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公开(公告)号：CN110767472B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201810829730.0
申请日：2018-07-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；以金属单质作为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在柔性金属衬底上沉积形成金属薄膜；以钛酸锶作为靶材，采用磁控溅射方法在金属薄膜上沉积形成钛酸锶预制层；对沉积有金属薄膜和钛酸锶预制层的柔性金属衬底进行热处理，使金属薄膜中的金属原子向钛酸锶预制层扩散，得到陶瓷薄膜，陶瓷薄膜包括依次贴合于金属薄膜的金属原子掺杂钛酸锶的扩散固溶层和钛酸锶层。通过该制备方法实现了储能薄膜柔性化，同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。
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公开(公告)号：CN109554678B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201811604531.6
申请日：2018-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种柔性氮化铝薄膜及其制作方法，包括铝基底及氮化铝膜层，所述氮化铝膜层包括第一氮化铝膜层及第二氮化铝膜层，所述第一氮化铝膜层及所述第二氮化铝膜层依次形成于所述铝基底上，所述第一氮化铝膜层为由铝基底的表面经过氮化处理而形成的膜层。该柔性氮化铝薄膜中的氮化铝膜层与基底之间的结合力较强。
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公开(公告)号：CN110767447B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN201810829735.3
申请日：2018-07-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；以钛金属作为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上沉积形成二氧化钛预制层，其中所述磁过滤多弧离子镀方法中的工作气氛为氩气和氧气的混合气体；对沉积有二氧化钛预制层的柔性金属衬底进行热处理，得到柔性储能薄膜。所述柔性储能薄膜包括柔性金属衬底以及形成于所述柔性金属衬底上的二氧化钛层。通过该制备方法不仅实现了储能薄膜的柔性化，同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。
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公开(公告)号：CN110760801B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201810848153.X
申请日：2018-07-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及储能陶瓷薄膜及其制备方法，所述储能陶瓷薄膜包括金属衬底以及依次形成于所述金属衬底上的第一金属层、合金层、第二金属层、第二金属氧化物层和第二金属氧化物薄膜；其中，所述第一金属层的材料与所述金属衬底的材料相同，所述合金层为第一金属与第二金属所形成的合金层。本发明的储能陶瓷薄膜可在降低金属衬底的表面粗糙度的同时保证结合力，从而可以同时提高储能陶瓷薄膜的储能性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN111044183A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911348848.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 柔性压力传感及其制备方法，该柔性压力传感器包括，第一电极层、第二电极层、介电层、设置于介电层与第一电极层之间的第一过渡层及设置于介电层与第二电极层之间的第二过渡层，第一过渡层由第一电极层材料及介电层材料混合而成，第二过渡层由第二电极层材料及第二过渡层材料混合而成。该柔性压力传感器能够使得不同的材料之间具有较高的结合力，提高压力传感器的可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110994167A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911222171.8
申请日：2019-12-03
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种耐高温柔性阵列天线及其制作方法，该天线以柔性云母片为基板，在基板上布设多个天线单元，并通过导线层将多个天线单元电性相连。每一天线单元包括金属粘合层、基片及金属图层，基片通过金属粘合层固定在柔性云母片上，金属图层设置于基片远离金属粘合层的一侧上，金属粘合层与金属图层电性相连。该耐高温柔性阵列天线在能够耐受较高温度的同时，还能够易于与其它物体共形，大幅度减少使用空间。
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公开(公告)号：CN110660584A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201811611926.9
申请日：2018-06-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜的制备方法。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；在所述柔性金属衬底上沉积形成钛酸锶薄膜预制层；对带有钛酸锶薄膜预制层的柔性金属衬底进行热处理得到钛酸锶层，从而得到柔性储能薄膜。该储能薄膜采用钛酸锶材料，通过该制备方法实现储能薄膜的柔性化。同时，制备得到的储能薄膜具有高介电常数、低介电损耗、高击穿场强和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。
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公开(公告)号：CN109703011A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811544199.9
申请日：2018-12-17
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: B29C64/112 , B29C64/20 , B29C64/393 , H01L41/45 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y50/02 , B33Y80/00 , B33Y70/00 , B29K27/12 , B29L31/34
Abstract: 本发明提供一种基于EHD喷墨打印设备，同一制程中实现不同材料的打印，从而制备压电材料层及压电器件的方法，在简化操作步骤、实现混合打印的同时，还可以在打印PVDF压电材料层的过程中提高β晶型含量。为了提高打印精度，本发明还在EHD喷墨打印设备的参数如电压、液滴大小方面做了调整，同时对于各层结构的打印浆料的配方也做了改进。本发明的制备方法，打印的液滴流动顺畅，并保持细小均匀的喷射流，能够实现精确打印。
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公开(公告)号：CN109622347A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811605619.X
申请日：2018-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: B06B1/06
CPC classification number: B06B1/0629
Abstract: 本发明提供了柔性MEMS超声波换能器及其制作方法，该柔性MEMS超声波换能器包括超声波换能单元，所述超声波换能单元包括下电极、压电层及上电极，所述下电极包括铝基底，所述压电层包括第一氮化铝膜层及第二氮化铝膜层，所述铝基底、所述第一氮化铝膜层及所述第二氮化铝膜层依次层叠设置，所述上电极形成于所述第二氮化铝膜层上，所述第一氮化铝膜层由所述铝基底的表面经过氮化处理而形成。该柔性MEMS超声波换能器中各膜层之间的结合力较好。
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