电子束设备
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101281840A

    公开(公告)日:2008-10-08

    申请号:CN200810090063.5

    申请日:2008-04-02

    Inventor: 伊庭润 东尚史

    Abstract: 本发明涉及一种电子束设备。在后板上设置有形成一空间的三维结构,器件电极的布线侧部分位于所述空间中。所述三维结构的表面电势被限定为使得所述空间的电场强度比下式表示的平均电场强度弱:平均电场强度=Va/d,其中Va是阳极电极的施加电压,并且d是后板与前板之间的间隔。器件电极包括高温部,在电流流经所述器件电极时在所述高温部中局部升温。所述高温部位于所述空间内,或者位于距离所述空间小于或等于20μm的位置处。

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