公开(公告)号：CN102460859B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201080031764.7

申请日：2010-05-07

Applicant: 国立科学研究中心

Inventor： 菲利普·巴尔库

IPC: H01S3/09

CPC classification number: H01S3/0903 ,  H01S3/30 ,  H01S4/00 ,  H05G2/00

Abstract: 本发明涉及一种自由电子激光系统，包括生成能够在第一传播方向(Oz)上传播的相对论性电子(21)的包(20)的装置(2)，和生成能够与相对论性电子(21)的包(20)进行相互作用的变换器光束(30)的装置(3，3′)。在该系统中，变换器光束(30)在被包(20)的传播方向(Oz)贯穿的相互作用区域(4)由在不同方向上传播的且每个都在与所述包(20)的所述传播方向(Oz)正交的平面内具有至少一个非零分量的至少两条激光束(31，32)结合产生。本发明还涉及包括俘获和引导被注入相互作用区域(4)的相对论性电子(21)的包(20)而生成自由电子激光束并实现这样的自由电子激光系统的方法。

公开(公告)号：CN104541207A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380042232.7

申请日：2013-08-02

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.帕特拉

IPC: G03F7/20 ,  H01S3/09 ,  H05G2/00

CPC classification number: G03F7/70058 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70008 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70566 ,  G21K1/062 ,  G21K1/067 ,  H01S3/0903 ,  H05G2/00

Abstract: 一种EUV投射光刻投射曝光设备(1)的照明系统，包含光源(2)，其产生具有预定偏振态的EUV照明光的输出光束(3)。照明光学单元(5)沿光轴引导输出光束(3)，从而，掩模母版平面(15)中的照明场(14)由输出光束(3)照明。光源(2)包含电子束供应装置(2a)、EUV产生装置(2c)和偏振设定装置(25)。通过电子束供应装置(2a)为EUV产生装置(2c)供应电子束(2b)。偏振设定装置(25)对电子束(2b)施加可调偏转效应，用于设定输出光束(3)的偏振。因此导致以基于电子束的EUV光源为基础进行操作且提供针对分辨率优化的照明而改进的输出光束的照明系统。

公开(公告)号：CN104412716A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201380031610.1

申请日：2013-06-12

Applicant: 摩擦透视公司

Inventor： 卡洛斯·卡马拉 ,  马克·瓦伦丁

IPC: H05G1/02 ,  H05G1/52

CPC classification number: H05G2/00 ,  H01J35/02 ,  H01J35/16

Abstract: 本发明揭示一种高能辐射产生器，其在低压环境中利用滑动摩擦产生例如X射线等高能辐射。所述滑动摩擦可在存在电子标靶时通过使一个材料抵着第二材料扫掠而产生，例如，使转子的表面抵着隔膜旋转，所述电子标靶可为所述第一材料或所述第二材料中的一者或为不同材料。

公开(公告)号：CN103430631A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201180069210.0

申请日：2011-12-26

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 青井辰史 ,  神纳祐一郎 ,  尾木靖夫 ,  渡部聪 ,  重冈伸之

IPC: H05G2/00 ,  H05G1/00 ,  H05H9/00

CPC classification number: G01V5/0041 ,  H05G1/26 ,  H05G1/32 ,  H05G1/34 ,  H05G2/00

Abstract: 本发明提供一种X射线产生装置以及X射线产生装置的控制方法，目的在于不仅放射多个不同能量的X射线而且抑制已生成的X射线的能量的偏差。X射线检查装置(10)中所具备的X射线产生装置(14)通过由粒子加速装置(20)生成用于产生多个不同能量的X射线的带电粒子束并对靶(22)照射带电粒子束从而放射X射线。单一能量控制装置(40)基于根据由于对靶(22)照射带电粒子束而在靶(22)中流动的电流的测量值以及从靶(22)放射的X射线的射线量的测量值所求取的每单位靶电流的X射线射线量，按不同能量的X射线的每一个来对粒子加速装置(20)进行控制。

公开(公告)号：CN101155464B

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN200710161207.7

申请日：2007-09-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 田中博文 ,  永山贵久 ,  头本信行

IPC: H05H11/00 ,  H05H13/04 ,  H05H13/08 ,  H05H7/08 ,  G21K1/093

CPC classification number: H05H11/00 ,  A61B6/4092 ,  A61B6/484 ,  H05G2/00 ,  H05H7/06 ,  H05H7/08

Abstract: 一种环形加速设备，它包括：电子发生器(1)，用于响应从高压电源(4)施加在电子发生器(1)上的脉冲电压以脉冲方式产生电子；以及环形加速器(2)，它包括用于使已经由电子发生器(1)产生并且注入到环形加速器中的电子加速的电子加速装置(13)和用于使注入的电子发生偏转的偏转磁场产生装置(14)，其特征在于，所述高压电源(4)设有用于使施加在电子发生器(1)上的脉冲电压具有缓慢上升边缘和缓慢下降边缘中的至少一个的电路元件。

公开(公告)号：CN101258783B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN200680028066.5

申请日：2006-06-01

Applicant: 约翰·M.J.·麦迪

Inventor： E·B·斯扎莫斯

IPC: H01S4/00

CPC classification number: H05G2/00

Abstract: 一种生成高能电磁辐射的方法包括：在多个独立辐射间隔的每一个期间，向由给定波长辐射的往返传播时间(RTTT)表征的光学腔中注入该给定波长的激光辐射。至少一些辐射间隔由一个或多个光学宏脉冲定义，至少一个光学宏脉冲引起被该光学宏脉冲中的后续光学微脉冲相干增强的关联循环光学微脉冲，且腔中任何给定位置处的循环光学微脉冲的电场振幅在辐射间隔期间达到最大值。

