公开(公告)号：CN106591953A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201510661933.X

申请日：2015-10-14

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 张汝京 ,  林志鑫 ,  肖德元

IPC: C30B33/02 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B33/02 ,  C30B29/06

Abstract: 本发明提供了一种硅单晶棒回收装置及方法、液氮供应装置，其中，所述硅单晶棒回收装置包括：用于盛装待回收的硅单晶棒的硅单晶棒容器；用于盖住并密封所述硅单晶棒容器的盖体；穿过所述盖体与所述硅单晶棒容器连通的第一管路；一端与所述硅单晶棒容器的侧壁连通的第二管路；一端与所述硅单晶棒容器的侧壁连通的第三管路；与所述硅单晶棒容器的侧壁连通的第四管路。液氮从第二管路流入硅单晶棒容器后，热去离子水通过第一管路流入硅单晶棒容器对其中的硅单晶棒淬火，淬火完成后的水通过第四管路排出，即可收集无污染的硅单晶碎块。在整个过程中，不会引入其他杂质，实现了无污染且快速的回收硅单晶棒，方便后续使用，降低了成本，提高了效益。

公开(公告)号：CN205657050U

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201620490839.2

申请日：2016-05-25

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 林志鑫 ,  季文明

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型提供了一种石英腔体的固定治具及清洗装置，所述固定治具用于在对石英腔体进行清洗时固定所述石英腔体，所述固定治具包括基座，于所述基座上具有多个用于固定所述石英腔体的固定导槽，所述固定导槽为与所述石英腔体的开口相互卡合的凹槽结构。本实用新型中，使用一个固定治具实现对多种形状的石英腔体进行固定，可减小资源的浪费。同时，当采用具有本实用新型提供的固定治具的清洗装置对不同形状的石英腔体进行清洗时，可不必繁复的更换固定治具，从而可减小在更换固定治具时对清洗座的损伤，并且可避免固定治具于清洗座上固定不佳的问题。

公开(公告)号：CN215920026U

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202122544693.9

申请日：2021-10-21

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 严颖杰 ,  权爱春 ,  周晓磊 ,  林志鑫

IPC: B24B19/16 ,  B24B41/02 ,  B24B41/06

Abstract: 本申请提供了一种探针的磨针装置，属于剖面电阻量测探针的磨针技术领域，具体包括底座和探针安装组件，所述底座上设有外露的研磨台，所述探针安装组件位于所述研磨台上方，所述探针安装组件包括移动组件、探针固定部和探针，所述探针安装于所述探针固定部上，所述移动组件驱动探针固定部靠近和远离所述研磨台。通过本申请的处理方案，在打磨过程中更加方便的观测到磨针时针头的状态和锋利度。