随机割线，使用双正态分布函数拟合随机割线的长度概率密度分布，长度概率分布最大的极值点对应的长度即平均棱径；S500迭代执行步骤S100～S300，直至三维网格模型的相对密度和平均棱径满足预设要求。采用本发明方法可获得相对密度和棱径可控的纳米多孔介质模型，所获得的模型可用于单向拉伸分子动力学模拟。
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公开(公告)号：CN108103457A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711488329.7
申请日：2017-12-30
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于薄膜材料领域，具体涉及一种Cr/Cu‑Pb‑Sn‑WS2自润滑纳米复合涂层材料及其制备方法。所述自润滑纳米复合涂层材料由过渡层和交替复合涂层组成，所述过渡层为Cr层，所述交替复合涂层为Cu‑Pb‑Sn‑WS2/Cr层，所述Cu‑Pb‑Sn‑WS2/Cr层是由Cu‑Pb‑Sn‑WS2靶和Cr靶交替沉积所得，所述Cu‑Pb‑Sn‑WS2靶的各组分按质量百分比计为：70％Cu、10％Pb、10％Sn和10％WS2。本发明采用Cr与Cu‑Pb‑Sn‑WS2交替沉积形成复合涂层，材料结构上比较新颖，且制备的涂层致密性较好，具有良好的抗粘着磨损性能，金属自润滑涂层的摩擦系数小，稳定在0.2以下。
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公开(公告)号：CN118237980A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410482578.9
申请日：2024-04-22
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请提供了一种刀具应力温度检测装置及检测方法，检测装置包括刀柄机构、刀头机构和检测机构，刀柄机构包括刀柄以及凸设于刀柄头部的限位凸；刀头机构包括刀头以及设于刀头上的限位孔，刀头螺接固定于刀柄上，限位孔的孔形状与限位凸的外周形状匹配；检测机构包括力热敏感元件，集成设置于限位凸上的力热敏感元件。本申请通过将力热敏感元件集成设置于限位凸上，在刀头上开设限位孔，刀具运行过程中，应力集中于限位孔处，并传递至力热敏感元件上，温度热传导至力热敏感元件上，实现对刀具的应力和温度的在线监测，检测结果更加灵敏、准确；将力热敏感元件集成设置于刀柄上，更换磨损的刀头时无需更换刀柄；有效保障数控机床的平稳高效运行。
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