一种基于音叉式TPoS谐振器的磁场传感器

    公开(公告)号:CN116087840A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202310175843.4

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 本发明属于微机电技术领域,具体为一种基于音叉式TPoS谐振器的磁场传感器。包括硅衬底,以及集成在硅衬底上的音叉式TPoS谐振器的磁场传感器;所述音叉式TPoS谐振器的磁场传感器包括金属螺旋线圈、第一频率变化单元和第二频率变化单元;第一频率变化单元包括微杠杆和三音叉式TPoS谐振器,微杠杆的一端连接金属螺旋线圈,另一端连接三音叉式TPoS谐振器;第二频率变化单元与第一频率变化单元结构尺寸完全相同,且与第一频率变化单元关于金属螺旋线圈呈中心对称。与传统的电容式谐振器相比,本发明通过设置在两个频率变化单元的音叉式TPoS谐振器,降低在封装和外部信号处理电路设计的复杂度,实现更低的制备成本。

    一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法

    公开(公告)号:CN113098418A

    公开(公告)日:2021-07-09

    申请号:CN202110366631.5

    申请日:2021-04-06

    Abstract: 本发明公开了一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法,本发明的微型圆盘谐振器包括SOI基底,以及集成在SOI基底上的平面螺旋电感和圆盘谐振体;所述圆盘谐振体与平面螺旋电感耦合连接,使得所述圆盘谐振体的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路,实现无线传输。本发明通过在同一硅片上集成平面螺旋电感与圆盘型压电谐振器,使得圆盘谐振器的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路,通过外部电路无线读取圆盘谐振器的频率信息的变化来实现监测被测物质量的目的,进而实现该器件无线传感的目的。

    工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法

    公开(公告)号:CN112653408A

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN202011449517.0

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 本发明公开了工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法,涉及射频微机电系统技术领域,解决温度漂移对谐振器工作频率产生负面影响的问题。本发明包括双端固支梁(9)直接与SOI基底(1)连接,通过连接梁(10)与带电掺杂硅悬浮平台(11)连接,双端固支梁(9)的顶部设置有4×2的电极阵列,通过对应的金属引线分别与正极性电极盘(8)和负极性电极盘(7)电气连接。本发明旨在减小谐振器频率对加工工艺误差的敏感度,降低加工成本,本发明实现工作频率可实时调整的谐振器。

    一种基于电学检测方式的防水隐形条形码及检测方法

    公开(公告)号:CN110163321B

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201910429455.8

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于电学检测方式的防水隐形条形码及检测方法,包括基底、若干条形码电极和连接电极,所述的条形码电极和连接电极位于基底之上,若干条形码电极均位于连接电极的同一侧,若干条形码电极均与连接电极连接,所述的条形码电极和连接电极都是透明的;本发明所述的电学检测方式基于摩擦生电原理,这使得条形码的制作材料可以采用透明的材料,这样制作的条形码图形便是隐形的;不同的条形码电极宽度对应不同的输出电信号的宽度和幅值,因此,通过输出脉冲电信号的宽度和幅值便可以对条形码进行识别。

    具有任意曲面适应性的自驱动超弹性密码盘及其制备方法

    公开(公告)号:CN109826503B

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201910071089.3

    申请日:2019-01-25

    Abstract: 本发明公开了具有任意曲面适应性的自驱动超弹性密码盘及其制备方法,所述密码盘包括:基底层、导电流体电极层、封装层;若干流体导电电极安装在基底层上,封装层对基底层和导电流体电极层进行封装,基底层和封装层均采用ECOFLEX系列硅橡胶;所实现的器件具有超弹性和柔韧性,可完全贴附在任意复杂曲面上,比如人体皮肤,并且具备良好的生物相容性和舒适度,本发明所实现的器件具有自驱动特性,能够将外部机械输入直接转化为电信号,从而实现自发电自供能特性。

    一种基于蚕丝蛋白的柔性湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109613075B

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201910012315.0

    申请日:2019-01-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于蚕丝蛋白的柔性湿度传感器及其制备方法,所述柔性湿度传感器包括柔性基底、叉指电极和湿敏材料,所述叉指电极位于柔性基底和湿敏材料之间,所述湿敏材料为蚕丝蛋白薄膜。本发明所述蚕丝蛋白薄膜对水分子的选择性吸附的独特特性,它能够检测液态水分子的存在性,甚至可以在特定场合区分液态水分子和气态水分子。因此,本发明所述的柔性湿度传感器能够用于检测环境中是否含有液态水分子,更进一步地讲,在一些特定的场合可以区分是液态水分子和气态水分子的存在。

    一种织物型柔性复合式传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN110412487A

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201910702022.5

    申请日:2019-07-31

    Abstract: 本发明公开了一种织物型柔性复合式传感器及其制作方法,一种织物型柔性复合式传感器,包括织物基底、印刷电极和功能薄膜,印刷电极设置于织物基底和功能薄膜之间,印刷电极为相互嵌套在一起的螺旋状平面线圈组成的电极;功能薄膜由滴加到印刷电极上的蚕丝蛋白溶液在水蒸发后得到,功能薄膜作为传感器内部电容的电介质,使得传感器电容大小随湿度改变;传感器通过印刷电极实现电磁通量的检测,通过印刷电极和功能薄膜实现对湿度的检测。织物型柔性复合式传感器制备方便快捷,采用丝网印刷工艺在可弯折和拉伸的织物上制备功能电极,然后在电极区域滴加蚕丝蛋白水溶液。本发明解决了环境中的电磁通量和湿度检测问题,且制备过程简单、制备周期短且制备成本低。

    一种光辅助热电器件的油墨印刷式制备方法及其结构

    公开(公告)号:CN110289348A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201910331525.6

    申请日:2019-04-24

    Abstract: 本发明公开了一种光辅助热电器件的油墨印刷式制备方法:将粘合剂、稀释剂、N型或P型热电材料粉末进行混合,获得N型热电油墨和P型热电油墨;将N型或P型热电油墨印刷在基底上,待烘干之后,再在基底上印刷P型或N型热电油墨;将印刷热电油墨的基底进行固化后,采用导电材料将N型热电油墨和P型热电油墨串联形成热电发电单元;在热电发电单元上覆盖两种或以上的吸收率不同的吸光材料,得到最终的光辅助式热电器件。制备的光辅助热电器件,包括基底、覆盖于基底上的热电发电单元以及覆盖于热电发电单元上的光热转化单元。本发明提供了一种基于油墨印刷的光辅助式热电器件,可以同时收集光能和热能,并且具有可批量生产、成本低廉的特点。

    一种基于蚕丝蛋白的柔性湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109613075A

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201910012315.0

    申请日:2019-01-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于蚕丝蛋白的柔性湿度传感器及其制备方法,所述柔性湿度传感器包括柔性基底、叉指电极和湿敏材料,所述叉指电极位于柔性基底和湿敏材料之间,所述湿敏材料为蚕丝蛋白薄膜。本发明所述蚕丝蛋白薄膜对水分子的选择性吸附的独特特性,它能够检测液态水分子的存在性,甚至可以在特定场合区分液态水分子和气态水分子。因此,本发明所述的柔性湿度传感器能够用于检测环境中是否含有液态水分子,更进一步地讲,在一些特定的场合可以区分是液态水分子和气态水分子的存在。

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