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公开(公告)号：CN111669127A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010146827.9
申请日：2020-03-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03B5/32
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，能够抑制大型化并且保护电路元件免受激光影响。振动器件具有：基座；电路元件，其配置于所述基座；振动元件，其在俯视观察时至少一部分与所述电路元件重叠配置；以及支承基板，其配置在所述电路元件与所述振动元件之间，对所述振动元件进行支承。另外，所述振动元件具有频率调整部，该频率调整部是通过将所述振动元件的至少一部分除去来进行频率调整的，所述支承基板具有：基部，其对所述振动元件进行支承；支承部，其对所述基部进行支承；梁部，其将所述基部和所述支承部连接起来；以及具有遮光性的遮蔽部，其配置于所述梁部，在俯视观察时与所述频率调整部重叠。
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公开(公告)号：CN110323326A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910241056.9
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/253 , G01C21/16 , G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，振动元件具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧并配置有电极膜的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，其配置在所述施重部上，所述振动臂具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述电极膜和所述施重膜配置在所述第1主面和所述第2主面上，配置在所述第1主面上的所述电极膜的厚度、配置在所述第1主面上的所述施重膜的厚度、配置在所述第2主面上的所述电极膜的厚度以及配置在所述第2主面上的所述施重膜的厚度分别为50nm以上且500nm以下。
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公开(公告)号：CN118740097A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410357893.9
申请日：2024-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件，电连接优异。振动元件包含：基板，其具有薄壁部和厚壁部；以及电极部，其包含配置在薄壁部的激励电极配置区域的激励电极、配置在厚壁部的焊盘电极配置区域的焊盘电极以及将激励电极与焊盘电极连接起来并配置在基板的引出电极配置区域的引出电极，该振动元件的制造方法包含以下工序：金属层形成工序，在基板上形成金属层；保护膜形成工序，在金属层上的俯视观察时与引出电极配置区域的至少一部分重叠的区域形成保护膜；以及金属层蚀刻工序，通过隔着保护膜进行蚀刻，使配置在激励电极配置区域的金属层薄壁化。
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公开(公告)号：CN118713625A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410342542.0
申请日：2024-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件和振动器件，接合强度优异。振动元件具有：基板，其包含薄壁部和厚壁部；以及电极部，其包含激励电极、焊盘电极和引出电极，电极部包含：第一电极层，其配置在基板上的焊盘电极配置区域和第一区域；第二电极层，其在第一电极层上配置在与第一电极层重叠的区域，厚度大于第一电极层；第三电极层，其遍及第二电极层上的俯视观察时与焊盘电极配置区域和第一区域重叠的区域、以及基板上的俯视观察时与第二区域和激励电极配置区域重叠的区域，厚度小于第二电极层；以及第四电极层，其在第三电极层上配置在与第三电极层重叠的区域，厚度小于第二电极层。
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公开(公告)号：CN117109549A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311069620.6
申请日：2018-03-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5733
Abstract: 振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体。提供振动特性的变动减少的振动器件、具备所述振动器件并且检测精度的减低减少的角速度传感器、具备所述振动器件的电子设备和移动体。振动器件的特征在于，具有：振动元件，其具有多个端子；基体，其具有多个电连接端子；和中继基板，其具有将多个电连接端子与多个端子电连接起来的配线部，将振动元件支承于基体，所述中继基板具有：基体固定部，其被固定于所述基体；振动元件载置部，所述振动元件被载置于该振动元件载置部；和至少一个梁部，其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来，所述至少一个梁部具有向第一方向延伸的第一部分和朝向与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109217824B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201810694946.0
申请日：2018-06-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体。抑制振动泄漏，使飞沫难以残留。该振动元件的频率调整方法具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。
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公开(公告)号：CN110323328B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201910243170.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN111740702B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202010205984.2
申请日：2020-03-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，能够降低不必要振动。振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：振动元件，其具有沿与A轴和B轴平行的平面且沿A轴弯曲振动的第一振动臂和第二振动臂；以及支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，所述支承基板具有：基部，其支承所述振动元件；支承部，其支承所述基部；以及梁部，其连接所述基部与所述支承部，在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。
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公开(公告)号：CN112448690B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202010875381.3
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号：CN116054768A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211328490.9
申请日：2022-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。能够一并形成外形和槽。振动元件的制造方法包括：第1保护膜形成工序，形成第1保护膜；第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜进行干蚀刻而形成第1槽和振动臂的外形；第2保护膜形成工序，在第1槽中形成第2保护膜；第2干蚀刻工序，隔着第2保护膜进行干蚀刻；第3保护膜形成工序，形成第3保护膜；以及第3干蚀刻工序，隔着第3保护膜进行干蚀刻而形成第2槽和振动臂的外形；第4保护膜形成工序，在第2槽中形成第4保护膜；以及第4干蚀刻工序，隔着第4保护膜进行干蚀刻。
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