基于银纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法

    公开(公告)号:CN103193194A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310069978.9

    申请日:2013-03-05

    Abstract: 基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法,先制造平面平行微电极,再制造具有光刻胶导向结构的微电极系统,再进行银纳米粒子介电泳组装,最后进行有序的纳米微结构形成,本发明通过对银纳米粒子悬浮液施加高频交流电,使其在具有光刻胶导向作用下的微电极系统中,进行正介电泳力的组装,形成有序银纳米微结构的方法,可以有效的实现低成本,又简单易行地实现按照人的意志来调控图案多样、有序度高、稳定性好的自组装纳米微结构,可以广泛的应用于光电子器件、光伏器件等。

    一种用于气敏传感器制造的纳米线原位成形方法

    公开(公告)号:CN103091370A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201310007582.1

    申请日:2013-01-09

    Abstract: 一种用于气敏传感器制造的纳米线原位成形方法,先进行传感器图形化结构制造,在刚性基材表面均匀制备一层聚合物材料,在聚合物表面制备出具有应力豁口的金属薄膜电极,在此结构上制备出引线电极,然后进行一维纳米间隙结构制造,采用掩模板通过低能电子束对聚合物材料进行曝光,金属薄膜电极将在应力集中的豁口位置形成缝隙结构,然后将制成的缝隙结构置于气体敏感材料纳米粒子的悬浮液中,在金属薄膜电极两侧施加交变电场,纳米粒子形成纳米线,最后完成纳米线两端连接对电极的传感器制造;本发明解决了纳米线气敏传感器中纳米线的组装和安放的问题,达到传感器制造的批量化、低成本和一致性等制造技术属性要求。

    一种具有加热功能的微流体通道的制造工艺

    公开(公告)号:CN102275866A

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201110193100.7

    申请日:2011-07-11

    Abstract: 一种具有加热功能的微流体通道的制造工艺,先将透明石英玻璃基材清洗,在其表面制备一层SU-8光刻胶,再进行紫外曝光,紫外曝光所采用掩模板图形为微流道结构图形,然后制备纳米金属丝结构,制备方式有湿法腐蚀和Lift-off两种,最后以制备的纳米金属丝作为掩蔽,采用SU-8标准显影液浸泡,去除未曝光的区域,同时形成微流道以及悬空的纳米金属丝;在制备纳米金属丝的同时,也制作出了微流道,采用电子束直写的工艺进行纳米金属丝的加工成形,其微流道的尺度更小更精密,可作为纳米金属导线的支撑。

    等离子体显示器平板障壁的大面积压印成型方法

    公开(公告)号:CN100561638C

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200710018184.4

    申请日:2007-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体显示器平板障壁的大面积压印成型方法,该方法采用辊压模具和配套的紫外固化工艺,在PDP显示器后基板上实现大面积平板障壁结构的复型,其中障壁材料可采用低膨胀玻璃等;本发明制备的平板障壁可直接涂铺荧光材料进行高温焙烧,完成平板显示微腔制造;替代了诸如固态光刻胶膜裱贴、曝光、显影、喷砂、剥胶等现有工艺,缩减了诸如贴膜机、曝光机、显影机、喷砂机、剥胶清洗机等制造装备;利用该发明也可实现以碳纳米管为发射极的大面积场发射平板显示的显示微腔体制造。

    一种微米级特征的三维辊压模具及其制造方法

    公开(公告)号:CN101086614A

    公开(公告)日:2007-12-12

    申请号:CN200710018185.9

    申请日:2007-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种辊压模具为金属滚筒结构,滚筒的内径与外径之间镶嵌有电阻式加热器,滚筒的外径表面上形成有微米级至亚毫米级三维结构的辊压图形,该辊压图形三维特征的结构截面的尺寸组合为:截面最小宽度:L<50μm、深度:0<H<500μm、倾斜角度:90°<α<120°,辊压图形被一层类金刚石过渡薄膜所覆盖。辊压模具制造方法为:通过实施调节激光束输出能量及机械式快门的开关动作,直接在金属模具上烧结出微米级至亚毫米级三维结构的辊压图形;用镀膜机将炭原子沉积到微米级至亚毫米级三维结构的辊压图形表面,形成厚度为纳米级的类金刚石过渡层薄膜。

    一种基于仿生粘附的飞行/攀爬两栖变体机器人

    公开(公告)号:CN119460198A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411951328.1

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 一种基于仿生粘附的飞行/攀爬两栖变体机器人,包括机身,机身的四个角连接有机臂,机臂下方通过连接件和机械腿连接,机械腿通过软管与气泵连接,气泵安装在机身上,机身上连接有和机臂、机械腿配合实现飞行和攀爬功能的飞行控制单元、气泵/舵机控制单元和锂电池;飞行状态时,机臂是机器人的机翼,攀爬状态时,机臂是机器人的摆动臂;本发明将四旋翼无人机与四足机器人有机结合,同时利用仿生粘附实现攀爬功能,该机器人适应多种复杂地形,能够灵活飞行、垂直起降,并能在飞行和爬行两种模式间切换,能够贴近目标侦察、续航长,具有越障性能好、可快速转移的优点。

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