公开(公告)号：CN211016566U

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201921567676.3

申请日：2019-09-20

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 王宏兴 ,  刘璋成 ,  赵丹 ,  王娟 ,  邵国庆 ,  易文扬 ,  李奇 ,  王玮 ,  问峰

IPC: G21H1/06 ,  H01L29/45 ,  H01L29/868 ,  H01L21/329

Abstract: 本实用新型的目的是提供一种单晶金刚石n‑i‑p结核动力电池，解决了现有金刚石肖特基结核动力电池开路电压低、输出电流小的问题，从而提升金刚石核动力电池的性能和应用前景。该一种单晶金刚石n‑i‑p结核动力电池，包括层叠接触设置的本征单晶金刚石衬底、n型金刚石层、i型金刚石层、p型金刚石层和p型欧姆电极；在n型金刚石层与i型金刚石层所接触的表面上，一部分接触设置i型金刚石层，其余部分接触设置n型欧姆电极；p型欧姆电极通过引线连接有，i型金刚石层通过引线连接有；还包括放射源，放射源设置于p型欧姆电极的上方，或者环绕设置于i型金刚石层的外侧。

公开(公告)号：CN210628243U

公开(公告)日：2020-05-26

申请号：CN201921427836.4

申请日：2019-08-30

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 王宏兴 ,  刘璋成 ,  赵丹 ,  胡文波 ,  吴胜利

IPC: H01J49/02 ,  H01J49/14

Abstract: 本实用新型公开了一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，以解决现有技术无法获得氩原子束的问题。该装置包括：真空管路，为一真空的空心腔室；氩气枪，设置于真空管路的一侧，用于产生氩气束，并将氩气束输送至真空管路内；汇聚管路，设置于真空管路的另一侧，且其与真空管路连通；真空管路内，沿着氩气束的流动方向依次间隔设置有电离系统、加速系统和中和系统，其中：电离系统，用于提供电场，将氩气束电离为氩等离子体束；加速系统，用于提供电场，对氩等离子体束进一步加速；中和系统，用于过滤经加速的氩等离子体束，并将其转换为氩原子束，氩原子束汇聚于汇聚管路处并加速输出。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209496877U

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201920132535.2

申请日：2019-01-25

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 王宏兴 ,  王艳丰 ,  常晓慧 ,  王玮 ,  宋王振 ,  赵丹 ,  刘璋成 ,  王若铮 ,  侯洵

IPC: H01L29/40 ,  H01L29/78

Abstract: 本实用新型公开了n型掺杂金刚石场板结构的场效应晶体管，包括金刚石衬底，金刚石衬底上铺设有由n型掺杂单晶金刚石外延薄膜形成的台面，台面上沉积有两个条形的介质层，沿各介质层和台面的外沿分别铺设有漏极和源极，在两个介质层之间铺设有栅极，介质层、漏极、源极和栅极形成场板结构，源极、漏极和栅极上分别沉积有源引出电极、漏引出电极和栅引出电极，源引出电极、漏引出电极和栅引出电极之间通过钝化层相互完全分隔；本实用新型在金刚石MESFET的源栅漏电极边缘引入场板结构，有效的降低了电场集中效应，增大了器件的耐压特性，有效减弱器件源、栅、漏边缘的电场集中现象，提高了器件击穿电压性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208521897U

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201821062676.3

申请日：2018-07-05

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 王宏兴 ,  刘璋成 ,  吴胜利 ,  胡文波 ,  赵丹 ,  王艳丰

IPC: H01L21/18 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了种用于氮化镓和金刚石直接键合的生产设备，该设备包括微波等离子体化学气相沉积设备、磁控溅射设备和加压设备，微波等离子体化学气相沉积设备和磁控溅射设备均与加压设备管路连接；微波等离子体化学气相沉积设备内用于预处理金刚石，磁控溅射设备内用于预处理氮化镓；加压设备包括一腔体，腔体内为真空状态，腔体的上下方均竖直设置有一加压装置；处理后的金刚石衬底和氮化镓衬底均通过管路送至腔体，腔体内用于处理后的金刚石和氮化镓键合；在键合的过程中，加压装置在竖直方向上对两者施加压力。适用于氮化镓和金刚石直接键合的条件，使制备过程一体化。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利