一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器

    公开(公告)号:CN105871351B

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201610168651.0

    申请日:2016-03-22

    Abstract: 本发明属于电子科学技术领域,涉及MEMS压电谐振器,具体提供一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器,包括振动块、四条支撑梁、四个支撑台及基底,所述振动块由输入端P型半导体区、N型半导体区和输出端P型半导体区构成,所述输入端P型半导体区、输出端P型半导体区分别位于振动块的对角,连接振动块各区的支撑梁与振动块对应区采用相同掺杂类型,振动块上覆盖压电层,输入、输出金属电极置于压电层上,所述压电层部分覆盖振动块,使得输入金属电极与输入端P型半导体区电气连通,输出金属电极与输出端P型半导体区电气连通。本发明结构能够大大减小了由传统支撑梁较大宽度带来的锚点损耗,有效的提高了谐振器的品质因数Q。

    一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关

    公开(公告)号:CN104916502B

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201510246961.5

    申请日:2015-05-15

    Abstract: 本发明属于电子科学技术领域,提供一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关,包括带绝缘介质层的基底,绝缘介质层上的两个横向可移动悬臂梁及其对应的第一驱动电极、第二驱动电极、开关焊盘、电极焊盘;所述两个横向可移动悬臂梁下方悬空且高度位于同一水平面,其固定端分别通过支撑锚点固定于绝缘层上对侧位置、自由端部分交叠且不接触;所述第一驱动电极设置作用于横向可移动悬臂梁中点;所述第二驱动电极设置对应于横向可移动悬臂梁自由端端点。本发明通过两组电极对两个悬臂梁的控制,使开关具有更低的驱动电压和更高的隔离度,并降低了开关时间,使之具有更好的实用性及开关性能。

    一种水下CAN组网数据采集节点

    公开(公告)号:CN203025944U

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201220748835.1

    申请日:2012-12-29

    Abstract: 本实用新型涉及一种水下CAN组网数据采集节点。本实用新型包括一个电源电路、一个置位/复位电路、两个相同的传感器通信电路、八个相同的模拟信号采集电路、两个相同的组网电路、一个备份组网电路和一个主控电路。本实用新型采用双路CAN总线组网的技术构成的海洋环境参数采集节点电路,利用了CAN组网的高可靠性、高实时性等特点,并提供了备份以太网组网技术,一旦CAN组网失败时可进行备份组网,大大提高了数据传输的可靠性。

    一种深海原位观测站采集控制电路

    公开(公告)号:CN203520065U

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201320639268.0

    申请日:2013-10-16

    Abstract: 本实用新型涉及一种深海原位观测站采集控制电路。本实用新型包括电源电路、时钟电路、继电器电路、模拟信号采集电路、SD电路、串口电路、主控电路及主控芯片附带复位电路。主控芯片控制继电器电路使各传感器上电,等待传感器数据并进行采样,采集时钟芯片的时钟信息,按照数据格式存储SD卡。数据采集间隔和数据传输间隔信息存在SD卡中的配置文件。本实用新型综合利用了精准定时技术、微功耗控制技术、大容量存储技术和可靠处理技术,提供了数字RS232、RS485和模拟电压等不同接口传感器的电源控制,传感数据的定时采集、存储与发送,具有定时采集电池电压功能,用以维护深海原位观测站整体的正常运行。

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