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公开(公告)号：CN109500741B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201910028544.1
申请日：2019-01-11
IPC分类号： B24B53/00
摘要： 本发明公开了一种具有测量抛光垫厚度的修整装置及抛光设备，包括转轴模块，所述转轴模块的底部设置有用于对抛光垫进行修整的修整机构，其中，所述修整机构套设于所述转轴模块上并与之同步转动连接；所述修整机构还与所述转轴模块滑动连接，所述修整机构相对于所述转轴模块的滑动方向与所述转轴模块的轴心线平行；所述转轴模块上固定设置有用于测量修整机构位移量的测距模块。该装置可以实时在线测量抛光垫的厚度，快捷方便，准确率高，同时，在测量时不用停机，能够极大地提高生产效率。
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公开(公告)号：CN111185812A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010164655.8
申请日：2020-03-11
申请人： 大连精艺机械设备有限公司
发明人： 高庆伟
摘要： 本发明属于一种加工电磁阀体端面和内孔的复合磨床，包括床箱，其特征在于床箱上面左侧装有方形的底板一，底板一上装有工件夹持机构，右侧装有方形的底板二，底板二上从前向后依次装有加工电磁阀阀体的内孔粗磨机构、内孔精磨机构和端面磨机构；在床箱右侧壁的内侧装有电气控制器，外侧的前面用螺栓固定一个支撑座，支撑座上下固定有座耳，中间设有穿线用的电缆孔；在上下两个座耳之间用销轴固定一个横梁，在横梁的右端上面用螺栓固定一个立柱，立柱上端固定有操作键盘和显示器。本发明加工出的电磁阀一致性好，精度高，提高了发动机的平稳性，节省石油资源，生产效率高。
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公开(公告)号：CN111098218A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911416466.9
申请日：2019-12-31
申请人： 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
发明人： 叶挺
摘要： 本发明涉及一种活化方法，尤其涉及一种用于硅片的中、精抛布的活化方法。按以下步骤进行：先用界面活性剂手动刷洗抛光布，使抛光布充分浸润；再用抛光头对圆盘刷施加一定压力，然后使贴有抛光布的下定盘按一定转速旋转，边通入抛光配比液，边旋转刷洗抛光布，对抛光布进行活化。降低不良率，提升产品品质。
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公开(公告)号：CN110877289A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911276874.9
申请日：2019-12-12
申请人： 上海发那科机器人有限公司
摘要： 本发明涉及一种干式打磨领域，尤其涉及一种自动撕砂纸装置，应用于打磨装置上的砂纸，其特征在于，具体包括：砂纸靠板设置在基板上并伸出于基板；第一气缸设置在砂纸靠板的上方；定位块与磨盘形状匹配并与第一气缸连接；第二气缸设置在砂纸靠板的一侧的上方；支架与第二气缸对应连接；控制模块，与打磨装置、第一气缸和第二气缸连接，当需要对砂纸进行更换时，控制模块控制打磨装置带动磨盘移动至砂纸靠板处；控制模块控制第一气缸带动定位块向下移动，以调节磨盘的角度；控制模块控制第二气缸带动支架向下移动，以固定砂纸；控制模块控制第一气缸和打磨装置先后远离砂纸靠板，砂纸从磨盘上撕除。上述技术方案的有益效果：调节磨盘角度，同时自动撕除砂纸。
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公开(公告)号：CN110842714A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911327057.1
申请日：2019-12-20
申请人： 昆山荣富强机械设备有限公司
发明人： 唐嘉祥
IPC分类号： B24B25/00 , B24B41/02 , B24B47/04 , B24B55/02 , B24B41/00 , B24B49/00 , B24B41/06 , B24B53/00
摘要： 本发明公开了一种多功能磨床，包括：机架，所述机架上滑动安装有Y轴进给工作台，所述Y轴工作进给台上通过第一滑台机构安装有X轴工作进给台，所述第一滑台机构的前端安装有第一直线电机，所述X轴工作进给台上通过第二滑台机构上安装有工作台，所述第二滑台机构的前端安装有第二直线电机，本发明的优点是一种多功能磨床加工，具有简单便捷，加工精度高，可以磨螺纹结构、磨外圆段差，磨沟槽等进行加工，可以调整多个角度加工，进给结构采用直线电机驱动，速度快，加工精度准确，机床上安装有油雾高压冷却管冷却工件。
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公开(公告)号：CN110293475A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201910588852.X
