- 专利标题: 含酚羟基的化合物、感光性组合物、抗蚀剂用组合物、抗蚀剂涂膜、固化性组合物、抗蚀剂下层膜用组合物、及抗蚀剂下层膜
- 专利标题(英): Compound containing phenolic hydroxy group, photosensitive composition, composition for resists, resist coating film, curable composition, composition for resist underlayer films, and resist underlayer film
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申请号: CN201480041092.6申请日: 2014-06-12
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公开(公告)号: CN105392765A公开(公告)日: 2016-03-09
- 发明人: 今田知之 , 佐藤勇介 , 木本诚二
- 申请人: DIC株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: DIC株式会社
- 当前专利权人: DIC株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 2013-150516 2013.07.19 JP; 2013-150517 2013.07.19 JP; 2013-162300 2013.08.05 JP; 2013-163190 2013.08.06 JP; 2013-163193 2013.08.06 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/065573 2014.06.12
- 国际公布: WO2015/008560 JA 2015.01.22
- 进入国家日期: 2016-01-19
- 主分类号: C07C39/14
- IPC分类号: C07C39/14 ; G03F7/023 ; G03F7/11
摘要:
本发明提供耐热性优异的含酚羟基的化合物;耐热分解性、感光度以及分辨率优异的抗蚀剂用组合物;以及耐热分解性和干蚀刻耐性优异的抗蚀剂下层膜用组合物。一种含酚羟基的化合物,其特征在于,具有下述结构式(1)表示的分子结构。(式中,R1为氢原子、烷基或芳基,n为2~10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任一种,m为0~4的整数。m为2以上时,多个R2任选各自相同或不同,并任选与萘骨架的2个芳香环之中的任意一个键合)。
公开/授权文献
- CN105392765B 含酚羟基的化合物、感光性组合物、抗蚀剂用组合物、抗蚀剂涂膜、固化性组合物、抗蚀剂下层膜用组合物、及抗蚀剂下层膜 公开/授权日:2018-03-02