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公开(公告)号：CN102314102B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201110255499.7
申请日：2011-06-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/168 , B32B38/10 , G03F1/14 , G03F1/60 , G03F7/422 , H01L21/00 , Y10T156/1116
Abstract: 通过以下方法处理一种具有抗蚀剂膜涂覆于其上的合成石英玻璃基板：将该基板浸入含萜烯的溶剂中直到抗蚀剂膜剥离，并用水冲洗该基板。
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公开(公告)号：CN104786135A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510026173.5
申请日：2015-01-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种制备合成石英玻璃基材的方法。具体地，通过将起始基材浸渍在非离子型表面活性剂的水溶液中并且采用胶体二氧化硅水分散体精密抛光该基材制备了合成石英玻璃基材。获得了具有极少缺陷和低表面粗糙度的合成石英玻璃基材，同时改进了抛光速率和减少了抛光时间。
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公开(公告)号：CN103240665A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310088370.0
申请日：2013-02-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B1/00 , B24B37/044 , C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底的制造方法。使用含有四方或立方氧化锆的抛光浆料将起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面抛光至镜面光洁度。
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公开(公告)号：CN102636953A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210088083.5
申请日：2012-02-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/60
Abstract: 本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125-300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。
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公开(公告)号：CN102436136A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110218545.6
申请日：2011-05-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03C19/00 , C03C2201/42 , C03C2204/08 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/0002 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底及其制备方法。该衬底具有包括132mm2中央表面区域的6平方英寸的表面。132mm2的中央表面区域具有最多50nm的平整度。通过从148mm2中央表面区域减去132mm2中央表面区域得到的框架区域具有最多150nm的平整度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101863624A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010209818.6
申请日：2010-04-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C15/00 , C03C2218/355 , G03F7/0751 , G03F7/0752 , G03F7/0757
Abstract: 在通过湿法刻蚀微处理合成石英玻璃衬底的方法中，在衬底上形成硅烷或硅氮烷的有机涂层，以及在湿法刻蚀前，在有机涂层上形成光致抗蚀剂膜。
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公开(公告)号：CN110561277B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201910483955.X
申请日：2019-06-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24C1/04
Abstract: 本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法，该方法包括将间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，在板材从基板表面凸出的状态下，将所述板材配置成与所述间隔件的外周侧面接触，并且对所述基板表面进行喷砂。
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公开(公告)号：CN115729032A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202210790668.5
申请日：2022-07-05
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种压印模具、制造压印模具的方法和制造再生的压印模具的方法。特别涉及这样一种压印模具，其具有合成石英玻璃衬底，所述合成石英玻璃衬底具有在它的表面上形成的转印精细图案；和在至少一部分精细图案上由至少一种不同于衬底的材料形成的涂层。
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公开(公告)号：CN107689411B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201710653709.5
申请日：2017-08-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C27/00 , C03C27/08 , C22C45/003 , H01L33/56 , C09D1/00
Abstract: 本发明为合成石英玻璃盖和光学器件封装体。提供合成石英玻璃盖，其包括合成石英玻璃与在窗构件的主表面的周围形成的粘结剂。此外，提供光学器件封装体，其包括具有开放上端的盒状容纳座，容纳在容纳座中的光学器件，用粘结剂结合至该容纳座上端的合成石英玻璃的窗构件。该粘结剂为由Te、Ag和选自由W、V、P、Ba和Zr中的至少一种元素组成的低熔点金属玻璃。
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公开(公告)号：CN114497329A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111330120.4
申请日：2021-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及接合和密封材料和用于光学元件封装的盖。接合和密封材料，其包括焊料粉末、涂覆有涂层材料的银纳米颗粒和溶剂作为必要成分，并且额外包括选自以下的至少一种成分：硒金属、氧化物膜抑制剂和氧化物膜去除剂。这种接合和密封材料可在温和的条件下容易形成当密封短波长光发射元件例如UV‑LED时所需类别的具有良好的气密密封性和耐UV性的金属性粘合层，并且可长时间稳定地使用。
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