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公开(公告)号：CN112543897B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202080004448.4
申请日：2020-02-18
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明提供一种分析装置、分析方法以及存储介质，能够更准确地导出反映出生产线的实际状态的、各机构间的因果关系。本发明的一方面的分析装置获取与构成生产线的多个机构的状态相关的多件测量数据以及前提信息，在由前提信息所给出的限制条件下，统计性地分析多件测量数据，由此来确定多个机构间的因果关系，输出表示所确定的因果关系的因果关系信息，受理对由所输出的因果关系信息所表示的因果关系的修正，修正前提信息，以给出与经修正的因果关系相适合的限制条件，并保存经修正的前提信息。
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公开(公告)号：CN109690432B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201780055227.8
申请日：2017-10-10
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B23/02 , G05B19/418 , H05K13/08
Abstract: 能够监视设备的动作状态，而不用针对全部产品在事前生成并存储其学习数据，由此实现设备运行效率的提高。在利用设备(2)生产产品时，从控制台终端(3)接收生产对象产品的产品ID及其多个控制项目的设定值，从转换模型存储部(32)读入与该产品ID和多个控制项目的组合对应的转换模型。然后，按照该读入的转换模型对基准学习数据存储部(31)中存储的基准学习数据进行数据转换，生成与上述生产对象产品对应的个别学习数据，使用该个别学习数据判别从上述设备(2)的传感器输出的测定数据是否异常。
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公开(公告)号：CN109918690A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201811057807.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法，能够准确预测在湿法蚀刻装置中产生消除斑痕的时间。本发明一方面的监视系统根据学习数据，构建对应于累计运行时间及累计处理片数的值预测去除量的值的预测模型，获取运行中的湿法蚀刻装置中的累计运行时间、累计处理片数及去除量的实际值，将获取的累计运行时间及累计处理片数各自的实际值输入预测模型，计算去除量的预测值，计算去除量的预测值和实际值之间的差值，作为表示药液更换标准的指标值，根据算出的指标值，输出与药液更换有关的信息。
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公开(公告)号：CN112534373B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202080004364.0
申请日：2020-02-03
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B23/02 , G05B19/418
Abstract: 本发明提供一种显示系统、显示方法及显示程序的记录介质，可容易地确认生产设备中可能产生的异常的原因。本发明的显示系统设于生产设备，所述生产设备生产制品，且具有驱动生产设备的驱动部件、及监测生产的监测部件，驱动部件及监测部件具有可控制的特征量，并且所述显示系统包括控制部、显示部及存储部，控制部以下述方式构成：获取从驱动部件及监测部件的至少一个经时输出的特征量并存储于存储部，基于所获取的特征量，每隔规定的期间构建因果关系模型，因果关系模型表示从驱动部件及监测部件中选择至少一个且生产设备中可能产生的至少一个异常的原因要素、及原因要素的关系；以及将多个期间中构建的多个因果关系模型显示于显示部。
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公开(公告)号：CN112585547B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202080004474.7
申请日：2020-02-20
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B19/418 , G06F8/74
Abstract: 本发明提供一种分析装置、分析方法以及记录介质。本发明的一实施例的分析装置通过函数结构信息这一外部信息来赋予在控制程序的依存性分析中无法导出的标准函数的输入参数及输出参数之间的依存关系的定义。即，所述结构的分析装置基于对标准函数中的输入参数及输出参数之间的依存关系进行定义的函数结构信息，确定标准函数中的输入参数及输出参数之间的依存关系。由此，标准函数的输入/输出间的依存关系变得明确，因此可确定隔着标准函数的多个设备变量间的依存关系。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116583866A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202180081926.6
申请日：2021-09-14
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G06Q50/04
Abstract: 在实现模型的生成所需的成本的减少的同时，抑制所生成的模型的估计精度下降。本发明的一方面的品质预测系统获取在第一制造设备中收集到的第一学习数据，并获取在第二制造设备中收集到的第二学习数据，为了实施转移学习，将所获取的第一学习数据转换为适合于第二学习数据，使用转换后的所述第一学习数据及第二学习数据，实施品质预测模型的机器学习，使用训练完毕的品质预测模型，确定第二制造设备的各调整项目的调整量，以使第二产品的经预测的品质指标满足品质基准，并输出经确定的第二制造设备的各调整项目的调整量。
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公开(公告)号：CN116457798A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202180071334.6
申请日：2021-09-14
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G06N7/01 , G06F18/2433 , G06Q10/0633
Abstract: 本发明的工序分析装置包括：正常数据获取部，获取与构成制造线的多个机构的正常时的状态相关的多件第一状态数据；异常数据获取部，获取与所述多个机构的异常发生时的状态相关的多件第二状态数据；正常时分析部，分析所获取的所述多件第一状态数据，由此确定所述多个机构间的连接状态作为第一连接状态；异常时分析部，分析所获取的所述多件第二状态数据，由此确定所述多个机构间的连接状态作为第二连接状态；正常时关系确定部，基于所述第一连接状态，确定所述制造线中所实施的工序中的所述多个机构间的因果关系作为正常时因果关系；异常时关系确定部，基于所述第二连接状态，确定所述制造线中所实施的工序中的所述多个机构间的因果关系作为异常时因果关系；及特别因果关系确定部，将所述正常时因果关系与所述异常时因果关系加以比较，确定与异常的发生相关联的多个所述机构间的因果关系作为特别因果关系。
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公开(公告)号：CN109918690B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201811057807.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法，能够准确预测在湿法蚀刻装置中产生消除斑痕的时间。本发明一方面的监视系统根据学习数据，构建对应于累计运行时间及累计处理片数的值预测去除量的值的预测模型，获取运行中的湿法蚀刻装置中的累计运行时间、累计处理片数及去除量的实际值，将获取的累计运行时间及累计处理片数各自的实际值输入预测模型，计算去除量的预测值，计算去除量的预测值和实际值之间的差值，作为表示药液更换标准的指标值，根据算出的指标值，输出与药液更换有关的信息。
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公开(公告)号：CN112534373A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202080004364.0
申请日：2020-02-03
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B23/02 , G05B19/418
Abstract: 本发明的显示系统设于生产设备，所述生产设备生产制品，且具有驱动生产设备的至少一个驱动部件、及监测生产的至少一个监测部件，驱动部件及监测部件具有可控制的至少一个特征量，并且所述显示系统包括控制部、显示部及存储部，控制部以下述方式构成：获取从驱动部件及监测部件的至少一个经时输出的特征量并存储于存储部，基于所获取的特征量，每隔规定的期间构建因果关系模型，因果关系模型表示从驱动部件及监测部件中选择至少一个且生产设备中可能产生的至少一个异常的原因要素、及原因要素的关系；以及将多个期间中构建的多个因果关系模型显示于显示部。
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公开(公告)号：CN112534368A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202080004417.9
申请日：2020-02-18
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明提供一种用于在进行了分割编程的情况下，将对应于各设备的设备变量在控制程序中的位置与各设备变量间的依存关系建立关联来掌握的技术。本发明的一实施例的图表显示装置生成第一有向图表及第二有向图表，并对应于用户的指示，将所生成的第一有向图表及第二有向图表在显示装置中切换来显示，所述第一有向图表包含分别表达各设备变量的多个第一节点、及表达具有依存关系的边，所述第二有向图表包含多个第一节点、边、及与各子程序分别对应的多个区域，各第一节点配置在多个区域之中，利用各第一节点所表达的设备变量的子程序的区域。
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