暗场成像结合空间移相干涉的微球缺陷检测装置及方法

    公开(公告)号:CN112903713A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN202110254460.7

    申请日:2021-03-09

    Abstract: 暗场成像结合空间移相干涉的微球缺陷检测装置及方法,涉及光学检测技术领域。为了解决检测效率低的问题。本发明使线偏振光依次透过λ/2波片、4f扩束系统和高倍显微物镜后入射至针孔反射镜的针孔,针孔反射镜衍射出的光一部分经D形反射镜反射至第二准直透镜后形成参考光,剩余部分依次透过第一准直透镜、λ/4波片、分光棱镜和显微物镜入射至被测微球,其反射光经显微物镜、分光棱镜、成像透镜和掩膜板入射至成像CCD形成被测微球的二维信息图像,分光棱镜透射光原路返回至第二准直透镜准直后构成测量光,参考光和测量光叠加经过波片组调制、检偏器使参考光和测量光产生干涉后入射至大面阵高速相机构成被测微球的三维信息图像。

    一种匀光棒条形光源及基于该光源的光学元件损伤检测装置

    公开(公告)号:CN112129775A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011012482.4

    申请日:2020-09-23

    Abstract: 一种匀光棒条形光源及基于该光源的光学元件损伤检测装置,属于光学元件损伤检测技术领域。解决了现有大口径光学元件检测存在检测光源均匀性差影响检测结果准确性的问题。本发明括玻璃棒和激光器,所述玻璃棒由一圆弧面和一平面组成,圆弧面的弧度大于180度,平面为等腰梯形,所述平面为粗糙散射面;圆形玻璃棒的一端设置有激光器,所述激光器的光束从圆形玻璃棒的一个端面沿轴向射入,另一端的端面上贴设有反光条或涂有反光层;所述激光器的光束经弧形面或另一端贴设的反光条或反光层反射后经粗糙散射面射出。采用相机成像即可实现对器件的损伤进行检测。采用相机成像即可实现对器件的损伤进行检测。适用于光学元件损伤检测使用。

    结合液晶空间光调制器与声光调制器的Littrow外腔式激光器及其调谐方法

    公开(公告)号:CN103151705B

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201310051730.X

    申请日:2013-02-16

    Abstract: 结合液晶空间光调制器与声光调制器的Littrow外腔式激光器及其调谐方法,属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littrow结构外腔式激光器由于采用了对光栅的机械转动,存在调谐连续性差的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器和闪耀光栅;方法为使半导体激光器发射的激光束经液晶空间光调制器后入射至声光调制器,声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅,并使一级衍射光原路返回,在激光器的内腔和外腔之间形成谐振,形成谐振的激光束最后从声光调制器的零级出射;改变声光调制器加载的超声波频率,在折射率随一级衍射角变化的过程中,实现所述Littrow外腔式激光器的调谐。本发明适用于激光调谐。

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