公开(公告)号：CN213401116U

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN202022803169.4

申请日：2020-11-28

Applicant: 扬州思普尔科技有限公司 ,  扬州大学

Inventor： 孙进 ,  梁立 ,  刘芳军 ,  杨志勇 ,  张道周 ,  张洋

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 一种可调节喷头位置晶圆清洗装置，包括喷头、毛刷、排水器、支架板、吸盘、喷头位置转移机构、毛刷位移机构；所述吸盘位于所述排水器中心位置，所述排水器安装于所述支架板，所述喷头通过所述喷头位置转移机构安装于所述排水器上方，所述毛刷安装于毛刷位移机构，由毛刷位移机构控制毛刷处于工作位置与否。本实用新型解决了现有晶圆片清洗程中喷头不能移动、喷头喷射的水流只能按照一个方向喷射、清洗不干净等问题。

公开(公告)号：CN217124028U

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202220651960.4

申请日：2022-03-24

Applicant: 扬州大学

Inventor： 孙进 ,  周威 ,  谢文涛 ,  马昊天 ,  梁立 ,  雷震霆

IPC: B29C65/78

Abstract: 本实用新型公开了燕尾榫卯自锁的中空塑料箱体靠模尺寸快速变换装置，包括靠模装置、工作台和转轴机构；靠模装置与转轴机构固连在一起构成可调节替换整体机构，靠模装置与工作台通过燕尾榫卯连接，并通过自锁机构进行锁定；工作台安装固定在流水线上。本实用新型通过燕尾榫卯结构以及自锁机构代替螺钉固定，能够实现同规格的靠模尺寸快速变换，加快了更换靠模的速度，提高了生产线的工作效率。

公开(公告)号：CN216988926U

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202220434456.9

申请日：2022-03-02

Applicant: 扬州大学

Inventor： 孙进 ,  谢文涛 ,  周威 ,  梁立

IPC: B08B3/12 ,  F26B21/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了基于波动摇摆的晶圆清洗干燥节约型装置，包括机身、晶舟、承载及摇摆机构、升降机构和承载盒；升降机构居中竖直安装在机身内部后壁，承载及摇摆机构安装于升降机构前部的抬升板上，承载盒放置在承载及摇摆机构之上，晶舟放置在承载盒之中，承载盒通过摇摆机构实现左右轻微摆动，从而使晶舟中的晶圆片充分干燥。本实用新型可实现清洗、干燥一体化，使晶圆干燥充分，并且装置足够轻量化、小型化的优点，提高了晶圆干燥的质量，提升晶圆生产效率，降低了晶圆损伤率，节约了空间。

公开(公告)号：CN216853286U

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202220434789.1

申请日：2022-03-02

Applicant: 扬州大学

Inventor： 孙进 ,  周威 ,  谢文涛 ,  梁立 ,  马昊天 ,  雷震霆

IPC: A01G18/70

Abstract: 本实用新型公开了基于球齿轮的菌菇采摘防撞针状机械手装置，包括固定板、两个方向上的主动球齿轮、从动球齿轮、控制电机、防撞针机构和针状末端；固定板上设置有控制电机固定端和主动球齿轮固定安装端，主动球齿轮安装在固定安装端，控制电机固接在固定端；控制电机与主动球齿轮通过联轴器连接，两个方向上的主动球齿轮与从动球齿轮啮合；防撞针装置与从动球齿轮相连接，与从动球齿轮同向转动；针状末端嵌套在防撞针装置中。本实用新型采用球齿轮传动、防撞针及防脱落针状机械手装置，代替了现有生产线上的抓取类机械手或者人工筛选摘取菌菇，能够很大程度上减少菌菇损伤，提高了工作效率，提高了生产线的工作效率。

公开(公告)号：CN217387111U

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202220651568.X

申请日：2022-03-24

Applicant: 扬州大学

Inventor： 孙进 ,  梁立 ,  雷震霆 ,  马昊天 ,  刘芳军 ,  杨志勇

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本实用新型公开了一种用于短距离传输晶圆表面检测的装置，包括底板、晶圆托出机构、晶圆回顶机构、CCD工业相机机构、晶舟、晶舟抬升机构和晶圆顶出机构；晶圆托出机构、CCD工业相机机构、晶舟抬升机构和晶圆顶出机均安装在底板上，晶圆回顶机构安装在晶圆托出机构上构成晶圆托出回顶组合机构，通过晶圆托出回顶组合机构将晶圆从晶舟内托出或将晶圆回顶至晶舟内。本实用新型避免了晶圆磨损、不需要远距离传输、缩小检测平台体积的优点，提高了晶圆检测的工作效率和成品率。