-
公开(公告)号：CN101371341A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200780002764.2
申请日：2007-01-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , C23C16/507 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/3244 , H01J37/321 , H01J37/32119 , H01J37/32192 , H01J37/32238 , H01J37/32449
Abstract: 本发明提供一种等离子处理装置，该等离子处理装置具有真空处理容器(34)、设于该容器内的、载置被处理体(W)的载置台(36)。处理容器(34)具有形成有上部开口的筒状容器主体(34A)、气密地安装于该主体的上部开口、由透过电磁波的电介体制的顶板(50)。该等离子处理装置还具有通过顶板向容器内供给用于产生等离子的电磁波的电磁波供给系统(54)、用于将包含处理气体的气体供给到容器内的气体供给系统(110)。在顶板(50)上形成有用于将由气体供给系统供给的气体向容器内喷出的气体喷射孔(108)。在各喷射孔(108)内配置由具有透气性的电介体制的放电防止构件(120)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101133688A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680007051.0
申请日：2006-02-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/511 , H01L21/205 , H01L21/302
CPC classification number: H01J37/32192
Abstract: 本发明是一种微波等离子体处理装置，其包括：收容待处理物体的腔室；将处理气体供应到腔室中的处理气体供应单元；产生微波的微波发生源，该微波用于在腔室中形成处理气体的等离子体；将微波发生源所产生的微波导向腔室的波导单元；由导体材料制成的平面天线，其设置有用于将波导单元所引导的微波向腔室辐射的多个微波辐射孔；由介电材料制成的微波透射板，该微波透射板用作腔室的顶壁并透射已经穿过平面天线的微波辐射孔的微波；以及布置于平面天线的相对于微波透射板的相反侧上的慢波板，该慢波板具有缩短到达平面天线的微波的波长的功能。平面天线和微波透射板彼此接触，在它们之间基本上没有空气，慢波板和微波透射板由相同材料制成，并且由慢波板、平面天线、微波透射板和腔室中形成的处理气体的等离子体形成的等效电路满足谐振条件。
-
公开(公告)号：CN101002509A
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200580024959.8
申请日：2005-07-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32192 , H01J37/32211
Abstract: 本发明提供了一种等离子处理单元，包括：处理容器，其顶部开口，并且其中能产生真空；平台，其设置在所述处理容器中，用于在其上设置将被处理的物体；上板，其由电介质制成，所述上板密封地装配在所述开口中，并允许微波从其中穿过；平面天线元件，其设置在所述上板上或上方，所述平面天线元件具有多个微波辐射孔，以向所述处理容器内部辐射用于等离子发生的微波；慢波元件，其设置在所述平面天线元件上或上方，用于缩短微波的波长；和微波干扰抑制部，其设置在所述上板的下表面上，所述微波干扰抑制部将所述下表面分成多个同心区域，并在所述区域间抑制微波干扰。
-
公开(公告)号：CN300736080D
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200630303598.8
申请日：2006-12-14
Applicant: 北陆成型工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 1.后视图与主视图相同，省略后视图；
-
公开(公告)号：CN300718903D
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200630303599.2
申请日：2006-12-14
Applicant: 北陆成型工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 1.后视图与主视图相同，省略后视图；
-
公开(公告)号：CN300725023D
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200630303597.3
申请日：2006-12-14
Applicant: 北陆成型工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 1.后视图与主视图相同，省略后视图；
-
-
-
-
-
Search Results
56
records
(took 0.023 seconds)
