热式流量传感器
    51.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105518420A

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201480048418.8

    申请日:2014-02-03

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/68 G01F1/696 G01F1/72 G01F5/00

    Abstract: 本发明为了提供一种提高计测精度的热式流量传感器,采用以下构成:该热式流量传感器具有:空气流量检测元件,该空气流量检测元件具有在半导体基板上具备薄膜部的隔膜;以及修正电路部,其在所述隔膜上具有至少一个发热电阻,且在所述发热电阻的上游侧和下游侧至少形成有检测一个个温度的测温电阻,该修正电路部至少根据上游侧和下游侧的两个所述测温电阻的温度差信息处理所述空气流量检测元件的输出信号,其中,所述修正电路部所处理的输出信号的波形是在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出所述规定值从而将形成峰值的波峰或波谷的一部分切成所述规定值的波形。

    热式流量计
    54.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104395705A

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201380031579.1

    申请日:2013-05-29

    CPC classification number: G01F1/6842 G01F1/684 G01F1/696 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的是提高热式流量计的测量精度。电路封装体(401)的测量用流路面(430)和其背面的测量用流路面背面(431)位于副通路内,副通路构成为,被测量气体(30)分开流入电路封装体的测量用流路面(430)侧的流路(386)和其背面的测量用流路面背面(431)侧的流路(387),电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面的形状在测量用流路面和测量用流路面背面不同。在电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面形成有基准线(700),基准线的测量用流路面侧的端面(701a)和测量用流路面背面侧的端面(701b)形成为非对称。

    热式流量传感器
    59.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102384774A

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN201110240097.X

    申请日:2011-08-19

    Abstract: 本发明的目的是提供一种热式空气流量传感器,该传感器难以受测定对象即空气流动的影响,能够防止因温度变动、压力变动所引起的流量孔板的损坏。本发明的热式流量传感器将形成在检测元件(50)上的空穴部(200)与收纳检测元件(50)的驱动回路部件(401)的回路室(400)或吸气通道的外部(700)连通。由此,空穴部(200)的压力与外部压力达到平衡。而且,由于将回路室(400)从配置检测元件(50)的检测部的检测室(测定对象即空气所流动的通路室(300))隔离,因此在通路室(300)中流动的空气向空穴部(200)的内侧流入,从而能够抑制对流量输出特性的影响。

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