公开(公告)号：CN113916266A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202110766043.0

申请日：2021-07-07

Applicant: OHT株式会社 ,  国立大学法人东北大学

Inventor： 安田俊朗 ,  上林和利 ,  须川成利 ,  黑田理人 ,  后藤哲也

IPC: G01D5/24 ,  G01R27/26

Abstract: 容量传感器具有传感器电极、第一电极极板、基板、第二电极极板。传感器电极输出与检测对象物之间的静电容量对应的信号。第一电极极板与传感器电极连接。基板具有基板表面部和阶部。在基板表面部安装有传感器电极和第一电极极板。阶部在相对于基板的基板表面部低的位置形成。第二电极极板安装于阶部，与外部配线连接。

公开(公告)号：CN107567199B

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201710521158.7

申请日：2017-06-30

Applicant: OHT株式会社 ,  株式会社V技术

Inventor： 羽森宽 ,  上田淳

IPC: H05K3/22 ,  H05K3/00 ,  G01N21/956 ,  G01R31/28

Abstract: 本发明提供非接触型电路图案检查修复装置，向形成于检查对象的基板上的导电体图案以非接触方式通过电容耦合供给交流的检查信号，将通过的检查信号作为检测信号接收，进行缺陷判定，将缺陷部位的信息和基板上的位置信息进行关联并作为坐标信息存储于存储器部，在修复缺陷部位时，维持将基板固定于检查位置的状态，读出坐标信息，确定基板上的缺陷部位的位置，通过切除修复部或沉积修复部进行修复。

公开(公告)号：CN107064706B

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201611060604.0

申请日：2016-11-25

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 安田俊朗 ,  村上真一

IPC: G01R31/02

Abstract: 导电体图案检查装置中，第一传感器电极与供电了检查信号的第一导电体图案电容耦合而检测第一检测信号，第二传感器电极与没有供电检查信号的第二导电体图案电容耦合而在第二导电体图案中流过了检查信号时检测其作为第二检测信号，检测信号处理部算出将第一检测信号和第二检测信号相加后的和信号、和从第一检测信号减去了第二检测信号的差信号，将差信号除以和信号，生成判定用信号。将该判定用信号与阈值进行比较，判定有无短路的缺陷。

公开(公告)号：CN107567199A

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201710521158.7

申请日：2017-06-30

Applicant: OHT株式会社 ,  株式会社V技术

Inventor： 羽森宽 ,  上田淳

IPC: H05K3/22 ,  H05K3/00 ,  G01N21/956 ,  G01R31/28

Abstract: 本发明提供非接触型电路图案检查修复装置，向形成于检查对象的基板上的导电体图案以非接触方式通过电容耦合供给交流的检查信号，将通过的检查信号作为检测信号接收，进行缺陷判定，将缺陷部位的信息和基板上的位置信息进行关联并作为坐标信息存储于存储器部，在修复缺陷部位时，维持将基板固定于检查位置的状态，读出坐标信息，确定基板上的缺陷部位的位置，通过切除修复部或沉积修复部进行修复。

公开(公告)号：CN104898010A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201510161578.X

申请日：2015-03-03

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 目崎正胜 ,  片桐英树

IPC: G01R31/02

Abstract: 提供一种能够有效地进行多个印刷电路板单片的拍摄和检查的接触型电路图案检查装置和方法。用于检查包括多个印刷电路板单片的印刷电路板的接触型电路图案检查装置，其包括设置有照相机单元和检查部的探针单元。每个单片上具有位置对准特征点，照相机单元拍摄位置对准特征点，检查部与单片接触以检查单片的导电图案。该装置进一步地包括：使探针单元移动的移动机构、和计算拍摄以及检查时探针单元的最小移动路径的运算部。最小移动路径是通过对多个单片内的1个单片，采用在拍摄该单片上的所有位置对准特征点之后进行该单片的检查的条件，且对所有的多个单片采用该条件而计算得到的。

公开(公告)号：CN102608516A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210019495.3

申请日：2012-01-20

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 羽森宽

IPC: G01R31/28

Abstract: 本发明提供一种电路图案检查装置，其设有对于检查电极对的电极所对向的导电图案部分检测缺陷的补充电极。

公开(公告)号：CN101995545A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010243928.4

申请日：2010-08-02

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 羽森宽 ,  坂和正敏 ,  加藤浩介

IPC: G01R31/302 ,  G01R31/28

Abstract: 本发明涉及一种电路图案检查装置，能够解决在采用非接触方式与导体图案进行电容耦合的电极的电路图案检查装置中，随着检查对象的导电图案的微细化的进展，得到的检查信号值变小，判断缺陷变难的问题。本发明的电路图案检查装置将具备空开间隔配置的两组的传感器对的检查部移动的同时，通过电容耦合对各导电图案施加由交流信号构成的检查信号，并且通过电容耦合检测传输于导电图案的检查信号，通过利用一次移动的检查分别检测来自各导电图案的检查信号，将这些检测信号与判断基准值进行比较，从而选出缺陷候补，使在各检查信号中的导电图案的位置一致，将缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在缺陷候补的导电图案判断为不良。

公开(公告)号：CN100555771C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200480020020.X

申请日：2004-07-22

Applicant: 住友电装株式会社 ,  OHT株式会社

Inventor： 大西秀夫 ,  谷口芳和 ,  林美志夫 ,  山冈秀嗣 ,  涂冈明

IPC: H01R43/00

CPC classification number: H01R43/20 ,  H01R13/4223 ,  H01R2201/20

Abstract: 不与安装在连接器内的切压电线的端子接触，即可客观正确的判断端子是否适当的插入连接器外壳内。在连接器外壳(10)的连接器顶端附近配置两片间距为规定距离的传感板(40a、40b)，在插入连接器(10)的端子上附加交流信号，在传感板(40a、40b)上检出交流信号，由传感板处的检出电压信号的相对值检出端子插入连接器的插入深度，可以确认端子的插入状态是否适当。

公开(公告)号：CN100504413C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200480015205.1

申请日：2004-06-01

Applicant: 住友电装株式会社 ,  OHT株式会社

Inventor： 林美志夫 ,  山冈秀嗣 ,  涂冈明 ,  谷口芳和 ,  大西秀夫

IPC: G01R31/04

CPC classification number: G01R31/045 ,  H01R43/20

Abstract: 不接触安装在连接器中的线束和端子，能够客观且确实地判别端子是否合适地插入到接头架中。在连接器(10)的相对的侧面外壁附近配置传感器板(20a、20b、30a、30b)，并且，向插入到连接器(10)中的插入端子施加交流检查信号，用对置的传感器板(20a、20b)、(30a、30b)检测来自端子的交流检查信号，利用传感器板的检测信号的相对值来检测连接器中的安装位置，能够确认端子的插入状态是否合适。

公开(公告)号：CN101107537A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002741.7

申请日：2006-01-19

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 羽森宽 ,  山冈秀嗣 ,  石冈圣悟

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/2812 ,  G01R31/2806

Abstract: 本发明提供一种检查装置，在检查对象为导体的情况时，可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有：纵向较长形状的供电传感器板20，定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案15指定距离的位置，用来提供检查信号；纵向较短形状的检测传感器板30，可以被定位在接近导体图案15的检查信号检测部位，用来检测导体图案15的检查信号；将多组的传感器板组定位，使传感器板位置成为交替(交错)的位置，对于该导体图案15，可以用各组的传感器板组进行检查。