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公开(公告)号：CN119789758A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411964335.5
申请日：2024-12-30
IPC: H10N10/80 , H10N10/855 , H10N10/01 , B81B7/02 , G02B5/00
Abstract: 本发明属于热释电传感领域，涉及一种多通道锆钛酸铅热释电探测器及其制备方法。具体结构为：自下而上依次为衬底与探测层；所述衬底上具有上下贯穿的空腔；所述探测层自下而上依次为下电极、锆钛酸铅层、上电极、介质层以及超表面层；所述锆钛酸铅层位于所述下电极的中间区域，且所述下电极的四周边缘未覆盖所述锆钛酸铅层；所述锆钛酸铅层上完全覆盖所述上电极；所述上电极的中间区域覆盖所述介质层，所述上电极的四周边缘未覆盖所述介质层；所述介质层上覆盖所述超表面层；所述超表面层在所述衬底上的正投影位于所述空腔内。通过在每一个空腔相对应不同的超表面层图形，响应不同频率的电磁波，从而形成对不同电磁波频域响应的多通道探测器。
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公开(公告)号：CN119781093A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202510076140.5
申请日：2025-01-17
Applicant: 武汉高德智感科技有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光学元件、红外光学系统及红外摄像模组，该光学元件包括基底，所述基底的一面具有凸面，所述基底的另一面具有亚波长结构超构表面。基底材质为单晶硅，基底一面的凸面采用光刻刻蚀半导体工艺制备而成，基底另一面的亚波长结构超构表面采用光刻刻蚀的半导体工艺制备而成。本发明采用了一面球面与一面超构表面构成一个独立的光学元件，这种结构方式可以结合两种面型的优势高效的利用光学元件，实现光线聚焦和像差控制，提高成像质量，降低了成本，减轻了系统重量，缩小了系统体积。
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公开(公告)号：CN119575686A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202410977510.8
申请日：2024-07-22
Abstract: 本发明公开了一种中波红外的像素级光谱偏振光学系统，属于透镜领域，包括：沿入射光路依次设置的折射透镜组、冷光阑、超构微透镜阵列和中波红外量子点探测器；超构微透镜阵列包括物侧微结构和像侧微结构；像侧微结构用于实现聚焦；物侧微结构包含多个周期分布的物侧单元；对于各物侧单元，包括偏振金属线栅结构和多个超表面‑微腔结构；偏振金属线栅结构由金属线栅按照不同方向排列形成，以实现不同的正交偏振态探测；超表面‑微腔结构包括中间介质层、位于中间介质层两侧的分布式布拉格光栅、以及嵌入中间介质层的超表面柱状结构单元阵列，超表面柱状结构单元阵列用于实现不同波段光的滤波。系统具备良好成像质量、小体积、实时成像等优点。
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公开(公告)号：CN118191982A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410475129.1
申请日：2024-04-19
Abstract: 本发明公开了一种超表面透镜及制造方法、红外折超混合量子点相机，属于红外成像与微纳光子学技术领域，包括沿光轴依次设置的透镜、超表面透镜、量子点红外探测器以及光学镜头组装件；超表面透镜采用键合工艺，提升超表面厚度以及其能承受的机械应力。本发明仅采用双片式简单光学结构，实现了光学系统的简单化，使用范围广泛，同时保证了光学系统在红外波段的成像质量，并将光学系统与量子点红外探测器结合，组成红外量子点相机。
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公开(公告)号：CN117538968A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311731063.X
申请日：2023-12-15
Abstract: 本发明公开了一种将高斯光整形为平行均匀光的超表面透镜及设计方法，属于激光技术领域。超表面透镜包括介质衬底层和超表面微结构；超表面微结构包括分别分布于所述介质衬底层两侧的第一超表面和第二超表面，均由多个柱状微结构单元周期排列而成；基于高斯光和目标平行均匀光的辐照度分布对超表面透镜的柱状微结构单元的分布方式进行优化设计，使得出射光束与光轴平行且在目标范围内均匀分布。实现了对激光的整形并获得目标光束，同时光学系统结构简单，使用范围广泛，适用于多种激光器的激光整形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112505808B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202011448569.6
