利用特定波长的光源使物体表面平坦化的方法以及装置

    公开(公告)号:CN110400748A

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201910150264.8

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本发明涉及利用特定波长的光源使物体表面平坦化的方法以及装置,该方法包括以下步骤:向主腔室内部提供待平坦化的物体;向所述主腔室内部注入蚀刻用气体;使所述特定波长的光源入射到所述物体的表面;以及控制所述物体的温度。根据上述方法,可以使在基于现有的CMP工艺的平坦化中产生的试样的划痕或者污染等副作用最小化,并由于工艺难度低,可以减少在平坦化工艺中所需的费用和时间。根据本发明的实施例,能够实现纳米单位的精致的平坦化,不仅仅是大面积的表面,还能够同时对器件侧面实施平坦化,因此可以减少平坦化工艺所需的费用和时间。另外,改善表面粗糙度,并提升导电率,从而能够提高LED器件的效率并实现高输出化。

    无动力集尘装置
    46.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106256451B

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201610313463.2

    申请日:2016-05-12

    Abstract: 本发明涉及无动力集尘装置,该无动力集尘装置附着在行驶的车辆而以无动力方式除去地下铁轨道磨损粒子或者道路上的飞扬灰尘等。用于解决上述课题的根据本发明的一实施例的无动力集尘装置作为附着在车辆的无动力集尘装置包括:中空的主体,其形成有空气入口和空气出口;集尘部,搅乱向上述主体内部流入的空气的流动方向而捕集无法跟随空气的流动的灰尘;以及吸入部,其随着上述车辆的移动,使空气从上述空气入口吸入。

    通过利用石油膏的材料转移方法

    公开(公告)号:CN106315562B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201510688142.6

    申请日:2015-10-21

    Abstract: 本发明涉及通过利用石油膏的材料转移方法,其通过使用石油膏(例如,凡士林)作为转移支撑体将材料转移到第二基底上而不损坏第二基底,并在转移之后容易地移除石油膏转移支撑体,所述材料包括:石墨烯、石墨烯氧化物、h‑BN、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2和碳纳米管,所述第二基底包括:柔性基底、导电材料、绝缘材料和半导体材料。用作转移支撑体的石油膏具有廉价、环境友好、化学稳定性等等优点,所以其能够发挥额外的功能。此外石油膏具有相对较低的熔化温度,所以具有使用低能量熔化支撑体的优点,即使在使用溶剂时,石油膏在疏水性有机溶剂中也具有很高的溶解度,使其可以被干净地移除而不在材料表面上留有残留物。

Patent Agency Ranking