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公开(公告)号：CN105158506A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510544653.0
申请日：2015-08-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明为一种光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法，该加速度传感器主要由外壳、光纤、加速度敏感元件、基座等构成，采用MEMS技术加工传感器的外壳、加速度敏感元件和基座，通过MEMS键合技术实现基座、加速度敏感元件和外壳的固定，光纤固定在光纤套管内，通过熔接技术实现光纤和外壳的固定。通过MEMS技术在加速度敏感元件的中央加工质量块，将光纤出光面和加速度敏感元件上的质量块平行放置构成法珀腔实现高灵敏度测量。本发明具有体积小、批量生产，一致性好，温度系数低，耐高温的优点，能够满足常规及特殊环境下的加速度测量。
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公开(公告)号：CN112197893B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202010908776.9
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种测量力学参数的光纤法珀传感器及其制造方法。其中，测量力学参数的光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其插入于第一管体，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其插入于第二管体，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
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公开(公告)号：CN105865614A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610411785.0
申请日：2016-06-14
CPC classification number: G01H9/004 , G02B6/2551 , G02B6/30
Abstract: 本发明公开了一种新型光纤珐珀超声水听器及其制作方法，该水听器可以用于测量高强度聚焦声场，包括光纤和熔接在光纤端部的石英毛细管，所述石英毛细管端面和石英毛细管正对的光纤的端面均镀有高反膜，石英毛细管外径与单模光纤外径相同，内径小于单模光纤纤芯直径；若使用的石英毛细管内径大于光纤纤芯直径，可以适当增大熔接强度，使石英毛细管前端塌陷至内径小于光纤纤芯直径。本发明所得的新型光纤珐珀超声水听器具有结构简单，干涉信号强，强度高、空间分辨率高，灵敏度高等优点，且能够承受HIFU声场的高声压、高温。
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公开(公告)号：CN113340492A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110769704.5
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种光纤法珀压力传感器的敏感单元的批量化制备方法，包括以下步骤：准备第一石英片和第二石英片，对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面进行抛光；在第一石英片的上表面制作多个凹槽；在第一石英片的下表面，在与各个凹槽相应的位置制作与该凹槽共轴且与该凹槽连通的通孔；将第二石英片的上表面以覆盖多个凹槽的方式与第一石英片的上表面结合，形成层叠体；并且对层叠体的多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
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公开(公告)号：CN107941390B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201711114757.3
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种光纤法珀传感器及其制造方法。其中，光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有沿着轴线方向依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其沿着轴线方向设置在第一管体内，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其沿着轴线方向设置在第二管体内，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105355024B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510861223.1
申请日：2015-12-02
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种恶劣环境物理参量的有线提取方法及装置，该装置包括处在恶劣环境下的物理参量敏感单元，同时处在恶劣环境与普通环境中信号传输单元，处在普通环境中的信号读取单元，所述物理参量单元通过信号传输单元与信号读取单元连接，恶劣环境为温度大于150℃以上的高温环境；普通环境即我们生活的常温常压环境。本发明使用有线方式提取恶劣环境的物理参量，彻底摈弃了恶劣环境物理参量无线无源传感方式，规避了无线传输方式中无线信号被环境吸收、反射等的衰减问题和被环境噪声掩盖问题；有线方式可以对物理参量敏感单元中损耗的能量进行补充，从而避免无线无源传感器工作性能依赖于敏感单元Q值的缺陷。
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公开(公告)号：CN104614104B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510026101.0
申请日：2015-01-19
Applicant: 中北大学 , 中国电子科技集团公司第四十一研究所
Abstract: 本发明公开了一种制作简单、成本低廉的全石英光纤法珀高温压力传感器及其制作方法。通过机械加工方法对石英进行加工，通过高温焰火熔接，将带有光纤的套管管插入预留的孔径中熔接固定形成全石英法珀压力传感器。传感器各部分采用机械加工，膜片尺寸、法珀腔尺寸容易控制。采用石英材料加工传感器，使传感器温度系数小，能适应高温、强酸碱等复杂恶劣的环境。
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公开(公告)号：CN105271660B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510724104.1
申请日：2015-10-31
Applicant: 中北大学
IPC: C03B23/07
Abstract: 本发明为一种微型石英球壳结构，包括中空的石英球形壳体，在石英球形壳体的尾部连接有中空的石英管，石英球形壳体与石英管连接相通，石英球形壳体的直径为微米级至纳米级；其制备方法为：将石英管首尾两端切平；石英管的首端连接带有微流阀门的高气压系统、末端固定在光纤熔接机上；调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，将石英管的末端端面熔为密闭状态；调整高气压系统气压大小，调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，即可获得尺寸不同的石英球形壳体。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器，可获得一种尺寸可以调节的微型石英球壳结构，球壳球形度良好。
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公开(公告)号：CN105806543A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610317815.1
申请日：2016-05-16
Applicant: 中北大学
IPC: G01L11/02
CPC classification number: G01L11/025
Abstract: 本发明公开了一种光纤法珀高温压力传感器，包括传感头、光纤、玻璃管，所述传感头包括玻璃基底、单抛硅片和硅膜片，玻璃基底底面设有一空腔，单抛硅片安装在空腔内，且底面与硅膜片的上顶面相连，硅膜片下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底顶面中部设有一圆形凸台，所述圆形凸台的中心处设有一通孔，所述玻璃管套接在光纤外，且玻璃管的一端插入通孔与传感器、光纤实现固接，确保腔体处于密封真空环境。本发明耐高温、成本低廉，结构微小，并具有光纤珐珀传感器精度高，抗电磁干扰等的优点。
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公开(公告)号：CN105271660A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510724104.1
申请日：2015-10-31
Applicant: 中北大学
IPC: C03B23/07
Abstract: 本发明为一种微型石英球壳结构，包括中空的石英球形壳体，在石英球形壳体的尾部连接有中空的石英管，石英球形壳体与石英管连接相通，石英球形壳体的直径为微米级至纳米级；其制备方法为：将石英管首尾两端切平；石英管的首端连接带有微流阀门的高气压系统、末端固定在光纤熔接机上；调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，将石英管的末端端面熔为密闭状态；调整高气压系统气压大小，调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，即可获得尺寸不同的石英球形壳体。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器，可获得一种尺寸可以调节的微型石英球壳结构，球壳球形度良好。
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