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公开(公告)号：CN101934861A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010289254.1
申请日：2010-09-22
Applicant: 上海交通大学 , 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: B64C33/00
Abstract: 一种压电仿昆虫微扑翼飞行器，包括：压电翅膀、机身、电源、升压电路、控制电路及信号接收发射器，压电翅膀固定于机身上表面的中部，电源、升压电路、控制电路及信号接收发射器依次串联并分别安装于机身上，所述压电仿昆虫微扑翼飞行器的整体质量重心位于翅膀的中垂面上。本发明具有轻质、能耗低、机构简单、转化效率高、操作性强的突出优点。
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公开(公告)号：CN101818118A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010148871.X
申请日：2010-04-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: C12M1/42
Abstract: 一种生命科学技术领域的基于永磁体的生物粒子三维操纵装置，包括：底座、主轴、移动平台、夹持器、腔室、顺磁性溶液和磁源，底座上固定设有主轴，主轴上活动设有移动平台，夹持器套接于主轴上，夹持器夹持腔室，磁源设于移动台上，腔室内设有顺磁性溶液，夹持器位于移动平台之上。本发明结构简单，在常温非超导强磁环境下便可实现生物活性粒子的非接触、无损伤的空间捕获、定位、移动等多种形式的空间生物粒子微操纵。
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公开(公告)号：CN101216500B
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200810032477.2
申请日：2008-01-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁反磁敏感质量微加速度计，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向及径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微加速度计的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101216312A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032476.8
申请日：2008-01-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向径向充磁永磁反磁转子静电旋转微陀螺，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，利用上下定子的旋转电极与转子形成变电容电机，拉动转子高速旋转，同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微陀螺的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101216307A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032471.5
申请日：2008-01-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向充磁永磁反磁转子电荷驰豫旋转微陀螺，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，利用电荷驰豫，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动。同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微陀螺的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101021545A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710038293.2
申请日：2007-03-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 一种微机电技术领域悬浮式反磁敏感质量微型加速度计。本发明由上定子，转子和下定子构成，通过对永磁材料制备的上、下定子公共电容极板结构的四个扇形区以及上、下定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板充磁，同时采用反磁材料制作转子基片，提供了一种相比传统静电悬浮省去了提供悬浮静电电极、线圈或电容极板等静电悬浮控制单元，且改为采用永磁材料和反磁材料相结合实现自稳悬浮的新型悬浮式反磁敏感质量微型加速度计。它可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度等多个自由度的加速度，进而可以用来对物体进行精确定位，用于检测加速度信号或导航。
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公开(公告)号：CN115166289B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202210786283.1
申请日：2022-07-04
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P5/08 , G01P15/125
Abstract: 一种二维矢量7字形连接梁多用途传感器及其制备方法，包括：基底、通过若干连接梁悬空设置于基底中心的质量块、分别位于质量块四周公共端的作为检测部分的梳齿电容、设置于质量块上的纤毛以及位于梳齿电容和基底四个角落上方的电极层，其中：四组梳齿电容与质量块构成板间差分电容，平行于X轴方向的梳齿电容对用于检测X轴方向的流场流速或加速度的大小和方向，平行于Y轴方向的梳齿电容对用于检测Y轴方向的流场流速或加速度的大小和方向。本发明通过传感器上的纤毛捕捉空气流场变化，传感器的质量块感知加速度变化。
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公开(公告)号：CN119689019A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411879778.4
申请日：2024-12-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本申请提供一种具有惯性力补偿结构的谐振型流场传感器，包括：基底；双端固定音叉，固定在基底的中部；纤毛支撑结构，悬空设置在基底上，位于双端固定音叉的一端；梳齿电容，设置在基底上，位于双端固定音叉的两侧；纤毛，设置在纤毛支撑结构上；微杠杆，一端与纤毛支撑结构连接，另一端与双端固定音叉的一端连接；惯性力补偿结构，悬空设置在基底上，相对于双端固定音叉对称设置，惯性力补偿结构与双端固定音叉的一端连接，位于微杠杆与双端固定音叉之间。本申请通过传感器上的纤毛捕捉空气流场变化，通过电容检测谐振频率，可获得流场流速，惯性力补偿结构可以补偿惯性力对输出结果的干扰，使传感器在受惯性力干扰时仍可输出稳定的流场流速。
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公开(公告)号：CN112978670B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202110189293.2
申请日：2021-02-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种扭转式仿生纤毛流速传感器装置，包括：纤毛、硅结构层、金属电极与引线引脚层以及Pyrex玻璃层；自上而下依次设置纤毛、硅结构层、金属电极与引线引脚层以及Pyrex玻璃层；所述硅结构层包括：电容上极板；所述纤毛紧固连接于电容上极板上；所述金属电极与引线引脚层包括：电容上极板电极引线引脚、电容下极板与其电极引线引脚；所述电容上极板电极引线引脚和电容下极板电极引线引脚设置于金属引脚层的上部；所述电容下极板设置于金属引脚层的下部；所述Pyrex玻璃层设置于扭转式仿生纤毛流速传感器装置的底部。
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公开(公告)号：CN115463803B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202111532888.X
申请日：2021-12-15
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene‑N膜的制备方法，该装置包括通过管道依次相连的蒸发室、裂解炉、沉积室和冷阱；所述冷阱通过真空泵与所述沉积室连通；所述沉积室的底部设有用于与所述冷阱连通的连通口，所述连通口处设有节流片，所述节流片用于调节所述连通口的大小；所述沉积室内还设有降温平台，所述降温平台位于所述沉积室的腔室底部，所述降温平台用于降低衬底的温度。本发明的高厚度Parylene‑N膜的制备方法，使用该装置，并通过控制裂解温度和沉积压力等参数，可以实现微米级别的Parylene‑N膜的快速沉积，且只需要在常见的Parylene沉积设备上进行改进和调节参数即可实现，有利于减少制造成本。
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