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公开(公告)号：CN104303110B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201380025725.X
申请日：2013-04-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , H01L21/677
CPC classification number: G02F1/1303 , B29C65/18 , B29C65/5057 , B29C65/7451 , B29C65/7847 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/8221 , B29C66/83221 , B29C66/83241 , B29C66/853 , B29C66/934 , B65G2249/04 , B65H19/1852 , B65H19/1873 , B65H2301/46172 , B65H2301/4621 , B65H2301/46312 , B65H2408/2171 , B65H2801/61 , C03B33/0235 , G02F1/133351 , G02F2001/133354 , Y02P40/57
Abstract: 一种基板处理系统，具有：第1处理单元，对以速度V1搬送的基板连续地实施第1处理；以及第2处理单元，以速度V2搬送由第1处理单元处理后的基板，对基板连续地实施第2处理，在根据第1、第2处理单元各自的性能，能够将速度的关系设定成V1＞V2的情况下，设置多个第2处理单元，且还具有切断机构和选择投入机构，在根据第1、第2处理单元各自的性能，能够将速度的关系设定成V1＜V2的情况下，设置多个第1处理单元，且还具有将由多个第1处理单元实施第1处理的多个基板，依次接合并投入至第2处理单元的接合机构。
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公开(公告)号：CN104620178B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201380047645.4
申请日：2013-08-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: G03F7/24 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/24
Abstract: 基板处理装置具备：基板支承部件，具有从规定轴以固定半径弯曲的曲面，且基板的一部分被卷绕于曲面而支承基板；处理部，从轴观察时配置在基板支承部件的周围，并对位于周向中特定位置的曲面上的基板实施处理；温度调节装置，对供给到基板支承部件之前的基板的温度进行调节。
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公开(公告)号：CN104203785B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280072239.9
申请日：2012-12-17
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B65H23/04 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/6776 , B65H18/103 , B65H23/185 , B65H23/198 , B65H2220/02 , B65H2513/102 , B65H2513/11 , B65H2801/61 , H01L21/67706 , B65H2220/01
Abstract: 一种盒装置，具有：第一单元部，进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，进行上述基板的供给及回收中的另一方，上述第一单元部及上述第二单元部可彼此接近或分离。
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公开(公告)号：CN104203779B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201280072170.X
申请日：2012-11-01
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2249/04
Abstract: 一种搬运基板的搬运装置，具有：支承构件，具有支承基板的一方的面的支承面，形成有贯通支承面和所述支承面的背面的多个贯通孔；保持机构，其具有气体吸引部，该气体吸引部与支承构件的背面中的、包含多个孔的第一区域相对配置；和气体供给部，该气体供给部与支承构件的背面中的第二区域相对配置，其中，第二区域是与第一区域不同的区域，所述保持机构通过相对于支承构件的背面进行气体的供给及吸引，以非接触状态保持支承构件的背面，并且经由多个贯通孔使基板吸附在支承面上。
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公开(公告)号：CN105467627A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510795430.1
申请日：2013-04-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G02F1/13 , B65H19/18 , B29C65/00 , B29C65/18 , B29C65/50 , B29C65/74 , B29C65/78 , C03B33/023 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1303 , B29C65/18 , B29C65/5057 , B29C65/7451 , B29C65/7847 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/8221 , B29C66/83221 , B29C66/83241 , B29C66/853 , B29C66/934 , B65G2249/04 , B65H19/1852 , B65H19/1873 , B65H2301/46172 , B65H2301/4621 , B65H2301/46312 , B65H2408/2171 , B65H2801/61 , C03B33/0235 , G02F1/133351 , G02F2001/133354 , Y02P40/57
