公开(公告)号：CN102967729A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210344083.7

申请日：2012-09-18

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 王鹏 ,  郭群英 ,  汪祖民 ,  何凯旋 ,  陈博 ,  陈璞 ,  王文婧 ,  黄斌 ,  徐栋 ,  吕东锋

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明一种压阻式MEMS加速度计，其特征在于它由第一质量块（4）、第二质量块（6）以及玻璃衬底（10）通过键合连接组成，第一质量块（4）中设有悬臂梁（9），悬臂梁上制有压敏电阻（2）及铝引线（3），第二质量块（6）设有加强链（8）。本发明具有如下优点：将梁-岛式结构与加强链式结构结合在一起，实现了较高的灵敏度与较高的固有频率；加强链式结构有效的提高了加速度计的抗冲击能力，避免了恶劣环境下加速度计的失效问题，并能够承受更高的横向加速度，降低了交叉轴灵敏度，进一步提高了加速度计性能。

公开(公告)号：CN102967394A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210340680.2

申请日：2012-09-15

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 汪祖民 ,  展明浩 ,  吕东锋 ,  郭群英 ,  徐栋 ,  黄斌 ,  王鹏 ,  何凯旋

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明涉及微电子机械领域中的一种对称电容式压力传感器，采用MEMS体硅工艺进行加工制作，其特征在于包括：硅片制作的基体（6），基体（6）两面分别设有完全对称的检测电容腔（3）和参考电容腔（4），基体（6）背面键合连接硅盖板（5），基体（6）正面键合连接由SOI硅片制成的压力敏感膜（1），压力敏感膜（1）一侧的基体上设有电极（7）。