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1.

发明授权
图案描绘装置、及图案描绘方法有权

公开(公告)号：CN110325922B

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN201880012599.7

申请日：2018-02-08

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 铃木智也 , 石垣雄大

IPC: G03F7/20 , B41J2/47 , G02B26/10 , H04N1/113

Abstract: 本发明提供了一种图案描绘方法，是一边通过多边形镜(PM)将根据图案而调变成ON或OFF的描绘射束(LBn)在基板(P)上扫描于主扫描方向，一边使基板(P)移动于副扫描方向以将图案描绘于基板(P)上。图案描绘方法，是测量在描绘射束(LBn)于主扫描方向至少扫描一次的期间加算了光电信号(SS1)的实际积分值(FXn)，该光电信号(SS1)，是从接收射入多边形镜(PM)前的描绘射束(LBn)的光电传感器(SM1d)，与描绘射束(LBn)在ON状态下的强度对应地输出。接着，根据描绘射束(LBn)在ON状态时应设定的适当强度、以及依据排列于主扫描方向的全像素数中的设定为ON状态的像素数的积而预先决定的目标积分值与实际积分值(FXn)的差，调整描绘射束(LBn)在ON状态下的强度。

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