大型X射线探测器
    41.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102655159A

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201210046691.X

    申请日:2012-02-27

    Abstract: 本发明提供一种大型X射线探测器,该X射线探测器包括:在印刷电路板上的多个芯片,所述多个芯片中的每个芯片包括在所述印刷电路板的中央部分上的多个像素焊盘和围绕所述多个像素焊盘的多个引脚焊盘;布置在所述多个芯片上且与所述多个芯片相应的多个像素电极;电连接所述多个像素电极和所述多个像素焊盘的再分配层;在一表面上的多个第一电极焊盘,所述表面与所述多个芯片的包括所述多个引脚焊盘的表面相反;电连接所述多个第一电极焊盘和所述多个引脚焊盘的布线;形成在所述多个像素电极上的光电导体;以及形成在所述光电导体上的公共电极。

    氧化物半导体靶、其形成方法及使用其形成氧化物半导体层的方法

    公开(公告)号:CN101657885B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200880011578.X

    申请日:2008-02-11

    Inventor: 金昌桢 李制勋

    Abstract: 提供形成氧化物半导体层的方法和使用该形成氧化物半导体层的方法制造半导体器件的方法。该方法包括:将氧化物半导体靶安装在腔室中;将基底装到该腔室中;将该腔室抽真空;在将氧气和溅射气体注入到该腔室中的同时将直流功率施加到该氧化物半导体靶上;和通过将该溅射气体的等离子体施加到该氧化物半导体靶上而在该基底表面上形成氧化物半导体层。在此,该氧化物半导体靶可具有1kΩ或更小的电阻。该氧化物半导体靶可具有x(第一氧化物)·y(第二氧化物)·z(第三氧化物)的组成,其中x、y和z为摩尔比。所述第一至第三氧化物各自可为Ga2O3、HfO2、In2O3和ZnO之一但彼此不同。该氧化物半导体靶可为Ga2O3、HfO2、In2O3和ZnO之一。

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