-
公开(公告)号：CN112880307B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202110033300.X
申请日：2021-01-12
Applicant: 扬州大学 , 扬州思普尔科技有限公司
Abstract: 多片晶圆干燥用的多孔介质型稳定可调节气悬浮流场的装置及实现方法，该装置可以解决现有晶圆片在干燥时采用夹持的方式，容易造成晶圆片的破损，其次被夹持的部位不能得到充分的干燥。不采用传统的机械手夹持，采用气悬浮的方式，可以减少晶圆片在夹持过程中因受力不均匀而导致晶圆片损坏。本发明与现有技术相比较体现了其可对多片晶圆片进行悬浮干燥，提高了工作效率。为了实现可调节气流稳定，遮板设计有通孔和栅格孔，当通孔和悬浮台的出气孔同心时，气流速度和对晶圆片的压力不受影响，当遮板转过15°时，此时栅格孔正好与悬浮台出气孔同心，此时气流会变缓，对晶圆片表面的压力会减小。所以可以实现不同厚薄的晶圆片干燥。
-
公开(公告)号：CN112490175B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202011365265.3
申请日：2020-11-28
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司 , 扬州大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 面向晶圆显微检测的分级变吸力伯努利吸盘装置及其应用方法，属于图像识别和晶圆检测技术领域。本发明首先使用工业相机采集晶圆图像然后把晶圆图像二值化，接着用相邻阻断法加上八邻域边界跟踪对晶圆进行边界跟踪，其次得到晶圆边界坐标。最后通过格林公式和欧式距离公式计算目标区域晶圆周长与面积，进行比值得到半径R。从工业相机中获得晶圆的半径，用装置改变分级吸盘的大小，改变吸力调节器的位置，从而改变气体的流量大小，进而改变吸盘的吸力大小；改变吸盘的方向，使工业相机可以对准晶圆的平缺口；最后手持吸盘吸取晶圆。
-
公开(公告)号：CN114820580A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210588526.0
申请日：2022-05-26
Applicant: 扬州大学
IPC: G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/80 , G06V10/82 , G06V10/25 , G06V10/40 , G06V10/762 , G06K9/62 , G06N3/04
Abstract: 本发明公开了基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法，包括：1）基于ResNet网络进行晶圆特征提取；2）融合注意力的特征图金字塔网络A‑FPN对特征图进行细分化；3）基于K‑means聚类改进锚框的大小生成；4）得到候选区域进行分类及回归。本发明融合注意力的改进的FPN来抑制复杂的电路图案背景，避免了微小缺陷的误检和漏检；对于高层特征通道融合空间注意力机制，对存在明显的缺陷区域赋予更大权重；对于底层通道融合通道注意力机制，对位置以及轮廓信息之外的通道减小其权重，实现并行融入FPN结构；采用K‑means聚类方法，重新生成锚框，针对晶圆缺陷据集，找到合适的宽高比的锚框。对具有复杂背景的晶圆，进行缺陷检测，避免了微小缺陷的误检和漏检。
-
公开(公告)号：CN112490175A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011365265.3
申请日：2020-11-28
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司 , 扬州大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 面向晶圆显微检测的分级变吸力伯努利吸盘装置及其应用方法，属于图像识别和晶圆检测技术领域。本发明首先使用工业相机采集晶圆图像然后把晶圆图像二值化，接着用相邻阻断法加上八邻域边界跟踪对晶圆进行边界跟踪，其次得到晶圆边界坐标。最后通过格林公式和欧式距离公式计算目标区域晶圆周长与面积，进行比值得到半径R。从工业相机中获得晶圆的半径，用装置改变分级吸盘的大小，改变吸力调节器的位置，从而改变气体的流量大小，进而改变吸盘的吸力大小；改变吸盘的方向，使工业相机可以对准晶圆的平缺口；最后手持吸盘吸取晶圆。
-
公开(公告)号：CN116503337A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310379839.X
申请日：2023-04-11
Applicant: 扬州大学 , 扬州思普尔科技有限公司
IPC: G06T7/00 , G06V10/82 , G06V10/774 , G06V10/776 , G06V10/24 , G06N3/0464 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了基于双注意力机制的U‑Net的晶圆表面缺陷检测方法，包括：1)建立并处理晶圆表面缺陷样本集；2)搭建基于双注意力机制的U‑Net网络并训练；3)使用测试集对最终的网络进行分析测试。本发明通过在U‑Net网络中收缩路径与扩展路径的跳跃连接部分嵌入两种不同的注意力模块，在低层特征阶段采用通道注意力机制，增大位置及轮廓信息的权重，在高层特征阶段采用空间注意力机制，重点关注输入数据集中的缺陷部分，进一步增强了对目标的关注度；同时为了配合注意力机制，通过对输入的特征图使用膨胀卷积，增大感受野，解决了最大池化后一些细节的丢失问题，进一步提高了对晶圆表面缺陷检测准确率，从而在多种缺陷出现的情况下检测晶圆表面缺陷类型。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114820580B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202210588526.0
