NAND闪速存储器件及其操作方法

    公开(公告)号:CN101567213A

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200910133553.3

    申请日:2009-04-14

    CPC classification number: G11C16/0483 G11C16/10

    Abstract: 本发明提供了一种闪速存储器件及其操作方法,该闪速存储器件包括NAND单元单位的块,块中的每个NAND单元单位包括由n个字线控制的n个存储器单元晶体管MC,并且串联连接在与位线连接的串选择晶体管SST和接地选择晶体管GST之间。在向所选择的字线WL 施加编程电压Vpgm的同时,向更靠近接地选择晶体管GST的附近的未被选择的字线施加截止电压Vss,以将第一局部沟道Ch1与第二局部沟道Ch2隔离。随着所选择的字线WL 的位置i增大而靠近SST,第二沟道电势Vch2趋于过度增大,这导致了误差。通过只在所选择的字线WL 的位置i等于或大于预定(存储的)位置编号x时,更改施加到串选择线(SSL)和/或位线(BL)的电压、或者施加到未被选择的字线(WL 至WL )的通过电压Vpass,来防止Vch2的过度增大。如果执行步增脉冲编程(ISPP),则仅在ISPP循环计数j等于或大于预定(存储的)临界循环数量y时更改所施加的电压。

    NAND闪存器件及其制造方法
    52.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1897283A

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:CN200610101580.9

    申请日:2006-07-12

    Inventor: 宋在爀 崔定爀

    CPC classification number: H01L27/115 H01L27/11521 H01L27/11524

    Abstract: 一种NAND闪存器件,包括半导体衬底、字线、第一和第二选择线、隧道绝缘层和选择栅绝缘层。半导体衬底包括存储晶体管区和选择晶体管区。字线排列在半导体衬底的存储晶体管区,以及选择线排列在半导体衬底的选择晶体管区。隧道绝缘层插入字线和半导体衬底之间,以及选择栅绝缘层插入选择线和半导体衬底之间,并具有比隧道氧化物层更薄的厚度。同样,选择栅绝缘层在其中心区域具有比其边缘部分更薄的厚度。

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