申请日：2020-12-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种长波红外宽带消色差超表面透镜，属于红外成像领域和微纳光子学领域，该超表面透镜中的超表面透镜单元按照四方晶格的形式周期性排列；超表面透镜单元由电介质衬底和位于电介质衬底中心的微结构组成，且微结构在电介质衬底上的投影图案是关于90°角旋转对称的图形；不同位置的微结构所引入的相位和相位色散满足和各位置处的微结构选取方式为：根据上述两个公式得到理论参数组合，通过带加权的一阶线性拟合得到各微结构所在单元的相位及对应的相位色散，记为实际参数组合，将各参数组合绘制在同一散点图中，选取与理论参数组合最接近的实际参数组合对应的微结构。本发明能够在长波红外波段内实现宽带消色差。
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公开(公告)号：CN111488749B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202010029726.3
申请日：2020-01-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多光谱的超表面热辐射信息加载、读取装置和方法，属于微纳光学领域，加载装置包括：自下而上依次分布的金属背板、绝缘层和光学天线阵列；金属背板、绝缘层和光学天线阵列共同构成频率选择性超表面吸收体；光学天线阵列分布有呈阵列分布的多种天线簇，且各种天线簇横向特征尺寸不同，使频率选择性超表面吸收体发射不同波长的电磁波，将彼此独立的图像信息分别加载到横向特征尺寸不同的光学天线阵列上，并将加载的信息调制到其发射的不同波长的电磁波波长维度中。本发明装置将不同类别的信息加载到不同波长的长波红外热辐射上，载体信息容量和保密性增加；只需要选择相应的滤光片就能将信息读出，操作简单。
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公开(公告)号：CN110568610B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910770470.9
申请日：2019-08-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种静电式动态可调反射式变焦超表面透镜及其制备方法，属于动态可调超表面领域，包括：玻璃衬底、ITO薄膜、天线、空气间隙、支撑结构、氮化硅薄膜、硅框架和金背板；天线用于入射光相位调控；空气间隙用于提供金背板变形的空间，金背板的最大变形程度为空气间隙厚度的三分之一；支撑结构用于形成空气间隙；金背板作为正电极且ITO薄膜作为负电极构成静电式MEMS系统，金背板为活动电极，用于在电压的调控下实现不同程度的凸起形变；天线的几何参数根据超表面透镜所需初始焦距、入射光波长和广义斯涅耳定律获取；本发明可通过改变ITO薄膜和金背板之间的电压，调节静态超表面透镜焦距，使成品率上升。
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公开(公告)号：CN111488749A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010029726.3
申请日：2020-01-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多光谱的超表面热辐射信息加载、读取装置和方法，属于微纳光学领域，加载装置包括：自下而上依次分布的金属背板、绝缘层和光学天线阵列；金属背板、绝缘层和光学天线阵列共同构成频率选择性超表面吸收体；光学天线阵列分布有呈阵列分布的多种天线簇，且各种天线簇横向特征尺寸不同，使频率选择性超表面吸收体发射不同波长的电磁波，将彼此独立的图像信息分别加载到横向特征尺寸不同的光学天线阵列上，并将加载的信息调制到其发射的不同波长的电磁波波长维度中。本发明装置将不同类别的信息加载到不同波长的长波红外热辐射上，载体信息容量和保密性增加；只需要选择相应的滤光片就能将信息读出，操作简单。
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公开(公告)号：CN111115565A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911354191.0
申请日：2019-12-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00 , B81B7/00 , B81B7/02 , G01J5/20 , G01N21/3504
Abstract: 本发明属于红外光源领域，具体公开了一种MEMS红外光源的制备方法及其应用，制备方法包括：在单晶硅片的一面上制备能透红外光的支撑层；在单晶硅片的另一面上采用MEMS工艺刻蚀并将该单晶硅片的中间区域刻穿，形成掏空结构；在支撑层上进行图案溅射，得到红外热辐射体，并在红外热辐射体表面沉积能透红外光且绝热的隔离层，以及在隔离层上沉积反射层，得到背发射式结构的硅基MEMS红外光源。本发明在单晶硅片的一面设置支撑层后，在另一面进行MEMS工艺刻蚀，形成边缘为硅基且中间区域刻穿的掏空结构，同时在支撑层依次设置红外热辐射体、隔离层和反射层。本发明制备得到背发射式的红外光源，红外发射效率高，在应用是能够有效降低集成难度、集成成本。
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