一种螺线管线圈微型磁通门

    公开(公告)号:CN205941858U

    公开(公告)日:2017-02-08

    申请号:CN201621001972.3

    申请日:2016-08-31

    Abstract: 本实用新型涉及一种螺线管线圈微型磁通门,包括相互键合的第一高阻硅片和第一高阻硅片,第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有一内置铁芯层的铁芯腔,铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔,螺线管腔在第一高阻硅片和/或第二高阻硅片的外表面上形成有填充口,填充口上覆盖设置有保护层,保护层上开设有通至螺线管线圈的电极窗口。该螺线管线圈微型磁通门环保性好、制备简单、成品率高。

    一种微型磁通门传感器
    63.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206959858U

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201720925327.9

    申请日:2017-07-27

    Abstract: 本实用新型涉及一种微型磁通门传感器,包括相互键合的第一高阻硅片和第二高阻硅片,第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有铁芯腔,铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔,铁芯腔的一端开口设置,铁芯腔内插设有带材磁芯,自铁芯腔的开口通过填充材料将带材磁芯密封固定在铁芯腔内,第一高阻硅片、第二高阻硅片的外表面上分别蚀刻有与螺线管腔相联通的电极窗口。该微型磁通门传感器可以采用一次成型填充工艺制作螺线管线圈,避免了使用微电镀工艺,不仅有效简化了工艺流程,提高了连接通孔的成功率,而且降低了对环境的污染,缩减了环保成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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