流体增强介电泳单细胞排列与控制芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN107118938A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710223941.5

    申请日:2017-04-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于生物微流控芯片技术领域,为解决现有的单细胞分析用芯片可靠性低、成本高及不易释放单细胞的技术问题,提供了一种流体增强介电泳单细胞排列与控制芯片及其制作方法,芯片整体为三明治式结构,从上至下依次为导管接头、上基底、上层微电极、微通道、微墙阵列、下层微电极和下基底,上基底上设置有两个便于实验缓冲液进样与出样的通孔,导管接头固定在上基底上表面的通孔处,上层微电极和下层微电极均为叉指电极,上层微电极与下层微电极垂直相交设置,微墙阵列为微米级的圆形深孔,每个微墙位于上层微电极与下层微电极交叉处的中心。本发明解决了现有芯片原理单一产生的效率低、可靠性低、成本高且不易释放单细胞的问题。

    一种温度自补偿的光纤珐珀气体折射率传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN105842198A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610398747.6

    申请日:2016-06-08

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种温度自补偿的光纤珐珀气体折射率传感器及其制作方法,该传感器包括单模光纤、石英连接管和石英毛细管,光纤一端插入石英连接管一端,石英毛细管的一端插入石英连接管另一端,光纤和石英毛细管之间形成法珀腔气室;光纤与石英连接管一端通过熔接点熔接,石英连接管另一端通过熔接点与石英毛细管熔接;所述石英毛细管的内径小于光纤的纤芯直径。本发明通过温度补偿,降低了光纤珐珀气体折射率传感器的温度漂移,使传感器可以应用于高温环境下的折射率测试;信号耦合情况好,灵敏度高;所得光纤珐珀气体折射率传感器采用全石英结构,具有良好的耐高温性能,适于高温环境下应用。

    集成黑硅纳米结构吸收层及多层组合膜结构的敏感元件

    公开(公告)号:CN105675530A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610043556.8

    申请日:2016-01-24

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01N21/3504

    Abstract: 本发明涉及红外气体探测器的敏感元件,具体是一种集成黑硅纳米结构吸收层及多层组合膜结构的敏感元件,进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。所述敏感元件由两块敏感元基片加工获得,其加工方法包括:1、加工第一敏感元基片;2、加工第二敏感元基片;3、加工敏感元件。加工工艺合理,所得敏感元件具备良好的热吸收性能和热响应性能,能用于构建高性能红外气体探测器,满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、工业安全生产等领域中的监测需要。

    恶劣环境物理参量的有线提取方法及装置

    公开(公告)号:CN105355024A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510861223.1

    申请日:2015-12-02

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G08C17/02 G08C17/04

    Abstract: 本发明公开了一种恶劣环境物理参量的有线提取方法及装置,该装置包括处在恶劣环境下的物理参量敏感单元,同时处在恶劣环境与普通环境中信号传输单元,处在普通环境中的信号读取单元,所述物理参量单元通过信号传输单元与信号读取单元连接,恶劣环境为温度大于150℃以上的高温环境;普通环境即我们生活的常温常压环境。本发明使用有线方式提取恶劣环境的物理参量,彻底摈弃了恶劣环境物理参量无线无源传感方式,规避了无线传输方式中无线信号被环境吸收、反射等的衰减问题和被环境噪声掩盖问题;有线方式可以对物理参量敏感单元中损耗的能量进行补充,从而避免无线无源传感器工作性能依赖于敏感单元Q值的缺陷。

    基于MEMS技术的阵列式气味检测元件

    公开(公告)号:CN102590450B

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201210018690.4

    申请日:2012-01-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及气敏传感器领域,具体是一种基于MEMS技术的阵列式气味检测元件。解决了现有电子鼻所用气敏传感器阵列中的个体存在响应特性漂移不一致的问题。所述检测元件包括半导体基底,以及在半导体基底上采用MEMS加工工艺加工得到的:气味敏感单元、用以检测气味敏感单元工作温度的感温单元、用以将气味敏感单元加热至所需工作温度的加热单元;所述气味敏感单元包含按照阵列排布的若干气敏型金属氧化物薄膜,且各薄膜为尺寸参数各异的同种气敏型金属氧化物,各薄膜上分别设有两个用于与数据采集设备连接的电极。本发明结构简单,能采用目前发展已较成熟的MEMS技术加工实现,利于实现电子鼻的集成化、小型化,且方法合理,识别准确。

    带温度补偿的无线无源高温压力传感器及其温度补偿算法

    公开(公告)号:CN103698060B

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201310726851.X

    申请日:2013-12-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及无线无源高温压力传感器,具体是一种带温度补偿的无线无源高温压力传感器及其温度补偿算法。本发明解决了现有无线无源高温压力传感器无法在温度时刻变化的环境下进行压力测量的问题。带温度补偿的无线无源高温压力传感器,包括第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片;第一生瓷片的上表面左部布置有第一平板电容器的下极板;第一生瓷片的上表面右部布置有第二平板电容器的下极板;第一电感线圈与第一平板电容器共同构成温度补偿敏感LC环路;第二电感线圈与第二平板电容器共同构成主敏感LC环路。本发明适用于自动化、航天、航空、国防军工领域高温环境下的压力测量。

    无线无源电容式加速度计
    70.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103293337B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310179514.3

    申请日:2013-05-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种无线无源电容式加速度计,其包括内设封闭空腔的衬底,质量块通过悬臂梁固定在封闭空腔内;封闭空腔内位于质量块上方的位置设有第一电容、位于质量块下方的位置设有第二电容;衬底的底面上设有平面螺旋电感;衬底和质量块上都通过TSV工艺打孔溅射有电连线,电连线将第一电容、第二电容和平面螺旋电感串联成闭合回路。本发明传感器设计巧妙,结构简单,灵敏度高,测试结果准确,无线无源,可以在恶劣环境中使用,而且测量时采用非接触式测量,大大的扩宽了该传感器的适用范围。

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