公开(公告)号：CN101135774A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200710148152.6

申请日：2007-08-28

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 壶井修 ,  高马悟觉 ,  曾根田弘光 ,  奥田久雄

IPC: G02B26/10 ,  G01P3/00 ,  G01P15/00

CPC classification number: H02N1/008

Abstract: 一种微振荡元件，其有利于调整与振荡部的振荡运动相关联的固有频率。该微振荡元件包括：例如振荡部、框架、以及连接该振荡部和框架的连接部。该连接部限定出该振荡部相对于该框架的振荡运动的振荡轴中心。该振荡部包括主振荡体以及连接到该主振荡体的重量部。该重量部沿与振荡轴中心相交的方向能移动。

公开(公告)号：CN100362388C

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200410028718.8

申请日：2004-03-15

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 壶井修 ,  高马悟觉 ,  奥田久雄 ,  曾根田弘光 ,  宓晓宇 ,  上田知史 ,  佐脇一平 ,  中村义孝

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: H02N1/008

Abstract: 一种微型振荡元件包括：可移动主部件；第一框架和第二框架；和第一连接部件，连接可移动主部件和第一框架，并且限定用于可移动主部件相对于第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴。元件还包括第二连接部件，连接第一框架和第二框架，并且限定用于第一框架和可移动主部件相对于第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴。设有产生用于第一旋转操作的驱动力的第一驱动机构。设有产生用于第二旋转操作的驱动力的第二驱动机构。第一旋转轴和第二旋转轴不垂直。第一框架具有包括电极支撑侧部的四个侧部，第一驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向可移动主部件延伸，并且第二驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向第二框架延伸。

公开(公告)号：CN1847916A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200610074386.6

申请日：2006-04-14

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 曾根田弘光 ,  宓晓宇 ,  奥田久雄 ,  壶井修 ,  高马悟觉 ,  上田知史

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B6/357 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/3584 ,  Y10S359/90

Abstract: 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间，用于电连接该致动器与该内部互连结构。