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公开(公告)号:CN207227590U
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201721048288.5
申请日:2017-08-21
申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及多晶硅铸锭炉辅助设备,旨在提供一种多晶炉隔热笼电动提升装置。该种多晶炉隔热笼电动提升装置包括脉冲发生器和提升装置,用于控制多晶铸锭炉设备中隔热笼的升降。本实用新型通过一个脉冲发生器控制三个电机,保证了隔热笼升降的同步性,有效的减少了隔热笼升降过程中发生倾斜的概率,大大增加多晶炉运行的稳定性。
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公开(公告)号:CN204295504U
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201420705443.6
申请日:2014-11-21
申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及单晶硅技术领域,旨在提供一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置。该用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置包括驱动单元、驱动电机、联轴器、移动座、支撑臂、传感器压盖、封板、保护罩、传感器、探测头、数据处理及控制单元和电线。本实用新型能够准确的测量出圆晶棒的实际直径、方晶棒对边距离以及晶棒棱线突起高度,然后根据测量值计算出进刀量及进刀次数;还具有结构简单、检测精度高、检测速度快、自动检测和智能计算等优点。
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公开(公告)号:CN203824893U
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201420129785.8
申请日:2014-03-20
申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号: G01N21/00
摘要: 本实用新型涉及晶体生长炉领域,旨在提供一种单晶硅棒晶向检测装置。该单晶硅棒晶向检测装置用于检测装夹在切方工作台上的圆形单晶硅棒的晶向,包括支架、支撑臂、晶向检测传感器支架、气缸、固定护罩、升降护罩、晶向检测传感器。本实用新型能自动检测装夹于工作台上的晶棒的晶向,采用非接触式测量方法,检测精度高、响应快、耗时短、可自动控制;结构简单,陈本低,不需人工参与,适用于单晶硅棒流水线加工车间的全自动控制。
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公开(公告)号:CN203741456U
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201420091316.1
申请日:2014-03-01
申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型属于多晶硅铸锭技术领域,旨在提供一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、隔热笼、石墨护板、定向散热块、石墨支撑柱、红外测温仪、可编程逻辑控制器、热电偶测温仪、石英坩埚、加热器;所述加热器安装于炉体上,并将石墨护板罩于该加热器内;所述石英坩埚安装于石墨护板内;本实用新型的有益效果有:热电偶测温仪接触式测量石英坩埚底部中心区域温度,测温准确,读数稳定,真实反应出测温点处温度,且温度值受硅液扰动小;采用红外测温仪非接触式测量石英坩埚底部边角区域温度,响应时间快、分辨精度高,可迅速检测到硅溶液流入后造成的温度波动。
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公开(公告)号:CN202247004U
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201120276774.9
申请日:2011-08-01
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备,旨在提供一种用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台。该热交换台用来放置多晶硅铸锭炉坩埚并实现热交换,设有气体入口和气体出口,热交换台的内部设置冷却气通道,并与前述气体入口和气体出口相连。相比辐射降温和水冷式的冷却技术,本实用新型中的热交换台在用于气体致冷时控制能力强、工业可控性高,而且由于气体均匀进入热交换台使得热交换台整体温度均匀,有利于坩埚底部硅熔体的均匀形核,可以在长晶过程中对坩埚底部温度的下降速度进行精确控制。
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公开(公告)号:CN202090106U
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN201120040603.6
申请日:2011-02-17
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及铸造法生长硅晶体的装置,旨在提供一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置。该气体冷却装置设于铸锭炉内热场下方,是内部带有气流通道的石墨体。本实用新型通过在热场底部增加一个主动散热的气体冷却装置,并通过调节通入装置内的气体流量控制主动散热幅度,能够主动的控制晶体下方散热速率,有效控制晶体生长速度。
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