公开(公告)号：CN101542319B

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN200780043026.2

申请日：2007-11-19

Applicant: 威苏雷有限公司

Inventor： 菲尔·蒂格

IPC: G01V5/10 ,  G01N23/00

CPC classification number: E21B47/1015 ,  H05G2/00

Abstract: 本发明提供了一种用于在井下生成非放射性的电离辐射(28)的方法，所述电离辐射(28)被设置成能够从钻孔(3)的周围(5)产生反射，特别是X射线和/或伽马辐射，其中所述方法包括以下步骤：在多级激光增强器(12)中通过泵型激光光源(13)激发激光(14)，以形成脉冲激光(14a)，入射光的能量集中在受限的激光脉冲上，受限激光脉冲表现出比激光(14)的连续通量更高的光能量；在真空室(15)内形成游离电子(16，32)的集合；将脉冲激光(14a)聚焦在游离电子(16，32)的集合内的一点，以便形成脉冲电子场(尾场)，该脉冲电子场在韧致辐射产生时向周围(5)发出电离辐射(28)，从而在伽马和/或X射线频率范围内形成来自周围(5)的高能量的反射。本发明还提供了在实践所述方法时所采用的设备(1)。

公开(公告)号：CN1856212B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200610075404.2

申请日：2006-04-14

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 田中博文

IPC: H05H13/08 ,  H05H13/00 ,  H05G1/52

CPC classification number: H05H11/00 ,  H01J2235/08 ,  H05G2/00 ,  H05H6/00

Abstract: 本发明提供电磁波发生装置。实现可以产生大强度的X射线，并且可以高速切换所发生的X射线的能量的，小型低成本的电磁波发生装置。在由圆形加速器组成的电磁波发生装置中，构成圆形加速器的偏转电磁铁由于根据其形状相对入射或者加速电子具有聚焦功能，因而该加速器在电子的入射、加速的全过程中在其半径方向的规定范围中具有稳定的电子回旋轨道，在该稳定的电子回旋轨道上设置标靶，依照该标靶的设置位置，设置回旋的电子束与上述标靶碰撞的区域，和不与上述标靶碰撞的区域，通过控制偏转电磁铁的致偏磁场以及电子束加速的两时间变化模型，使电子在这些区域之间一边回旋一边移动，通过和上述标靶碰撞而发生X射线。

公开(公告)号：CN102484934A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080026991.0

申请日：2010-04-16

Applicant: 埃里克·H·西尔弗 ,  杰拉尔德·奥斯汀 ,  戴维·考德威尔

Inventor： 埃里克·H·西尔弗 ,  杰拉尔德·奥斯汀 ,  戴维·考德威尔

IPC: H05F1/02

CPC classification number: A61B6/4064 ,  A61B6/022 ,  A61B6/032 ,  A61B6/4035 ,  A61B6/482 ,  A61B6/485 ,  A61B6/50 ,  A61B6/503 ,  A61B6/5264 ,  A61B6/5276 ,  A61B6/5288 ,  A61B8/5276 ,  A61N5/10 ,  A61N2005/1091 ,  A61N2005/1098 ,  H05G2/00

Abstract: 根据一些方面，本发明提供了一种用于成像和/或辐射疗法的x-射线装置，所述x-射线装置包括：能够产生电子的电子源、设置成接收来自所述电子源的电子的至少一个第一靶物（所述至少一个第一靶物包含响应于电子的辐照而发射宽谱x-射线辐射的物质）、设置成接收至少一些宽谱x-射线辐射的至少一个第二靶物（所述至少一个第二靶物包含响应于来自第一靶物的宽谱x-射线辐射的辐照而发射单色x-射线辐射的物质）、以及设置成检测从至少一个第二靶物发射的至少一些单色x-射线辐射的至少一个检测器。根据一些方面，本发明提供了相对低成本的、相对小占用面积的x-射线装置，其用于产生单色x-射线辐射，所述单色x-射线辐射适用于医学/临床目的，且适用于现有的医疗场所，诸如医院和/或小的临床场合。

公开(公告)号：CN101896980A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN200880116751.2

申请日：2008-09-26

Applicant: 离子束应用股份有限公司

Inventor： M·阿布斯 ,  S·扎雷姆巴 ,  W·克里文

IPC: G21K1/08 ,  G21K5/04 ,  G21K5/10 ,  H05G2/00 ,  A61L2/00 ,  A61L2/08 ,  A61N5/10 ,  G01V5/00

CPC classification number: H01J37/10 ,  A61L2/087 ,  A61L2202/122 ,  A61N5/1043 ,  A61N2005/1087 ,  G21K1/08 ,  G21K5/04 ,  G21K5/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/30 ,  H01J2237/31701 ,  H05G2/00

Abstract: 本发明涉及一种用于传输带电粒子束的设备(10)。该设备包括：用于在靶(3)上扫描带电粒子束的装置(12)、被布置在用于扫描的装置上游的偶极磁体(15)、布置在偶极磁体与用于扫描的装置之间的至少三个四极透镜(17)和用于根据带电粒子束的扫描角来调整所述至少三个四极透镜的场强度的装置。可以使所述设备至少单消色差。