热式流量计
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109073432A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201780029530.0

    申请日:2017-06-05

    Abstract: 本发明提供一种热式流量计,其抑制从流量检测部侧向背面侧或从背面侧向流量检测部侧的空气流的循环,防止逆流的误检测,高精度地测量气体流量。本发明的热式流量计(1)包括:供被测量气体通过的旁路通路(19);将旁路通路内分割为第1通路部和第2通路部的分割部(21);和设置于分割部的第1通路部侧的面上的、检测被测量气体的流量的流量检测部(22)。而且,第1通路部具有:流量检测部在其上露出的检测面、与检测面的流量检测部相对的相对面(23a)、和配置于从相对面在第1通路部的旁路通路宽度方向上偏倚的位置且不与流量检测部相对的非相对面(27a、28a),非相对面比相对面更远离检测面。

    热式流量传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105518420B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201480048418.8

    申请日:2014-02-03

    Abstract: 本发明为了提供一种提高计测精度的热式流量传感器,采用以下构成:该热式流量传感器具有:空气流量检测元件,该空气流量检测元件具有在半导体基板上具备薄膜部的隔膜;以及修正电路部,其在所述隔膜上具有至少一个发热电阻,且在所述发热电阻的上游侧和下游侧至少形成有检测一个个温度的测温电阻,该修正电路部至少根据上游侧和下游侧的两个所述测温电阻的温度差信息处理所述空气流量检测元件的输出信号,其中,所述修正电路部所处理的输出信号的波形是在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出所述规定值从而将形成峰值的波峰或波谷的一部分切成所述规定值的波形。

    热式流量传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105518420A

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201480048418.8

    申请日:2014-02-03

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/68 G01F1/696 G01F1/72 G01F5/00

    Abstract: 本发明为了提供一种提高计测精度的热式流量传感器,采用以下构成:该热式流量传感器具有:空气流量检测元件,该空气流量检测元件具有在半导体基板上具备薄膜部的隔膜;以及修正电路部,其在所述隔膜上具有至少一个发热电阻,且在所述发热电阻的上游侧和下游侧至少形成有检测一个个温度的测温电阻,该修正电路部至少根据上游侧和下游侧的两个所述测温电阻的温度差信息处理所述空气流量检测元件的输出信号,其中,所述修正电路部所处理的输出信号的波形是在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出所述规定值从而将形成峰值的波峰或波谷的一部分切成所述规定值的波形。

    热式流量计
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107076591B

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201580049431.X

    申请日:2015-07-24

    Abstract: 本发明提供能够在期望的位置将连接端子与外部连接且使流量测量元件的检测精度稳定的热式流量计。在热式流量计(30)的凸缘(312)设有连接端子(60)。端子连接部(60)具有第一弯曲部(60c)和第二弯曲部(60d)。第一弯曲部(60c)为从第一方向(d1)向第二方向(d2)弯曲的形状。第二弯曲部(60d)为从第一弯曲部(60c)向第三方向(d3)弯曲的形状。第一及第二弯曲部(60c、60d)形成为,在对多个连接端子(60)的连接脚部(60b)和多个连接端子(60)的端子连接部(60a)向第一假想平面(F1)进行投影时,通过多个连接端子(60)的各端子连接部(60a)的投影区域(60B)的且沿着第一方向(d1)延伸的假想线(L)通过多个连接端子(60)的连接脚部(60b)中的位于两侧的连接脚部(61、65)的投影区域(61A、65A)之间。

    气体流量测量装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103080703B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201180040855.1

    申请日:2011-08-19

    Abstract: 提供一种气体流量测量装置,当气体温度检测元件的特性为非线性时也能提高高温以及低温的分辨率,扩大高精度下能够使用的温度范围,具有更高精度且高可靠性。该气体流量测量装置具有:多个电阻体,配置在气体流路中;气体流量检测电路,通过检测流过多个电阻体的电流或者根据该电流所产生的电压来输出与在气体流路中流通的气体流量相应的气体流量检测信号;以及气体温度检测元件(1),用于检测气体流路中的气体温度,其中,气体流量检测电路具备信号变换单元,该信号变换单元变换输出信号以使得从气体温度检测元件输出的信号具有规定的最大输出和最小输出、且在规定的温度范围内成为线性。

    气体流量测定装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103748439B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201280040110.X

    申请日:2012-08-16

    CPC classification number: G01F1/64 G01F1/6842 G01F1/696 G01F1/6965 G01F5/00

    Abstract: 本发明提供一种将对流量信号进行修正时的修正精度提高的气体流量测定装置。气体流量测定装置具有:配置在气体流路中的一个或多个电阻器;气体流量检测电路,其通过检测在上述电阻器中流动的电流或与该电流相应地产生的电压,输出与在上述气体流路中流动的气体流量相应的气体流量检测信号;和用于检测上述气体流路中的气体温度的气体温度检测元件或者设置在集成电路内部的用于检测基板温度的基板温度检测元件,上述气体流量测定装置根据它们的温度检测信号进行流量信号的特性修正,上述气体流量测定装置具备信号转换单元,该信号转换单元对从上述气体流量检测信号的目标特性偏离一定量以上的特性畸变进行修正。

    气体流量测量装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103080703A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201180040855.1

    申请日:2011-08-19

    Abstract: 本发明提供一种气体流量测量装置,当气体温度检测元件的特性为非线性时也能提高高温以及低温的分辨率,扩大高精度下能够使用的温度范围,具有更高精度且高可靠性。该气体流量测量装置具有:多个电阻体,配置在气体流路中;气体流量检测电路,通过检测流过多个电阻体的电流或者根据该电流所产生的电压来输出与在气体流路中流通的气体流量相应的气体流量检测信号;以及气体温度检测元件(1),用于检测气体流路中的气体温度,其中,气体流量检测电路具备信号变换单元,该信号变换单元变换输出信号以使得从气体温度检测元件输出的信号具有规定的最大输出和最小输出、且在规定的温度范围内成为线性。

    空气流量计
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107923780B

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201680049796.7

    申请日:2016-07-27

    Abstract: 本发明提供一种精度优异的空气流量计,在具有校正输出的运算电路的空气流量计中,所述运算电路获取空气温度及传感器模块温度作为所述空气流量计的输出特性的调整要素,根据所述空气温度与所述传感器模块温度的温度差来校正输出特性,并且,在所述空气温度与所述传感器模块温度的差的绝对值较小时减小校正量。

    热式流量计
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109073432B

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN201780029530.0

    申请日:2017-06-05

    Abstract: 本发明提供一种热式流量计,其抑制从流量检测部侧向背面侧或从背面侧向流量检测部侧的空气流的循环,防止逆流的误检测,高精度地测量气体流量。本发明的热式流量计(1)包括:供被测量气体通过的旁路通路(19);将旁路通路内分割为第1通路部和第2通路部的分割部(21);和设置于分割部的第1通路部侧的面上的、检测被测量气体的流量的流量检测部(22)。而且,第1通路部具有:流量检测部在其上露出的检测面、与检测面的流量检测部相对的相对面(23a)、和配置于从相对面在第1通路部的旁路通路宽度方向上偏倚的位置且不与流量检测部相对的非相对面(27a、28a),非相对面比相对面更远离检测面。

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