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公开(公告)号：CN104487806B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201380039276.4
申请日：2013-06-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01D5/12 , G01L9/00 , G01L19/12 , G01R19/165
CPC classification number: G01R19/16538 , G01L9/00 , G01L19/12 , G01L27/007 , G01R19/165 , G01R31/2829
Abstract: 在现有的传感器件中，存在当电源线、接地线断开时传感器件的输出电压不固定为电源电压或接地电位而固定在中间电位的问题。本发明的传感器件(1)包括：由电压(Vsen)根据检测物理量而变化的检测元件(8)、MOS开关(4～6、7、9、10、12～17)、电容器(2、11、18)、运算放大器成的输出电路；配置在输出电路的负反馈部的MOS开关(4)与电容器(2)的串联电路；和将MOS开关(4)的阱电极与电源端子(Vcc)连接的二极管(3)。(19)、基准电压源(20)和输出NMOS晶体管(21)构
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公开(公告)号：CN105393114A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201480034734.X
申请日：2014-02-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01N27/18 , F02D41/18 , F02D2200/0414 , F02D2200/0418 , F02M35/1038 , F02M35/10386 , G01D11/245 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/692 , G01K13/02 , G01K2013/024 , G01K2205/04 , G01M15/102 , G01N1/2252 , G01N9/36 , G01N27/12 , G01N27/121 , G01N27/407 , G01N27/4077 , G01N33/0016
Abstract: 本发明为了提供一种不会因气体中所含的颗粒或液滴等而堵塞气体导入口，从而可长期维持测量精度的气体传感器装置，在气体传感器装置(1)的壳体(3)内形成有膨胀室(6)和测量室(5)，膨胀室(6)经由吸气入口(8)与吸气通道(2)连通，测量室(5)经由连通部(7)与膨胀室(6)连通。由于具备气体导入口(8)和连通部(7)这双重的颈缩结构，并且在从气体导入口(8)到测量室(5)的路径上以两级方式设有容积扩大的区域，因此测量室(5)内的空气流动降低。因此，可增大气体导入口(8)的容积而制成不会因颗粒或液滴等而堵塞气体导入口的结构。
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公开(公告)号：CN103026181B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201180036158.9
申请日：2011-07-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/699
Abstract: 本发明的课题在于提供高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。本发明的传感器元件（1）具备：半导体基板（2）、形成于半导体基板（2）的空腔部（4）、在空腔部（4）上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器（5）、检测发热电阻器（5）的加热温度的加热温度传感器（7）、根据由加热温度传感器（7）检测的温度控制发热电阻器（5）的加热温度的驱动电路（22）。并且，加热温度传感器（7）是电阻值根据温度而变化的热敏电阻器，相对于发热电阻器（5）配置于被计测流体的流动的上游侧以及下游侧，且配置于被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧。
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公开(公告)号：CN104755885A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380056445.5
申请日：2013-10-09
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/696 , G01F1/698 , G01F25/0007 , G01R31/025
Abstract: 在从构成电桥电路的电阻的两端获取电压的2根配线间与上述电阻并联地连接有电路元件的结构中，难以检测上述2根配线的断线。在包括发热体(2)和由多个电阻(4～8)构成电桥电路且控制发热体(2)的温度的温度控制用电桥电路(3)的热式流量计中，包括：通过从构成温度控制用电桥电路(3)的至少一个电阻(7)的两端部引出的2根配线(L2、L3)与电阻(7)并联连接的电路元件(15)；检测在2根配线(L2、L3)之间产生的电压的大小是否比第一规定值小的电压检测电路(17)；和在由电压检测电路(17)检测出所述电压的大小比第一规定值小的情况下输出表示故障的信号的故障信号输出电路(20)。
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公开(公告)号：CN103649694A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201180072233.7
申请日：2011-07-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , H01L2224/48247
Abstract: 本发明提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。该流量计包括：具有形成有发热体的隔膜的硅基板；由形成在上述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜；层叠在上述硅基板上的有机保护膜；和覆盖上述硅基板的模压树脂，其中，上述隔膜具有从上述有机保护膜露出的露出部，上述硅基板层叠有与上述模压树脂密合性高的密合膜，在上述露出部与上述铝膜之间具有上述模压树脂与上述密合膜的接合面。
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公开(公告)号：CN103380353A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201180067266.2
申请日：2011-03-02
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: H01L29/66992 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F5/00
Abstract: 本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理，从而提高传感元件的灵敏度，并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计，具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，其中，在形成上述薄膜部后，进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。
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公开(公告)号：CN102620853A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210018140.2
申请日：2012-01-19
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01K13/02 , G01F1/00 , G01F1/68 , G01F1/6888 , G01F5/00 , G01F15/185 , G01K1/20 , G01K7/42 , G01K2013/024 , G01K2205/02
Abstract: 本发明提供一种能够以高精度高速地检测出吸气温度的吸气温度传感器及具有该吸气温度传感器的热敏式空气流量计。本发明涉及的吸气温度传感器包括：取入吸气流的副通路(7)；配置在副通路(7)的内部的流量检测元件(13)；设置在副通路的外部的吸气温度检测元件(4)；对吸气温度检测元件(4)的安装部的温度进行检测的温度传感器(9)；配置在框体内部的电路基板(11)；根据温度传感器(9)及流量检测元件(13)的输出信号对吸气温度检测元件(4)的输出进行补正处理的集成电路(10)。
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公开(公告)号：CN102169097A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201010623103.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01N25/18
Abstract: 本发明提供一种热式气体传感器，能够进行基于热传导率变化的气体分析，具有高响应性和高精度。该热式气体传感器具有：基板(2)，具有空洞部(5)；薄膜支撑体(6)，层叠于空洞部上，由多个绝缘层(8a、8b)构成；和第一发热体(3)及第二发热体(4)，夹持于薄膜支撑体的绝缘层中；其中，第二发热体配置在第一发热体的周边，第一发热体被控制为高于第二发热体的温度，基于对第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。
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公开(公告)号：CN101852630A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010117436.0
申请日：2010-02-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。热式流量计具备取入被测量流体的通路(21)和配置于通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件(1)，传感器元件具有半导体基板(2)、形成于半导体基板的空洞部(29)和隔着电绝缘膜(3a)形成于空洞部上的发热电阻体(5)，通过从发热电阻体向被测量流体散热而测量被测量流体的流量，在该热式流量计中，当将与被测量流体的流动方向(6)垂直的垂直方向上的发热电阻体的长度设为Lh，将从被测量流体的流动方向上的发热电阻体的上游侧端部至空洞部(29)的周缘(29a)(隔膜的外周缘(4a))的最接近距离设为Wd时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh。
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公开(公告)号：CN110678717B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201880020523.9
申请日：2018-03-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/00
Abstract: 本发明提供一种可以高速地跟随输入信号的脉动状态的变化的空气流量计。本发明的空气流量计(1)具备：空气流量检测元件(3)，其生成与作为测定对象的空气流量相关的输入信号(Qsen)；以及运算部(2)，其根据输入信号(Qsen)来进行用于生成与空气流量相应的输出信号(Qout)的运算。运算部(2)具有：输出信号运算部(7)，其对输出信号(Qout)进行包括比1大的乘方运算在内的运算；输入信号运算部(4)，其对输入信号(Qsen)进行运算；减法部(5)，其求出输出信号运算部(7)的运算结果与输入信号运算部(4)的运算结果的差分；以及积分器(6)，其对减法部(5)求出的差分进行积分，输出信号(Qout)根据来自积分器(6)的输出而生成。
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