申请日：2015-02-17
申请人： 菲比瑞卡马基纳莱有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于更换砂磨机(120)中的研磨片(25)的设备(100)，所述砂磨机(120)包括工作头(50)，在所述工作头(50)中提供支撑体(10)，所述支撑体(10)具有被布置成与研磨片(25)接合的接合表面(15)。所述砂磨机(120)还包括搬运装置(40)，所述搬运装置(40)被布置成根据至少两个自由度在空间上致动所述支撑体(10)。所述研磨片(25)的在使用中面向所述支撑体(10)的面(26)和所述支撑体(10)的所述接合表面(15)包括可移除类型的相互接合部件。例如，所述相互接合部件可提供：魔术贴层，即一面是绒毛层，而另一面是多个钩；或粘合剂层，特定地说，由双面胶层组成的粘合剂层；或可彼此接合的多个突出部和凹陷部；或类似的接合元件。此外，提供在其处研磨片安装在支撑体(10)的接合表面处的施加站(70)。
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公开(公告)号：CN107953259B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201711254622.7
申请日：2017-12-01
IPC分类号： B24B53/00
摘要： 本发明提供了一种抛光垫修整方法及包含其的化学机械抛光方法，涉及化学机械抛光领域，该抛光垫修整方法，沿抛光垫的径向方向，修整器在所述抛光垫的边缘和所述抛光垫的中心之间做往复运动对所述抛光垫进行修整；沿抛光垫的径向方向，所述抛光垫从边缘至中心依次划分不同的修整区域，修整器不同修整区域内的相对修整时间和下压压力不同，以缓解利用现有修整方法容易导致抛光垫表面过抛，容易导致晶圆平整度下降和表面缺陷增加的问题，达到延长抛光垫使用寿命和降低晶圆表面缺陷的目的。
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公开(公告)号：CN105856057B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201610060343.6
申请日：2016-01-28
申请人： 株式会社荏原制作所
发明人： 筱崎弘行
IPC分类号： B24B37/00 , B24B53/00 , H01L21/304
摘要： 本发明提供一种连结机构、基板研磨装置、旋转中心定位方法、最大按压负荷确定方法及记录介质。该连结机构可使旋转体追随研磨面的起伏而不会使旋转体产生抖动及振动，并且，即便在小于旋转体的重力的负荷区域内也可精密地控制旋转体对研磨面的负荷。连结机构包括配置在驱动轴与旋转体之间的上侧球面轴承及下侧球面轴承。上侧球面轴承具有相互接触的第1凹状接触面和第2凸状接触面，下侧球面轴承具有相互接触的第3凹状接触面和第4凸状接触面。第1凹状接触面及第2凸状接触面的位置较第3凹状接触面及第4凸状接触面靠上方。第1凹状接触面、第2凸状接触面、第3凹状接触面及第4凸状接触面呈同心状配置。
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公开(公告)号：CN109605181A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811583494.5
申请日：2018-12-24
申请人： 谭惠君
发明人： 谭惠君
摘要： 本发明公开了一种高精密零件用可检测误差便于调整的加工装置，涉及高精密零件加工技术领域，具体为底座和砂带更换转盘，所述底座的上方固定有平移台，且平移台的上表面安装有滑轨，所述滑轨的上方设置有连接卡槽，且卡槽的外侧设置有平移底座，所述平移底座的上方安装有升降螺杆，且升降螺杆的左右两侧均设置有伸缩滑杆，所述伸缩滑杆的上方连接有升降座，所述升降座的上端安装有连接转轴，且连接转轴的内侧连接有夹具座。该高精密零件用可检测误差便于调整的加工装置，通过滑轨与卡槽构成的滑动结构，可以将夹具座进行水平位移，改变夹具座的位置，便于将被加工零件由夹具座上取出或固定，从而对被加工零件进行加工或测量工作。
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公开(公告)号：CN105479340B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201511010161.X
申请日：2015-12-25
申请人： 华南理工大学
摘要： 本发明公开了一种砂轮微放电修锐修整的在线监控装置，包括：脉冲放电参数采集系统，用于实时获取金刚石砂轮微放电修锐修整中的放电参数；图形采集与处理系统，用于拍摄微磨粒出刃三维图像并提取形貌特征值转换成数字信息与参考值进行比较；数据处理及调节系统，用于根据图形采集与处理系统的比较结果与实时获取的放电参数，利用磨床的CNC计算机控制系统自适应地调节脉冲电源参数及磨床的磨削工艺参数。本发明还提供了一种砂轮微放电修锐修整的在线监控方法。本发明通过机器视觉与图像处理的软件系统，将微磨粒出刃的三维形貌转换成数字信息，连同远程监控模板嵌入到数控机床中，实现砂轮工具在线修锐修整的网络智能化监控。
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