申请日：2022-05-26
Applicant: 扬州大学
IPC: G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/80 , G06V10/82 , G06V10/25 , G06V10/40 , G06V10/762 , G06N3/0464 , G06N3/048
Abstract: 本发明公开了基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法，包括：1）基于ResNet网络进行晶圆特征提取；2）融合注意力的特征图金字塔网络A‑FPN对特征图进行细分化；3）基于K‑means聚类改进锚框的大小生成；4）得到候选区域进行分类及回归。本发明融合注意力的改进的FPN来抑制复杂的电路图案背景，避免了微小缺陷的误检和漏检；对于高层特征通道融合空间注意力机制，对存在明显的缺陷区域赋予更大权重；对于底层通道融合通道注意力机制，对位置以及轮廓信息之外的通道减小其权重，实现并行融入FPN结构；采用K‑means聚类方法，重新生成锚框，针对晶圆缺陷据集，找到合适的宽高比的锚框。对具有复杂背景的晶圆，进行缺陷检测，避免了微小缺陷的误检和漏检。
-
公开(公告)号：CN116721053A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310435047.X
申请日：2023-04-21
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司 , 扬州大学
IPC: G06T7/00 , G06V10/762 , G06V10/764 , G06V10/40 , G06V10/22 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/048 , G06N3/047 , G06N3/045 , G06N3/08
Abstract: 本发明提供的一种基于多通道融合双模块YOLOV7网络的晶圆表面宏观缺陷检测方法，采用K‑means++聚类绝缘子数据集目标框生成锚框，并在原骨干网络中集成AarTern与HboSou双模块，从而提高特征图的表达能力，优化晶圆缺陷目标的特征表示，提高晶圆缺陷目标的检测效果。进一步实现了避免识别晶圆缺陷时复杂背景图像的干扰，提高晶圆缺陷检测的准确性。
-
公开(公告)号：CN112880307A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110033300.X
申请日：2021-01-12
Applicant: 扬州大学 , 扬州思普尔科技有限公司
Abstract: 多片晶圆干燥用的多孔介质型稳定可调节气悬浮流场的装置及实现方法，该装置可以解决现有晶圆片在干燥时采用夹持的方式，容易造成晶圆片的破损，其次被夹持的部位不能得到充分的干燥。不采用传统的机械手夹持，采用气悬浮的方式，可以减少晶圆片在夹持过程中因受力不均匀而导致晶圆片损坏。本发明与现有技术相比较体现了其可对多片晶圆片进行悬浮干燥，提高了工作效率。为了实现可调节气流稳定，遮板设计有通孔和栅格孔，当通孔和悬浮台的出气孔同心时，气流速度和对晶圆片的压力不受影响，当遮板转过15°时，此时栅格孔正好与悬浮台出气孔同心，此时气流会变缓，对晶圆片表面的压力会减小。所以可以实现不同厚薄的晶圆片干燥。
-
公开(公告)号：CN220553412U
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202320929936.7
申请日：2023-04-23
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司 , 扬州大学
IPC: H01L21/673
Abstract: 本实用新型设计了一种用于晶圆干燥的多连杆滑块开合式晶舟承载装置，其特征包括：驱动机构、传动机构、摆动机构、支撑柱、承载平台以及晶舟。晶圆片放置于晶舟中，晶舟放置在承载平台上，通过利用摆动机构使承载平台达到开合的运动效果，进而使晶舟产生微幅摆动，令晶舟内的晶圆片不断地随晶舟发生向左、向右倾斜。本实用新型很好的解决了晶圆片与晶舟之间相接触部分水分不易干燥的问题，提高了干燥效率与干燥效果。
-
公开(公告)号：CN217387111U
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202220651568.X
申请日：2022-03-24
Applicant: 扬州大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本实用新型公开了一种用于短距离传输晶圆表面检测的装置，包括底板、晶圆托出机构、晶圆回顶机构、CCD工业相机机构、晶舟、晶舟抬升机构和晶圆顶出机构；晶圆托出机构、CCD工业相机机构、晶舟抬升机构和晶圆顶出机均安装在底板上，晶圆回顶机构安装在晶圆托出机构上构成晶圆托出回顶组合机构，通过晶圆托出回顶组合机构将晶圆从晶舟内托出或将晶圆回顶至晶舟内。本实用新型避免了晶圆磨损、不需要远距离传输、缩小检测平台体积的优点，提高了晶圆检测的工作效率和成品率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.044 seconds)
