一种近零功耗RF MEMS传感唤醒系统
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114825665A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210557571.X

    申请日:2022-05-19

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种近零功耗RF MEMS传感唤醒系统,包括触发唤醒子系统、反馈切断子系统和误触发监测子系统。当空间中没有感兴趣的RF信号存在时,此系统处于休眠状态,此时待机功耗为零;当一些感兴趣的特定标识RF信号出现且大于系统的RF阈值功率,触发唤醒子系统中的整流电路将此RF信号并将其转化为直流电压,然后利用此直流电压和预偏置直流电压触发唤醒第一MEMS开关,使得后续模块导通,此系统处于唤醒状态。反馈切断子系统使得此系统在完成特定工作或被误触发后能够自动切断电源。误触发监测子系统能够完成对非特定RF信号误触发的判断和对特定RF信号强度的测量。本发明具有低误报率、高灵敏度和在休眠状态近零功耗特点。

    一种实现可靠性测试及阻值偏差补偿的压阻式传感器

    公开(公告)号:CN113701927B

    公开(公告)日:2022-01-04

    申请号:CN202111251494.7

    申请日:2021-10-27

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种实现可靠性测试及阻值偏差补偿的压阻式传感器,包括压力敏感薄膜、压敏电阻、隧穿层,电荷存储层设置在隧穿层的上表面,并位于压敏电阻的上方,且部分覆盖压敏电阻;阻挡层完全覆盖隧穿层和电荷存储层的上表面;压阻电极设置在阻挡层的上表面,并穿过隧穿层和阻挡层上的通孔与压敏电阻电连接;调控电极设置在阻挡层的上表面,与压阻电极相间隔,并部分覆盖电荷存储层。其中,压敏电阻、隧穿层、电荷存储层、阻挡层与调控电极构成电荷型非易失性存储器结构,该结构能够实现定量调控电荷存储层中的俘获电荷数目以及通过俘获的电荷调控压敏电阻的载流子浓度进而调整压敏电阻的阻值,从而实现压敏电阻的有效修正与补偿。

    可调谐频率状态的MEMS集成微波驻波计及制备方法

    公开(公告)号:CN111044797B

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN201911417495.7

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的具有可调谐频率状态的MEMS集成微波驻波计,采用全无源结构构成;通过在一个正交定向耦合器的耦合端口和隔离端口分别连接一个热电式MEMS微波功率传感器,分别测量出被耦合至耦合端和隔离端处的微波功率大小,可得到入射微波功率和反射微波功率的大小,从而构成了微型热电式MEMS集成微波驻波计;其在检测状态下仅有少部分输入功率被耦合,大部分功率仍可用,从而实现了对驻波比的在线检测的功能;四个相同的MEMS可变电容器增加了直通臂和耦合臂的电长度以减小芯片尺寸,基于静电原理可以连续改变电容值以对中心频率进行连续调谐;因而,本发明提出的MEMS集成微波驻波计具有微型化、零直流功耗、可调谐工作频率状态且在线检测驻波比的特点。

    一种基于射频声表面波传感器的无源无线心律监测系统

    公开(公告)号:CN112617787A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011486051.1

    申请日:2020-12-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种基于射频声表面波传感器的无源无线心律监测系统,该无源无线心律监测系统包括:询问器(1)、射频声表面波传感器(2)、气囊(3)、粘扣带(4)、人机交互模块(5);询问器产生高频信号激励声表面波传感器,声表面波压力传感器置于气囊中,气囊通过粘扣带系在胸部;当用户通过软件查询心律信息时,询问器产生高频可调信号,并接收声射频声表面波传感器的射频信号,根据不同频率下射频信号的强度确定射频声表面波传感器的谐振频率,从而根据谐振频率与心律的关系确定被测节点的心律,利用人机交互模块向用户传达心律信息。具有精度更高、功耗更低、能够在无源无线情况下工作,且体积小、方便用户佩戴。

    一种MEMS热保护器及其制备方法

    公开(公告)号:CN112271105A

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN202011537051.X

    申请日:2020-12-23

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS热保护器及其制备方法,包括第一衬底;第二衬底;在第一衬底上表面形成的开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层;第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上,且位于悬臂梁的中部;第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上,且位于悬臂梁的悬空端;第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上,且位于悬臂梁的固定端。本发明的MEMS热保护器,通过使用MEMS体加工和键合工艺,以及设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极,从而设计出一种具有实时在线质量监测、额定电流可调控的MEMS热保护器,以提高电路或系统的可靠性。

    一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111049597A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911393741.X

    申请日:2019-12-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法,所述热电式自检测MEMS微波功率分配器包括位于砷化镓衬底上的微波功分器以及三个MEMS微波功率传感器;所述微波功分器为“T”型对称结构,包括三个端口;每个所述MEMS微波功率传感器通过CPW结构与所述微波功分器的一个端口相连,所述MEMS微波功率传感器用于测量三个所述端口处微波功率大小。本发明在线测量出输入和输出端口处微波功率大小,实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。

    一种三向隔振楼板结构
    68.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108487529A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810233409.6

    申请日:2018-03-20

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种三向隔振楼板结构,包括混凝土梁、由所述混凝土梁支撑的预制混凝土板、设置在所述预制混凝土板的四周边缘的周边角钢、安装在所述周边角钢上的周边角钢加劲肋、固定设置在所述混凝土梁的一侧边缘的支撑角钢,周边角钢与支撑角钢对齐,并通过支撑角钢上设置的竖向弹簧支撑预制混凝土板和周边角钢。预制混凝土板的四周边缘设有水平的预埋套筒,所述预埋套筒内部设置有水平弹簧,以此挤压预制混凝土板和混凝土梁。本发明可以降低楼板竖向和水平振动,无需额外占用建筑的竖向空间。本发明采用预制装配技术,可以加快施工进度。

    微机械固支梁式十六状态可重构微波带通滤波器

    公开(公告)号:CN103812465B

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201410052364.4

    申请日:2014-02-17

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 张志强 廖小平

    Abstract: 本发明的微机械固支梁式十六状态可重构微波带通滤波器通过两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容依次对称放置在一个平面螺旋电感的左右两侧,从而构成该滤波器的带通特性;将四个由引线连接的MIM电容对称放置在平面螺旋电感的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容之间;每个由引线连接的MIM电容具有不同的电容值;通过四个MEMS固支梁分别控制四个由引线连接的MIM电容是否与CPW地线相连接,从而利用一个较小电感量的平面螺旋电感和几个较小电容值的MIM电容实现该可重构微波带通滤波器具有十六状态的中心频率和带宽的变化,突破了传统可重构微波带通滤波器的电感和电容数量多且其值较大的限制。

    物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器

    公开(公告)号:CN103840744B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201410058341.4

    申请日:2014-02-20

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器,由一组尺寸相同的固支梁并排排列构成,固支梁的锚区分别固定在砷化镓衬底上,固支梁的底层是氮化硅层,氮化硅层上面是下极板,下极板上面是压电材料,压电材料上面是上极板,在固支梁下表面制作有天线结构,在固支梁周围环绕有竖立的MEMS热电堆,在固支梁上的中间设有ZnO/p-Si纳米级异质结,在ZnO/p-Si纳米级异质结的两侧的固支梁部分设有圆孔。本发明能够同时收集光能,热能,电磁能和振动能,有效降低射频收发组件的功耗,同时通过对热能、电磁能和振动能的收集,改善了射频收发组件的散热问题和电磁兼容问题,抑制了射频收发组件工作中的抖动,能有效的保证射频收发组件工作的稳定性。

Patent Agency Ranking