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公开(公告)号：CN113417003A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110688408.2
申请日：2021-06-22
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种能够降低头部氧含量的大直径单晶硅生产方法及装置，属于单晶硅生产技术领域。生产时，单晶硅原料化料后，增加降氧处理过程，对硅熔汤进行搅拌的同时，提高氩气流量至化料结束后氩气流量的1.5倍～3倍，和/或提高拉晶炉的炉内压力为化料结束后炉内压力的1.5倍～3倍，实践结果表明，采用上述手段能够有效地降低单晶硅晶棒的头部氧含量约50%，有效打破了大直径单晶硅晶棒头部氧含量无法进一步降低的技术瓶颈。
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公开(公告)号：CN216639712U
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202123383164.1
申请日：2021-12-29
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种稳定300mm单晶硅片掺砷元素拉晶温度的单晶炉，包括主炉体、测温组件，所述主炉体的侧壁由内至外依次包括主保温层、中保温层和炉壁外层，在中保温层和炉壁外层上设有测温孔，所述测温孔沿主炉体的径向延伸，所述测温孔的一端贯通炉壁外层，所述测温孔的另一端不贯通主保温层，所述测温组件包括圆形测温玻璃、阻隔件，所述圆形测温玻璃盖合在测温孔位于炉壁外层一端的端面，所述阻隔件设有贯通的连接孔，所述阻隔件夹装在中保温层和炉壁外层之间的中空层中，所述阻隔件的连接孔与测温孔同轴，在中空层中安装阻隔件，阻隔件的设置能阻止中空层中的气体进入测温孔，避免测温玻璃被熏黑，解决了300mm单晶硅片掺砷拉晶工艺不稳的问题。
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公开(公告)号：CN215404652U
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202121380719.4
申请日：2021-06-22
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种能够降低头部氧含量的大直径单晶硅生产装置，属于单晶硅生产技术领域。在搅拌器的下端设置螺旋桨叶，且螺旋桨叶的叶宽为坩埚半径的1/3～1/2，化料结束后，将搅拌器安装在所述重锤上，并使得所述螺旋桨叶伸入所述坩埚内进行搅拌，以降低单晶硅晶棒的头部氧含量。搅拌过程中，在所述螺旋桨叶的作用下，使得硅熔汤向中部汇集，形成中间略高、坩埚内壁处略低的液面，一方面降低安全风险，防止硅熔汤挂壁或溢出，另一方面，有利于进一步降低硅熔汤中的氧含量。
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公开(公告)号：CN213596456U
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202022565390.0
申请日：2020-11-09
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置，包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管，所述石英钟罩的顶部封闭，所述石英钟罩的底部开口，在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩，所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部，所述第一连接部与石英钟罩连接，所述石英杯的顶部开口，所述石英杯的底部封闭，在石英杯的顶部设有吊耳，在石英杯内盛装掺杂剂，所述吊耳与第一钩部连接，所述导气管的上端与石英钟罩的底部开口对接，所述导气管的下端与石英坩埚的顶部开口对接，新的设计方案增加了导气管，气态掺杂剂全部进入导气管，然后集中进入石英坩埚，导气管的容积相比单晶炉的副炉室和主炉室的容积要小的多，掺杂剂的利用率高，避免了掺杂剂的浪费。
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公开(公告)号：CN215481413U
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202121974540.1
申请日：2021-08-20
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本实用新型提供的单晶炉石墨热屏，属于拉晶技术领域，包括：热屏主体、热屏环体、石英针挂块，热屏主体为上下开孔的筒体，热屏主体的下部设置热屏环体，热屏环体水平内置于热屏主体的内侧，并且热屏环体位于热屏主体的下部，热屏环体靠近内侧的上边缘设置卡台，卡台的中部设置有通孔，石英针挂块的截面形状与卡台的截面形状相同，卡台与石英针挂块卡合，石英针挂块上开设卡孔，热屏环体套设在热屏主体内，石英针挂块卡接在热屏环体的卡台内，石英针挂接在石英针挂块的卡孔内，一旦石英针挂块卡孔位置开裂，或所述热屏环体的卡台处开裂时，只需对石英针挂块、热屏环体进行更换即可，不用对整个单晶炉石墨热屏进行更换，降低了成本。
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公开(公告)号：CN213037874U
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202022004275.6
申请日：2020-09-14
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Inventor： 伊冉
IPC: C30B15/00
Abstract: 一种单晶炉热屏结构，包括内热屏、外热屏、固定部件、热屏上部断热材盖、保护盖板、提升环，内热屏套装在外热屏内，外热屏的顶部固定设置有连接凸边，提升环设置在连接凸边的下部，固定部件与提升环固定连接，且固定部件的底部与提升环的上部表面相贴合，热屏上部断热材盖固定设置在连接凸边及提升环的上部，保护盖板固定设置在热屏上部断热材盖的上部；本实用新型在使用的时候可以减轻氩气对断热材的冲刷，使得氩气难以将热屏断热材上的碳粉，纤维等带入溶汤，提高成晶率，改善晶棒体内碳含量，延长断热材使用寿命。
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公开(公告)号：CN306387830S
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202030554939.9
申请日：2020-09-17
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Designer： 伊冉
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：红磷保管柜。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于存放红磷。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
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