Abstract: 一种基板处理装置，具有：第1安装部，其安装卷绕有长条状的第1基板的第1辊；第2安装部，其安装卷绕有长条状的第2基板的第2辊；处理机构，其将所述第1基板和所述第2基板的某一个作为处理基板，一边沿所述长边方向输送一边实施规定处理；缓冲机构，其配置在所述处理机构与所述第1安装部之间，将从所述第1辊供给的所述第1基板在规定的最长储存范围内暂时储存后，向所述处理机构送出；和基板连接更换机构，其在所述缓冲机构与所述第1安装部之间切断所述第1基板，并且将从所述第2辊供给的所述第2基板的前端部接合在所述切断的所述第1基板的终端部，并向所述缓冲机构送出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102803109B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201180008588.X
申请日：2011-02-10
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: B65H23/038 , B65H23/32
CPC classification number: B65H23/32 , B65H23/0216 , B65H23/038 , B65H2301/31122 , B65H2553/42
Abstract: 本发明提供一种用于带状片材基板的搬送装置及处理装置，其中，搬运装置包括：第一导引滚筒(G1)及第二导引滚筒(G2)。带状片材基板（FB）即树脂薄膜或箔(膜)，是藉由以第一导引滚筒(G1)被斜向弯折并反转，亦藉由第二导引滚筒(G2)被斜向弯折并反转。根据基板(FB)上的对准标记(AM)的对准摄影机(51)进行的检测，调整机构(52、53)是使导引滚筒(G1、G2)位移或倾斜。该位移(平行移动)或倾斜是将第一及第二导引滚筒(G1、G2)之间的基板(FB)往横截方向移动。处理装置(10)是于基板(FB)的面(FP)上形成有机EL元件。替代导引滚筒(G1、G2)可使用圆锥(G3、G4)。可附加第三导引滚筒(G23)或圆锥(G27)。进而可附加第四导引滚筒(G24)或圆锥(G28)。导引滚筒及圆锥并不接触于基板(FB)的被处理面(Fp)。且基板(FB)向横截方向移动时，于基板(FB)并未产生皱折。
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公开(公告)号：CN103380483A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201280007251.1
申请日：2012-04-20
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/1214 , H01L2251/5338
Abstract: 基板处理装置，其具备：多个处理部，对形成为带状的基板分别进行处理；第一处理室，收容多个处理部中能执行共通次程序的第一处理部；第二处理室，收容多个处理部中的第二处理部；以及搬送部，将基板分别搬送至第一处理室及第二处理室。
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公开(公告)号：CN102803109A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201180008588.X
申请日：2011-02-10
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 铃木智也
IPC: B65H23/038 , B65H23/32
CPC classification number: B65H23/32 , B65H23/0216 , B65H23/038 , B65H2301/31122 , B65H2553/42
Abstract: 本发明提供一种搬送装置，其中，搬运装置包括：第一导引滚筒(G1)及第二导引滚筒(G2)。带状片材基板（FB）即树脂薄膜或箔(膜)，是藉由以第一导引滚筒(G1)被斜向弯折并反转，亦藉由第二导引滚筒(G2)被斜向弯折并反转。根据基板(FB)上的对准标记(AM)的对准摄影机(51)进行的检测，调整机构(52、53)是使导引滚筒(G1、G2)位移或倾斜。该位移(平行移动)或倾斜是将第一及第二导引滚筒(G1、G2)之间的基板(FB)往横截方向移动。处理装置(10)是于基板(FB)的面(FP)上形成有机EL元件。替代导引滚筒(G1、G2)可使用圆锥(G3、G4)。可附加第三导引滚筒(G23)或圆锥(G27)。进而可附加第四导引滚筒(G24)或圆锥(G28)。导引滚筒及圆锥并不接触于基板(FB)的被处理面(Fp)。且基板(FB)向横截方向移动时，于基板(FB)并未产生皱折。
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公开(公告)号：CN110325922B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201880012599.7
申请日：2018-02-08
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供了一种图案描绘方法，是一边通过多边形镜(PM)将根据图案而调变成ON或OFF的描绘射束(LBn)在基板(P)上扫描于主扫描方向，一边使基板(P)移动于副扫描方向以将图案描绘于基板(P)上。图案描绘方法，是测量在描绘射束(LBn)于主扫描方向至少扫描一次的期间加算了光电信号(SS1)的实际积分值(FXn)，该光电信号(SS1)，是从接收射入多边形镜(PM)前的描绘射束(LBn)的光电传感器(SM1d)，与描绘射束(LBn)在ON状态下的强度对应地输出。接着，根据描绘射束(LBn)在ON状态时应设定的适当强度、以及依据排列于主扫描方向的全像素数中的设定为ON状态的像素数的积而预先决定的目标积分值与实际积分值(FXn)的差，调整描绘射束(LBn)在ON状态下的强度。
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