公开(公告)号：CN1708829A

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200380102081.6

申请日：2003-11-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 竹中修二

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G02B19/00

Abstract: 在使用者的现有设备下对于采用水银灯等光源的曝光装置，可以有固体光源的使用。使用含有聚光光学系统的照明光学系统而照明一罩幕，将该罩幕的图案转印到感光性基板的曝光装置的制造方法，包括将多个固体光源配置在该聚光光学系统的前侧焦点位置或是与其光学共轭的位置的固体光源配置步骤(S11)，以及对应于与该些固体光源不同的光源被设定成适当的第1状态的该照明光学系统的特性，藉由该些固体光源的配置，而设定成适当的第2状态的特性(S12～S16)。

公开(公告)号：CN119948408A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202280100526.X

申请日：2022-10-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 岩永正也 ,  铃木智也 ,  竹中修二 ,  大川智之

IPC: G03F7/20

Abstract: 用于实现大面积的二向色镜，合成光学元件具备：多个光学元件，其具有第1基板和二向色膜；以及第2基板，所述多个光学元件配置在所述第2基板上。