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公开(公告)号：CN113777619B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202111083170.7
申请日：2021-09-15
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种具有调整底座的测距装置，是利用激光进行测距的装置，其包括：测距主机、用于承载测距主机的连接球以及与测距主机连接并用于调整测距主机的姿态的调整底座，调整底座包括用于承载连接球的基座、可转动地环绕在基座外侧的旋转机构、连接测距主机与旋转机构的连杆机构；旋转机构配置为与连接球配合调整测距主机的姿态以使测距主机以第一旋转方向进行转动；连杆机构包括依次可转动地连接的第一连接部、第二连接部、第三连接部和第四连接部，第一连接部与测距主机连接，第四连接部与旋转机构连接，连杆机构配置为与连接球配合调整测距主机的姿态以使测距主机以第二旋转方向进行转动，第一旋转方向与第二旋转方向不同。
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公开(公告)号：CN114088037B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202111493027.5
申请日：2021-07-29
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
IPC分类号： G01B21/04
摘要： 本发明描述了一种仪器的正交轴系统的正交性的测量方法，仪器包括具有第一旋转轴的第一旋转装置和设置于第一旋转装置并具有第二旋转轴的第二旋转装置，正交轴系统包括第一旋转轴和第二旋转轴，测量方法包括：将仪器置于承载面；沿着截取面截取第二旋转轴以获得第一虚拟截面，截取面与承载面以及第二旋转轴在承载面的投影正交，对第一虚拟截面进行测量以获得第一位置；使第二旋转轴旋转预设角度，并使用截取面截取第二旋转轴以获得第二虚拟截面，对第二虚拟截面进行测量以获得第二位置；并且基于第一位置和第二位置判断第一旋转轴与第二旋转轴的正交性是否符合要求。根据本发明，能够提供一种提高正交轴系统的正交性的测量精度的测量方法。
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公开(公告)号：CN116338714A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310532585.0
申请日：2022-12-12
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要： 本公开提供一种用于探头的反跟踪方法，是利用发射激光束的激光跟踪仪和设置于目标的并具有可旋转的靶标的探头以获得目标的姿态的反跟踪方法，反跟踪方法包括：获得靶标相对于激光跟踪仪的位置；激光束经过靶标的预设位置后，计算靶标的姿态调整方式，控制靶标分别沿两个方向旋转以使激光跟踪仪发射出的激光束垂直入射第二位置传感单元；基于靶标相对于激光跟踪仪的位置和靶标沿两个方向的旋转角度计算目标的欧拉角。在这种情况下，靶标能够沿两个方向旋转后对准激光发射单元以实现反向跟踪，并且能够基于靶标的旋转角度和目标的部分欧拉角计算目标的其他欧拉角，不仅能够扩大靶标的可接收的角度范围，还能够降低靶标控制成本。
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公开(公告)号：CN115930829B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211685301.3
申请日：2022-12-27
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要： 本公开描述了一种共聚焦显微镜的重建方法，包括：获取待测物的多组第一反射光束，基于多组第一反射光束获得多组第一测量信息；获取待测物的多组第二反射光束，基于多组第二反射光束获得多组第二测量信息；令包括第一反射光束的最大强度小于第一预设值的第一测量信息为第一目标信息，令包括第一反射光束的最大强度不小于第一预设值的第一测量信息为第二目标信息，令包括第二反射光束的最大强度小于第一预设值且大于第二预设值的第二测量信息为第三目标信息；并且基于第一目标信息、第二目标信息、以及第三目标信息中的至少两项获得目标图像以重建待测物。根据本公开，能够提供一种提高对待测物的重建精度的重建方法。
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公开(公告)号：CN116222437A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310349143.2
申请日：2020-12-25
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
IPC分类号： G01B11/26 , G01B11/27 , G01B9/02015
摘要： 本公开提供一种具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置，包括：干涉仪主机系统，包括激光发射光学系统和探测接收单元，激光发射光学系统发射测量光束，探测接收单元解析干涉信号；双渥拉斯顿棱镜，测量光束经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光；双面直角屋脊反射镜，两束正交偏振的光经过双面直角屋脊反射镜反射后回到探测接收单元；以及平行光束偏光元件，发射的测量光束先经过平行光束偏光元件，再经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光。根据本公开，能够显著提高直线度干涉测量装置的测量精度并能够消除现有直线度干涉测量装置存在测量盲区的问题。
