含酚羟基树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109790263A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780061603.4

    申请日:2017-09-21

    申请人: DIC株式会社

    IPC分类号: C08G8/30

    摘要: 本发明的目的在于,提供不仅耐热性、碱显影性优异、而且厚膜形成时的耐裂纹性也优异的含酚羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供一种含酚羟基树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中R2、R3各自独立地为脂肪族烃基、含芳香环的烃基、烷氧基、卤原子中的任意者。]所示的结构部位(α)和下述结构式(3)(式中R4为氢原子或碳原子数1~7的脂肪族烃基。R5为氢原子或碳原子数8~24的脂肪族烃基。)所示的结构部位(β)作为重复单元,存在于树脂中的R2、R3、R5中的至少一者为碳原子数8~24的脂肪族烃基。