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公开(公告)号：CN105738372A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610121294.2
申请日：2016-03-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/8806
Abstract: 本发明提供了一种光热弱吸收测试系统及方法，应用于光学元件的吸收缺陷测试领域，所述光热弱吸收测试系统包括离轴抛物镜、样品台、探测器、探测光源以及多个泵浦光源，所述多个泵浦光源发出的泵浦光的波长不尽相同；所述多个泵浦光源分别发出的泵浦光经所述离轴抛物镜反射后均聚焦到安装在样品台上的待测样品的预设待测点处，所述探测光源发出的探测光也聚焦到所述待测样品的预设待测点处，透过所述待测样品的探测光进入所述探测器，从而得到所述待测样品对所述多个泵浦光源分别发出的泵浦光的吸收。本发明实施例提供的光热弱吸收测试系统及方法有效地实现了多个波长的泵浦激光共同作用时光学材料表面、亚表面及光学膜层的微弱吸收测试。
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公开(公告)号：CN105481259A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510892890.6
申请日：2015-12-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种提升熔石英光学元件损伤阈值的后处理方法，该方法首先利用荧光共焦显微技术检测熔石英光学元件亚表面缺陷分布的范围与尺度，然后通过KHz和MHz频率的多频超声波交替复用辅助化学腐蚀技术，针对不同深度分布的亚表面缺陷刻蚀不同的深度，针对不同尺度的亚表面缺陷采用不同的频率，逐层次的剥离亚表面缺陷层，以达到提升损伤阈值的目的。本发明对于光学元件具有全局处理能力，经过氢氟酸腐蚀处理以后抛光沉积层全部去除，暴露了亚表面损伤层中的划痕，且划痕尖锐的新貌得以很好的钝化，引入多频超声波/兆声波辅助可以作用不同尺度的划痕钝化，防止刻蚀反应副产物再沉积，提高工艺稳定性，可以极大的稳定的提升熔石英光学元件的损伤阈值。
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公开(公告)号：CN113447123B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202010222056.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，涉及光谱测量领域，主要技术问题是解决当前光谱仪尺寸大、重量重、不易于集成的问题。该系统包括超表面分光子系统、消色差成像子系统和面阵探测器；面阵探测器上设置有消色差成像子系统，消色差成像子系统上设置有超表面分光子系统；超表面分光子系统包括基底和设置于基底上且连续排列的超原子；超表面分光子系统分为N×M个区域，每个区域包含多个且相同的超原子；每一个区域对应一个谐波波长。本发明具有高集成化、高可靠性、与半导体工艺兼容等优点。
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公开(公告)号：CN114112041B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202111406725.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳滤光片阵列的光谱成像系统及其扫描方法，涉及光谱成像技术领域，该系统主要包括：成像镜头、微纳滤光片阵列、二维平移台、面阵探测器和计算机；工作时，通过所述计算机控制所述二维平移台按照设定步长进行横向移动和纵向移动，从而使得目标上的每一个空间像点依次被所述微纳滤光片阵列上不同的滤光片进行光谱调制；经过光谱调制后的空间像点通过所述面阵探测器后形成光电信号；所述光电信号通过所述电连接传输至所述计算机，并经过所述计算机处理后形成所述目标的光谱图像；所述设定步长为所述微纳滤光片阵列中滤光片排列的周期。本发明能够实现高空间分辨率、高光谱精度、低成本的光谱成像。
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公开(公告)号：CN113758565B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202010493231.6
申请日：2020-06-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪。所述连接部件包括：阵列式布设在基底的上表面的多个纳米结构单元；每个纳米结构单元对应一个设定谐振波长值；每个纳米结构单元均由多个圆形环组成；多个圆形环为同心圆环；每个圆形环由多个相同纳米结构按圆周方向均匀排布而成，所有纳米结构单元的焦距均相等。本发明设置了多个纳米结构，通过根据不同波长的光设置每个纳米结构的相位，使每个纳米结构单元的焦距相等以实现不同波长的光聚焦在一个平面上，使面阵探测器能够准确的测量光强分布，以解决分光光学系统所产生的衍射串扰问题，实现光谱传感系统及光谱仪的高效集成化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106770128B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201710017461.3
申请日：2017-01-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法，装置包括水平的样品台和计算机，所述样品台连接高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台，并能分别由二者驱动其运动，所述样品台内设有光学元件的样品；样品台下方设有激光器、图像采集单元，上方设有一共聚焦成像系统。本发明利用一束连续强激光辐照光学元件，元件亚表面缺陷容易受激光激发产生荧光，用高倍率荧光显微成像系统可实现荧光缺陷的二维扫描，获得元件亚表面缺陷的二维分布情况；定位荧光缺陷的位置，利用荧光共聚焦成像系统进行深度扫描，获得光学元件亚表面缺陷的深度分布情况，从而可以实现熔石英元件亚表面缺陷的快速三维测试。
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公开(公告)号：CN114152339B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202111396191.4
申请日：2021-11-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于几何相位超表面结构的光谱传感器及光谱重建方法，包括：对入射光进行起偏处理的起偏器；对起偏器出来的光进行二次处理的消色差1/4波片；用于光谱编码的几何相位超表面器件；与几何相位超表面器件相配合的检偏器；与检偏器相配合的面阵探测器。本发明提出了一种基于几何相位超表面结构的光谱传感器及光谱重建方法，可以将光谱编码结构压缩为数个平面光学元件的组合，极大简化了光学系统的结构。
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公开(公告)号：CN111830009B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202010729989.5
申请日：2020-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明涉及一种全介质超表面集成化拉曼光谱探测系统。该系统包括激光器、光纤、波导、纳米结构阵列、滤波片和超表面光谱仪，波导激发传输拉曼信号，纳米结构阵列设置在波导的上表面，纳米结构阵列提供强电磁场，将探测物分子悬浮设置在纳米结构阵列周围，探测物分子在强电磁场作用下发出拉曼信号，滤波片镀在波导输出端，滤波片将波导输出的泵浦光滤掉，超表面芯片光谱仪设置在滤波片的表面，超表面芯片光谱仪将滤波片滤掉入射光波段后的拉曼信号进行解析，得到探测物分子的各种光谱信息。本发明能够实现拉曼信号的激发、增强、采集在同一结构上同步进行，完成高度集成芯片化拉曼传感系统的目标。
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公开(公告)号：CN113447123A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202010222056.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，涉及光谱测量领域，主要技术问题是解决当前光谱仪尺寸大、重量重、不易于集成的问题。该系统包括超表面分光子系统、消色差成像子系统和面阵探测器；面阵探测器上设置有消色差成像子系统，消色差成像子系统上设置有超表面分光子系统；超表面分光子系统包括基底和设置于基底上且连续排列的超原子；超表面分光子系统分为N×M个区域，每个区域包含多个且相同的超原子；每一个区域对应一个谐波波长。本发明具有高集成化、高可靠性、与半导体工艺兼容等优点。
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公开(公告)号：CN108445615A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810272728.8
申请日：2018-03-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供一种光学元件面散射缺陷探测装置，包括载物台、照明系统及成像系统，其中，载物台用于承载和移动待测光学元件，以使待测光学元件的被测位置位于成像系统的视场中心，照明系统包括固定架和多个发光单元，固定架在载物台所在平面的投影的中心落在载物台，多个发光单元固定于固定架，以使多个发光单元发出的光会聚于被测位置，成像系统用于拍摄被测位置。本申请提供的光学材料面散射缺陷探测装置可实现对光学元件表面散射缺陷进行多角度照明，可在提高表面散射缺陷成像质量的同时大大降低缺陷的漏检概率。
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