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公开(公告)号：CN107329098A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710363781.4
申请日：2017-05-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/00 , G01R33/022 , H01L39/24
Abstract: 本发明提供一种全张量磁场梯度测量组件及制备方法，至少包括：衬底、制备在所述衬底上的第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第四SQUID器件、第五SQUID器件以及第一梯度线圈、第二梯度线圈、第三梯度线圈、第四梯度线圈、第五梯度线圈，其中，所述第一梯度线圈与所述第一SQUID器件用于测量Gxx磁场梯度分量；所述第二梯度线圈与所述第二SQUID器件用于测量Gyy磁场梯度分量；所述第三梯度线圈与所述第三SQUID器件用于测量Gyx磁场梯度分量；所述第四梯度线圈与所述第四SQUID器件用于测量Gzx磁场梯度分量；所述第五梯度线圈与所述第五SQUID器件用于测量Gzy磁场梯度分量。本发明在同一衬底上制备5个SQUID器件，且每个SQUID器件探测1个分量，减小了组件体积和安装难度，降低制备成本。
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公开(公告)号：CN107229021A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710372145.8
申请日：2017-05-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
CPC classification number: G01R33/0354
Abstract: 本发明提供一种三维磁场测量组件及制备方法，组件至少包括：衬底、制备在所述衬底上第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探测线圈、第二探测线圈以及第三探测线圈，其中，所述第一探测线圈与第一SQUID器件相连，且所述第一探测线圈的法线方向与X轴方向平行；所述第二探测线圈与第二SQUID器件相连，且所述第二探测线圈的法线方向与Y轴方向平行；所述第三探测线圈与第三SQUID器件相连，且所述第三探测线圈的法线方向与Z轴方向平行。本发明在同一个衬底上制备了3个SQUID器件，且每个SQUID器件探测1个空间方向的磁场，这种方法省略了现有技术组件中的立方体结构，减小了三维磁场探测组件的体积和安装难度，降低了制备成本，缩小了三个器件之间非正交性误差。
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公开(公告)号：CN103954918B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201410199606.2
申请日：2014-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及一种二阶SBC超导量子干涉梯度计及制作方法，其特征在于是将二阶多环结构的SQUID梯度芯片与电感线圈集成在一起构成可使用直读电路的二阶多环结构超导自举(Superconducting Bootstrap Circuit,SBC)SQUID梯度计，所构筑的此类器件可以利用直读电路来读出器件输出信号，而且由于器件是由宽度很窄的超导薄膜线条构成，降低了地球环境磁场对器件磁通陷入的影响，并且器件仅对二阶梯度磁场有响应，对磁场和一阶梯度磁场不敏感，这些特点大大提高了其在无屏蔽环境磁场中的适应能力和工作稳定性，使其在微弱磁测量中具有极大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN103955003B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201410195796.0
申请日：2014-05-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01V3/10
Abstract: 本发明涉及一种在超导瞬变电磁应用中的噪声抑制方法，其特征在于所述的噪声抑制方法是将经验模态分解方法和环境磁场参考测量相结合；具体是首先建立TEM接收系统和环境磁场参考测量系统，分别测量TEM信号和环境磁场信号，并采用EMD模块对这两类信号进行高频噪声滤除处理，接着在接收信号中去除环境参考部分相关的低频干扰，最后得到需要的TEM信号。所述的方法不仅能抑制高频噪声，而且在低频噪声抑制方面十分有效，而且通过DSP模块的实时信号处理操作，有利于提高信号处理速度和节省系统存储空间，对系统的应用起重要的推动作用，有效提高系统测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105489750A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610023704.X
申请日：2016-01-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L39/04 , H01L39/22 , G01R33/035
