公开(公告)号：CN1971965A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610139944.2

申请日：2006-09-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 酒井宽文 ,  田中贵也

IPC: H01L51/00 ,  H01L51/56 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/288 ,  H01L21/208 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0003 ,  G02F1/133516 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3295 ,  H01L51/0007 ,  H01L51/56

Abstract: 一种膜形成方法，在加压工序中，对墨水(50)的周围的压力加压，从而能够使墨水(50)包含的混合溶剂的蒸发速度减少，使来自墨水(50)的中央部(50a)的溶剂的蒸发量(JE)及来自周边部50b)的蒸发量(JC)都减少。这样JE和JC之差的绝对值|JE－JC|变小，所以能够在墨水(50)的内部，使从中央部(50a)向周边部(50b)流动的混合溶剂的流速减小。混合溶剂的流速减小后，溶质就在墨水(50)的内部扩散，能够使该墨水(50)的中央部(50a)和周边部(50b)的溶质的浓度均匀。提供能够容易控制膜厚，能够获得平坦的膜的膜形成方法、有机电致发光装置的制造方法、有机电致发光装置及电子机器。

公开(公告)号：CN1943879A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200610151641.2

申请日：2006-09-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 酒井宽文 ,  田中贵也

IPC: B05D1/00 ,  B05C11/10 ,  B05C11/02 ,  B05D7/24 ,  H05B33/10 ,  G09F9/00

Abstract: 本发明的膜图案的形成方法，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液(L)配置到基体(P)上并干燥所述功能液(L)，来形成由所述功能性材料构成的膜图案(F)，该方法具有：在形成有所述膜图案(F)的所述基体(P)的有效区域(TE)和所述有效区域(TE)的周围的非有效区域(T1、T2、T3)形成液体容纳部(PE、PD)的工序，在形成于所述有效区域(TE)的所述液体容纳部(PE)配置所述功能液(L)的工序，和在形成于所述非有效区域(T1、T2、T3)的所述液体容纳部(PD)配置所述功能液(L)或所述溶剂的工序，在距离所述有效区域(TE)的中心部(C)越远的区域，在所述非有效区域(T1、T2、T3)的所述液体容纳部(PD)配置的所述溶剂的量越多。本发明提供一种可在基板面内形成均匀膜厚图案的膜图案的形成方法。