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公开(公告)号：CN104197856B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201410421514.4
申请日：2014-08-25
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种在位表面形貌检测工作台,包括机座和显微镜，机座包括下底板和上框体，上框体为其上端呈开口状的中空框体，上框体以可下底板的前后方向平移滑动的方式架设在下底板的上表面上方，下底板的前侧或后侧设有控制上框体前后滑行的X轴平移驱动装置，上框体的上端端面上架设有可沿上框体左右平移的放置平台，且上框体内设有控制放置平台左右移动的Y轴平移驱动装置，放置平台上竖设有安装立柱，安装立柱上设有可上下移动的安装块，显微镜安装在上述安装块上，安装立柱上安装有控制安装块上下移动的Z轴升降驱动装置。本发明的有益效果：其可实现在位和线下测量，适用范围广，并具有整体结构简单、合理、紧凑的特点。
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公开(公告)号：CN103506855B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201310300432.X
申请日：2013-07-17
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开一种大行程高精度Z轴工作台，包括有底座、第一支架、第二支架、活动支撑杆、工作台以及精密活动定位台；该第一支架和第二支架均设置于底座上；该活动支撑杆可上下活动地设于第一支架上，该活动支撑杆上固设有竖向延伸的光栅尺，该第一支架上设有光栅读数头；该精密活动定位台可上下活动地设置于第二支架上，该活动支撑杆的下端与精密活动定位台固定连接，针对该精密活动定位台设有驱动装置。藉此，通过将工作台的中心、光栅尺的中心、光栅读数头的中心以及精密活动定位台的中心设置在位于同一直线上，理论上可实现系统的零阿贝误差，以最大程度地减少了系统的阿贝误差，满足微纳米测量和微纳米加工要求。
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公开(公告)号：CN105403170A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510922156.X
申请日：2015-12-11
Applicant: 华侨大学 , 麦克奥迪实业集团有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种显微3D形貌测量方法，步骤如下：1)分别在焦前与焦后拍摄载物台上的待测物体的图像If＝If(i，j)、Ib＝Ib(i，j)，0≤i＜I，0≤j＜J；其中，I是图像总行数，J是图像总列数；2)根据如下公式计算得到待测物体在每一个位置(i，j)的待测图像I(i，j)，公式为：3)将待测图像I(i，j)与预先刻度的I(h)曲线对比，确定待测物体在每一个位置(i，j)表面形貌相对高度h(i，j)，0≤i＜I，0≤j＜J。本发明所述的方法实现的纵向形貌测量效率高，仅仅获取两幅图像就能够以非接触的方式实现多点测量待测物的表面高度，不需要采用传统方法进行层层扫描来获取多幅图像。虽然获得刻度曲线时候需要多个图像，但是一台仪器只需要刻度一次，即可一直用于后续使用，使用不同的标本也不需要重新刻度。
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公开(公告)号：CN105091785A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510500177.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统，系统包括沿光源发出光线的光路上依次设置准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测砂轮对应于微透镜阵列的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本发明将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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公开(公告)号：CN105067634A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510500219.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本发明将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可对平板表面进行横向线扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的一维运动获取被测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104267649A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410545448.1
申请日：2014-10-15
Applicant: 华侨大学
IPC: G05B19/042
CPC classification number: G05B19/0428 , G01B11/303 , G05B2219/2612
Abstract: 本发明公开了一种基于ARM的砂轮表面形貌实时处理系统，包括显微镜和处于显微镜上方的图像采集单元，还包括有ARM主控处理模块、液晶显示模块和电源模块，ARM主控处理模块包括其操作系统是Linux操作系统的ARM核心板和处于ARM核心板下方，并与ARM核心板卡接配合的底板，底板上具有显示屏接口、USB数据接口、RS232通信串口、功能按键和复位按键，功能按键、复位按键、USB数据接口和电源模块分别与ARM核心板的输入端电连接，显示屏接口与ARM核心板的输出端电连接，液晶显示模块与显示屏接口电连接，图像采集单元与USB数据接口电连接，RS232通信串口与ARM核心板双向控制连接。本发明的有益效果是：实现了微小化结构设计，安装携带较为方便，造价成本较低，并无噪音，且工作稳定性强，适宜长时间工作。
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公开(公告)号：CN103506855A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310300432.X
申请日：2013-07-17
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开一种结构新颖的大行程高精度Z轴工作台，包括有底座、第一支架、第二支架、活动支撑杆、工作台以及精密活动定位台；该第一支架和第二支架均设置于底座上；该活动支撑杆可上下活动地设于第一支架上，该活动支撑杆上固设有竖向延伸的光栅尺，该第一支架上设有光栅读数头；该精密活动定位台可上下活动地设置于第二支架上，该活动支撑杆的下端与精密活动定位台固定连接，针对该精密活动定位台设有驱动装置。藉此，通过将工作台的中心、光栅尺的中心、光栅读数头的中心以及精密活动定位台的中心设置在位于同一直线上，理论上可实现系统的零阿贝误差，以最大程度地减少了系统的阿贝误差，满足微纳米测量和微纳米加工要求。
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公开(公告)号：CN119413579B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510019497.X
申请日：2025-01-07
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种屏幕表面位移场和应变场的测量方法、装置、设备和介质，涉及屏幕测量技术领域。测量方法包含步骤S1至步骤S6。S1、对TFT‑LCD屏幕进行预处理，以在其表面覆上一层具有随机分布的散斑图案。S2、将TFT‑LCD屏幕样品放置在载物台。S3、调节万能材料试验机的压头的初始位置，设置压头下落速率，以及下压计划。S4、调试三维数字图像相关测量系统，并对TFT‑LCD屏幕进行挤压测试，获取测试数据。S5、对三维数字图像相关测量系统的CCD相机进行标定，获取世界坐标系和相机坐标系之间的转换模型。S6、根据所述测试数据和所述转换模型，计算在TFT‑LCD屏幕受外荷载作用下的位移场及应变场。
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公开(公告)号：CN119413579A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202510019497.X
申请日：2025-01-07
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种屏幕表面位移场和应变场的测量方法、装置、设备和介质，涉及屏幕测量技术领域。测量方法包含步骤S1至步骤S6。S1、对TFT‑LCD屏幕进行预处理，以在其表面覆上一层具有随机分布的散斑图案。S2、将TFT‑LCD屏幕样品放置在载物台。S3、调节万能材料试验机的压头的初始位置，设置压头下落速率，以及下压计划。S4、调试三维数字图像相关测量系统，并对TFT‑LCD屏幕进行挤压测试，获取测试数据。S5、对三维数字图像相关测量系统的CCD相机进行标定，获取世界坐标系和相机坐标系之间的转换模型。S6、根据所述测试数据和所述转换模型，计算在TFT‑LCD屏幕受外荷载作用下的位移场及应变场。
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公开(公告)号：CN110224632B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201910570199.4
申请日：2019-06-27
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了摩擦力可控式直线压电执行器及其控制方法。摩擦力可控式直线压电执行器包括旋转块、接触头、固定块、动子、叠层压电陶瓷、质量块和弹性元件；所述动子能沿第一方向移动；所述固定块固设在动子上，所述叠层压电陶瓷一端固设在固定块侧壁，另一端固接质量块，所述固定块、叠层压电陶瓷和质量块沿第一方向按序布置；所述旋转块第二端能绕第一端摆动，所述旋转块第二端固设有接触头，所述弹性元件连接旋转块使接触头压靠在动子上。
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