CPC classification number: H01L39/045 , G01R33/0354 , H01L39/223
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉器件的封装结构，包括：封装槽，底部和侧壁形成有低通滤波层；底板，固定于所述封装槽底部的低通滤波层表面，且制备有器件引出电极；超导量子干涉器件，固定于底板上，并实现电性连接；盖板，密封覆盖于封装槽上形成容置空间，以将超导量子干涉器件封装于该容置空间内，且盖板朝向封装槽的一面形成有低通滤波层，所述低通滤波层包括金属粉末与低温胶的混合物层。本发明在超导量子干涉器件的封装结构中加入由金属纳米粒子构成的屏蔽层，可以有效防止外界射频电磁场进入到超导量子干涉器件中，同时低温胶的绝缘特性使得屏蔽层不能构成导通回路因此不产生金属涡流，从而提高了超导量子干涉器件的稳定性。
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公开(公告)号：CN103792500A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201210430981.4
申请日：2012-11-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 一种基于SBC构型的磁通量子计数的磁场直接读出电路，其特征在于SBC芯片（1）、放大器（2）、积分器（3）、反馈电阻（4）和反馈线圈（5）构成磁通锁定环路，磁通计数单元（6）进行逻辑判定、控制波形发生与整形后，通过放电开关对积分器（3）进行复位操作，实现磁通量子计数，磁通计数单元（6）的计数脉冲包括C+和C-，作为电路输出与积分器输出共同用于波形重构。所述的方法包括（a）利用SBC构型磁通-电流曲线非对称特性，增加磁通量子计数工作稳定性；（b）基于复位开关控制波形整形实现软开关，消除复位浪涌电流/电压。本发明基于SBC和软开关的读出电路构型简单，参数易调整、抗干扰能力强，适合运动平台下的多通道磁场测量与系统集成。
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公开(公告)号：CN103389478A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201210427956.0
申请日：2012-10-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及一种超导磁传感器的数字化实时磁补偿装置及方法，其特征在于在传统磁通锁定环读出电路的基础上引入具有不同通带特性的两级负反馈，分别实现高灵敏度待测磁场信号的读取和低灵敏度待补偿磁场干扰的补偿，采用ADC、微处理器、DAC及其附属器件组成的数字电路构建磁补偿电路，并增加了可提高磁补偿装置可靠性的软启动和磁通锁定环直流偏置自动消除功能。其补偿方法特征在于通过ADC采集磁通锁定环的输出信号，然后由微处理器进行直流偏置消除、滤波、反转、积分，最后由DAC输出磁补偿反馈需要的信号。充分利用SQUID Feedback（反馈）线圈进行反馈，极大地简化了磁补偿装置的结构，提高了它的可维护性、可靠性和待补偿信号的提取能力。
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公开(公告)号：CN102426343A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201110254091.8
申请日：2011-08-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及一种基于SQUID偏置电压反转的读出电路及低频噪声的抑制方法，其特征在于通过偏置反转电路，实现偏置反转，从而抑制低频噪声的产生，具体是所述的读出电路是由SBC构型SQUID低温部分和偏置反转读出电路两部分构成。抑制方法主要过程包括：(1)放大器输入偏置电压调整；(2)交流方法偏置电压加在；(3)磁通相位调整与直流磁通补偿；(4)载波消除；(5)积分反馈输出。本发明所涉及的电路结构相对简单，便于多通道集成，可广泛应用于生物磁、物探等低频测量。
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公开(公告)号：CN203561741U
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201320749966.6
申请日：2013-11-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本实用新型公开了一种结构紧凑的模块化超导电子设备吊舱，其特征在于：（a）所述的吊舱由上端盖、下端盖、外壳和穿舱件组成，吊舱穿舱件则固定于上端盖中心；（b）吊舱采用紧凑的三个偏心圆堆板材构建模块化堆栈结构，在防止杜瓦缸体外侧的真空抽气阀磕碰的前提下，为超导磁传感器组件和测控组件提供支撑，实现杜瓦和堆栈组件的一体化；其中由3个偏心圆板材构建的模块化堆栈结构通过缸体和塞子之间加长的螺栓与杜瓦刚性连接，而堆栈组件的各偏心圆板材结构件则通过螺纹杆连接；（c）SQUID器件和选用的直读式SBC放置在杜瓦缸体和杜瓦塞子组成的低温容器杜瓦中；所提供的吊舱，实现简单，成本低，可在有限的空间内保障超导电子设备的可维护性、可扩展性和环境适应性。
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