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公开(公告)号:CN100411223C
公开(公告)日:2008-08-13
申请号:CN200410047808.1
申请日:2004-06-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 酒井宽文
CPC classification number: H01J9/02 , H01J9/205 , H01J9/245 , H01J2217/49207 , H01L51/0005 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种薄膜图案的制造方法、有机场致发光元件的制造方法、滤色片的制造方法、等离子显示面板的制造方法、液晶显示面板的制造方法及电子设备。其特征是,具有在具有长轴及短轴的象素区域(1)内用液滴喷出方式涂布液状体材料的液状体涂布处理、和在液状体涂布处理中将液滴喷出装置的喷嘴头沿象素区域(1)的短轴方向(扫描线L1、L2、L3的方向)扫描,在该扫描过程中从设于该喷嘴头上的墨喷嘴向象素区域(1)喷出液滴的短轴方向喷出处理。由此,在使用液滴喷出方式形成构成象素的薄膜图案时,可以减少在该薄膜图案上产生的条状不均或可以使该条状不均分散。
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公开(公告)号:CN101231159A
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200810003019.6
申请日:2008-01-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/201 , B41J2202/09 , G01F23/292 , H01J2211/42 , H01J2329/18
Abstract: 一种像素内功能液的形态测定方法,其在具有划分出像素区域的堤的基板上,从功能液滴喷头喷出功能液滴并喷落于所述像素区域内,利用由干涉仪构成的表面形状测定装置测定喷落于所述像素区域内的像素内功能液的厚度或体积的至少之一,其特征在于,包括:利用所述表面形状测定装置测定所述像素内功能液的表面形状和所述堤的表面形状,并生成有关所述表面形状的测量参数的表面形状测定工序;将所述堤高度量的高度参数与所生成的所述测量参数的所述像素内功能液的表面的测量参数相加的堤高度相加工序;基于相加后的所述像素内功能液的表面的所述测量参数及所述堤的表面的所述测量参数,算出所述像素内功能液的厚度或体积的至少之一的形态算出工序。
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公开(公告)号:CN1971965A
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN200610139944.2
申请日:2006-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L51/00 , H01L51/56 , H01L21/00 , H01L21/3205 , H01L21/288 , H01L21/208 , H05B33/10
CPC classification number: H01L51/0003 , G02F1/133516 , H01L27/3244 , H01L27/3295 , H01L51/0007 , H01L51/56
Abstract: 一种膜形成方法,在加压工序中,对墨水(50)的周围的压力加压,从而能够使墨水(50)包含的混合溶剂的蒸发速度减少,使来自墨水(50)的中央部(50a)的溶剂的蒸发量(JE)及来自周边部50b)的蒸发量(JC)都减少。这样JE和JC之差的绝对值|JE-JC|变小,所以能够在墨水(50)的内部,使从中央部(50a)向周边部(50b)流动的混合溶剂的流速减小。混合溶剂的流速减小后,溶质就在墨水(50)的内部扩散,能够使该墨水(50)的中央部(50a)和周边部(50b)的溶质的浓度均匀。提供能够容易控制膜厚,能够获得平坦的膜的膜形成方法、有机电致发光装置的制造方法、有机电致发光装置及电子机器。
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公开(公告)号:CN1790772A
公开(公告)日:2006-06-21
申请号:CN200510136976.2
申请日:2005-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/0004
Abstract: 本发明提供了使液滴干燥形成的层叠图案的均匀性改善,同时改善其生产效率的图案形成基板、电光学装置和电光学装置的制造方法。通过将具有下层官能团26a和上层官能团26b的表面活性剂26混合于下层溶剂生成下层形成溶液25L,将由该下层形成溶液25L组成的下层液滴25D干燥形成空穴输送层。然后,设法在空穴输送层上,通过润湿并铺展由含有发光层形成材料的上层形成溶液组成的上层液滴层叠发光层。
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公开(公告)号:CN1228651C
公开(公告)日:2005-11-23
申请号:CN03800368.6
申请日:2003-05-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/0456 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04593 , B41J29/393 , B41J2202/09
