一种片上高品质因子硫系微环谐振腔的制备方法

    公开(公告)号:CN110596988B

    公开(公告)日:2020-10-13

    申请号:CN201911007085.5

    申请日:2019-10-22

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明涉及一种片上高品质因子硫系微环谐振腔的制备方法,属于片上微纳光电子器件制备技术领域。包括:在硫系薄膜表面旋涂电子束胶、电子束选择性曝光电子束胶、退火炉回流、反应离子刻蚀、在波导结构上旋涂热固性聚合物及退火炉退火等步骤。本发明公布的制备方法解决了国际上高非线性光子器件品质因子低,性能差的问题,适用于在硫系薄膜上制备高品质、高非线性的环形谐振腔,Q提高2个数量级以上,显著提高其在片上光电子器件应用领域的应用性能,并且可以大批量制备,适用于大型光子集成。

    一种全光调谐温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109799002A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201910219223.X

    申请日:2019-03-21

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明涉及芯片尺度温度测量技术领域,更具体地,涉及一种全光调谐温度传感器及其制备方法。包括以下步骤,1)采用热蒸镀的方法在具有二氧化硅牺牲层的硅片上沉积硫系薄膜,利用电子束曝光、反应离子刻蚀及湿法化学腐蚀等工艺在硫系薄膜表面加工自由站立的微盘谐振器主体;2)在微盘谐振器主体上选择性地沉积光致热敏材料作为吸收层,即可完成温度传感器的制作;本发明还公开了一种全光调谐的温度传感器,从下往上包括硅片、二氧化硅牺牲层、图形化的硫系薄膜和光致热敏材料吸收层;本发明利用光致热敏材料对光强吸收后易发热的机理,来增强硫系微盘谐振器的热响应度,从而有效提高全光调谐温度传感器的探测灵敏度。

    一种含硫聚合物作为锂硫电池正极材料的制备方法

    公开(公告)号:CN102664264B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210167245.4

    申请日:2012-05-28

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明公开了一种含硫聚合物作为锂硫二次电池正极材料的制备方法。包括如下步骤:(1)将聚硫橡胶与硫按摩尔比1:0.2~1:7混合均匀;(2)在惰性气氛中加热保温,使硫与聚硫橡胶发生硫化反应,得到含硫聚合物材料。本发明采用聚硫橡胶作为基本材料,直接与硫进行硫化反应后即可作为锂硫电池正极材料,原料成本低,反应简单,易于操作,因此降低了生产成本,有利于节能环保。以线型聚合物为基础,反应后得到的含硫聚合物,通过化学键把硫富集、固定、彼此连接,这样使硫以化学键的方式彼此网状连接起来,通过硫硫键的断开和链接实现储能和释能,可以减少小分子放电产物的产生,有效保护硫和放电产物被电解液溶解并防止电极片坍陷,提高电池循环性能。

    一种自适应光声显微成像方法、装置及设备

    公开(公告)号:CN119555610A

    公开(公告)日:2025-03-04

    申请号:CN202411577320.3

    申请日:2024-11-06

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本申请涉及光声显微成像技术领域,公开了一种自适应光声显微成像方法、装置及设备。上述方法应用于自适应光声显微成像装置,上述装置包括:初始光声显微成像组件、连续波激光器和空间光调制器;上述方法包括:控制初始光声显微成像组件发出第一脉冲激光和第二脉冲激光,并控制连续波激光器发出连续波激光;控制空间光调制器对上述第一脉冲激光、上述第二脉冲激光和上述连续波激光进行波前调制;其中,上述空间光调制器在进行波前调制时,根据差分光声信号作为反馈。本申请使用贪婪算法优化SLM上显示的相位图,并通过GR效应逐点动态补偿吸收体引起的像差,揭示传统PAM无法辨别的微结构,补偿像差可以有效提高信号强度和横向分辨率。

    一种片上全集成的紧凑型可调谐布里渊激光器

    公开(公告)号:CN117996555A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202410141052.4

    申请日:2024-02-01

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明涉及非线性光学技术领域,具体公开一种片上全集成的紧凑型可调谐布里渊激光器,包括片上泵浦激光器和布里渊光子芯片。布里渊光子芯片包括衬底、波导结构和包层,所述波导结构包括微环谐振腔和耦合波导;所述耦合波导的位置设置在所述耦合波导内的光可以耦合到微环谐振腔中的范围内;所述耦合波导包含有上耦合波导和下耦合波导;所述上耦合波导用于只耦合泵浦光模式的光,所述下耦合波导用于只耦合斯托克斯光模式的光,以使泵浦光和斯托克斯光从不同的耦合波导输出;该片上全集成的紧凑型可调谐布里渊激光器解决了布里渊激光器中存在环形器等非互易器件,难以片上全集成的问题。

    一种基于多级联布里渊激光的微波源

    公开(公告)号:CN117996551A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202410140854.3

    申请日:2024-02-01

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于多级联布里渊激光的微波源,其起始位激光器用于发送激光至第一波导传输;其第一波导通过第一微环与第二波导耦合连接;其第二波导的输出端与阵列波导光栅的输入端连接,且第二波导耦合连接有第二微环;阵列波导光栅的多个输出端分别与多个中置位激光器的输入端连接;其多个中置位激光器的输出端并联、且与多个光电探测器的输入端连接;所以此方案能解决片上全光微波信号功率低的问题,产生高相位相干、频率间隔可选的光信号,使用光电探测器对不同光信号进行拍频,得到低相噪的微波信号,为大功率、高相干、大带宽的微波甚至太赫兹信号的发生提供可实用化方案。

    一种片上高品质因子硫系光子晶体平板的制备方法

    公开(公告)号:CN117568746A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202311541197.5

    申请日:2023-11-20

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明属于晶体平板制备技术领域,具体涉及一种片上高品质因子硫系光子晶体平板的制备方法,所述制备方法包括以下步骤:S1.在硅基衬底上热蒸镀硫系薄膜,且由上至下依次为硫系薄膜层、二氧化硅下包层、硅衬底构成硫系薄膜样品;S2.在上述硫系薄膜样品的上表面旋涂光刻胶;通过干法刻蚀、物理去胶和水浴溶胶后,进一步热退火实现高品质因子光子晶体面板制备。基于硫系材料具有的非易失性光致折变特性,通过带隙光照射制备的硫系光子晶体面板,可以实现对面板内谐振光的动态调控;本发明能够在简化器件结构的同时可获得具有超高Q值的谐振模式,可以突破光子晶体在光锥下方模式设计的限制,且应用硫系薄膜的光致折变效应可实现谐振无损耗的连续调谐。

Patent Agency Ranking