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公开(公告)号：CN116105600A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202310098258.9
申请日：2023-02-10
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要： 本公开描述一种基于双目相机的瞄准目标的方法、处理装置及激光跟踪仪，双目相机包括用于发射第一光束的第一光源、用于发射第二光束的第二光源、第一采集单元以及第二采集单元，第一采集单元获取目标反射的第一光束并得到第一光斑数据，第一光斑数据包括沿第一方向的第一分量和沿第二方向的第二分量，利用第二采集单元获取目标反射的第二光束并得到第二光斑数据，第二光斑数据包括沿第一方向的第三分量和沿第二方向的第四分量，基于第一分量、第三分量、和预设条件计算第一旋转角度，基于第二分量和第四分量计算第二旋转角度，令双目相机沿第一方向旋转第一旋转角度，沿第二方向旋转第二旋转角度。由此，能够使目标位于双目相机的瞄准光轴上。
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公开(公告)号：CN115566523B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211303535.7
申请日：2022-10-24
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
IPC分类号： H01S3/097
摘要： 本公开提供一种多元电路耦合的激光器电源系统，包括供电单元、开关单元、稳流单元、驱动单元、反馈单元、控制单元、以及倍压电路单元，供电单元具有第一电感，控制单元具有第二电感，反馈单元具有第三电感，倍压电路单元具有第四电感，第一电感与第二电感、第三电感、第四电感耦合，供电单元与稳流单元、控制单元和开关单元连接，开关单元与控制单元连接，稳流单元与倍压电路单元连接，驱动单元与控制单元连接，反馈单元与控制单元连接。通过本公开提供的多元电路耦合的激光器电源系统，能够通过提升激光器遇到过电等故障时的反馈实时性来提升激光器的电流和电压的稳定性。
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公开(公告)号：CN115566523A
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202211303535.7
申请日：2022-10-24
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
IPC分类号： H01S3/097
摘要： 本公开提供一种多元电路耦合的激光器电源系统，包括供电单元、开关单元、稳流单元、驱动单元、反馈单元、控制单元、以及倍压电路单元，供电单元具有第一电感，控制单元具有第二电感，反馈单元具有第三电感，倍压电路单元具有第四电感，第一电感与第二电感、第三电感、第四电感耦合，供电单元与稳流单元、控制单元和开关单元连接，开关单元与控制单元连接，稳流单元与倍压电路单元连接，驱动单元与控制单元连接，反馈单元与控制单元连接。通过本公开提供的多元电路耦合的激光器电源系统，能够通过提升激光器遇到过电等故障时的反馈实时性来提升激光器的电流和电压的稳定性。
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公开(公告)号：CN115523838A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211371760.4
申请日：2021-07-23
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
摘要： 本发明提供一种光学主体，是用于对靶球进行距离测量的光学主体，光学主体具有外壳、布置在外壳内并发射激光束的激光源、以及测量与靶球的距离的光学距离测量器，外壳包括第一壳体、第二壳体、以及设置在第一壳体和第二壳体之间的功能壳体，光学距离测量器包括容纳于功能壳体的干涉测距单元和容纳于第二壳体的绝对测距单元。由此，能够提供一种能够对靶球进行距离测量且能够充分利用光学主体内部的空间的光学主体。
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公开(公告)号：CN115458431A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211274280.6
申请日：2022-10-18
申请人： 深圳市中图仪器股份有限公司
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本发明描述一种晶圆量测系统，包括储料设备、定位设备、检测设备、以及在储料设备、定位设备、以及检测设备之间转运晶圆的搬运设备，储料设备用于放置晶圆，晶圆具有第一定位标识和第二定位标识；搬运设备将晶圆搬运至定位设备，并且定位设备基于第一定位标识对晶圆进行姿态定位；搬运设备将经姿态定位的晶圆转运至检测设备，检测设备基于第二定位标识对经姿态定位的晶圆进行精确定位并对经精确定位的晶圆进行量测。由此，本发明能够提供一种晶圆量测系统，能够快速、精准地对晶圆进行量测。
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