Abstract: 在承载器(5)中设有:喷出与所供给的驱动脉冲相应量液滴的喷头(7),和能对每个像素区域检出喷着在滤光片基体上油墨量的液体材料传感器(17)。主控制部分(31)根据液体材料传感器(17)的检出信号水平确定可以喷出不足量液滴的波形形状的驱动脉冲,将决定的驱动脉冲波形信号输出到驱动信号发生部分(32)。驱动信号发生部分(32)因接受了波形信息而发生驱动脉冲,并向喷头(7)输出。喷头(7)对准与不足量液滴对应的像素区域,将该像素区域的油墨量调整到目标量。
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公开(公告)号:CN1578598A
公开(公告)日:2005-02-09
申请号:CN200410063861.0
申请日:2004-07-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L21/6715 , H01L27/1462
Abstract: 一种层图案制造方法,包括通过形成位于基板上的第1层和位于所述第1层上的第2层,在所述基板上形成由所述第1层和所述第2层划出的区域的步骤(a)、和从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的材料的步骤(b)。此外,所述第1层的相对于所述液状的材料的疏液性低于所述第2层的相对于所述材料的疏液性。由此,可以精度优良地稳定地形成微细化的层图案。
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公开(公告)号:CN1523944A
公开(公告)日:2004-08-25
申请号:CN200410002961.2
申请日:2004-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 酒井宽文
CPC classification number: H01L51/0005 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L27/3295 , H01L51/5048 , H01L51/5092 , H01L51/5234 , H01L2251/558
Abstract: 本发明提供一种发光体及其制造方法和制造装置、电光装置以及电子仪器。该发光体具有发光特性的经时变化不同的多个种类的发光单位,并具有调整规定种类的发光单位的所述发光特性的经时退化的退化调整机构。所述发光单位分别具有发光层和向该发光层供给空穴的空穴供给体,所述退化调整机构也可以是,在所述规定种类的发光单位中根据所述发光特性的经时退化,被调整了厚度的所述空穴供给体。
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公开(公告)号:CN107878022B
公开(公告)日:2020-09-22
申请号:CN201710896583.4
申请日:2017-09-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/01
Abstract: 本发明提供了能够抑制流体残留于喷出口的周缘的流体喷出装置以及喷出流体方法。流体喷出装置具备:收容部,收容流体;喷出口,连通于所述收容部;移动体,在所述收容部的内部,向朝向所述喷出口的第一方向和远离所述喷出口的第二方向移动;以及控制部,控制所述移动体的驱动。所述控制部执行:喷出处理,使所述移动体从闭塞所述喷出口的闭塞位置向所述第二方向移动,在开放所述喷出口之后,使所述移动体向所述第一方向移动,从所述喷出口压出并喷出所述流体;以及移动处理,在通过所述喷出处理从所述喷出口喷出所述流体的期间,使所述移动体向所述第二方向移动。
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公开(公告)号:CN108656745B
公开(公告)日:2019-12-17
申请号:CN201810205845.2
申请日:2018-03-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供能够对无用的油墨从喷嘴泄漏的情况进行抑制并且适当地将油墨喷出的液体喷出装置以及液体喷出方法。液体喷出装置具备:液室,其与用于喷出液体的喷嘴连通;流入通道,其与液室连接,并使液体流入液室;和流出通道,其与液室连接,并使液体从液室流出。控制部对第一流道阻力变更部以及第二流道阻力变更部进行控制以增大流入通道以及流出通道的流道阻力,并对容积变更部进行控制以增大液室的容积,且在流入通道以及流出通道的流道阻力增大的状态下,对容积变更部进行控制而减小液室的容积,从而使液体从喷嘴被喷出。
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公开(公告)号:CN108973331A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201810337156.7
申请日:2018-04-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高液室内的压力的控制性并提高从喷嘴的液体喷出的控制性与可靠性的技术。液体喷出装置具备:液室;流入通道,其经由流入口而与所述液室连通,且使所述液体流入所述液室;喷嘴,其经由连通口而与所述液室连通,且喷出所述液室的所述液体;容积变更部,其通过使所述液室的内壁面发生位移而对所述液室的容积进行变更,从而使所述液体从所述喷嘴喷出;流入通道阻力变更部,其对所述流入通道的容积进行变更,从而使所述流入通道的流道阻力发生变化。在所述液室中,在从所述流入口进行观察时,所述连通口位于与通过所述容积变更部而发生位移的所述内壁面中的位移量最大的位移中心部相比靠所述连通口这边的位置处。
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