公开(公告)号：CN101231159A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200810003019.6

申请日：2008-01-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 酒井宽文 ,  阿南诚

IPC: G01B11/06 ,  G01M11/00 ,  G02F1/13 ,  H01L21/66 ,  B41J2/04 ,  B41J2/21

CPC classification number: G02B5/201 ,  B41J2202/09 ,  G01F23/292 ,  H01J2211/42 ,  H01J2329/18

Abstract: 一种像素内功能液的形态测定方法，其在具有划分出像素区域的堤的基板上，从功能液滴喷头喷出功能液滴并喷落于所述像素区域内，利用由干涉仪构成的表面形状测定装置测定喷落于所述像素区域内的像素内功能液的厚度或体积的至少之一，其特征在于，包括：利用所述表面形状测定装置测定所述像素内功能液的表面形状和所述堤的表面形状，并生成有关所述表面形状的测量参数的表面形状测定工序；将所述堤高度量的高度参数与所生成的所述测量参数的所述像素内功能液的表面的测量参数相加的堤高度相加工序；基于相加后的所述像素内功能液的表面的所述测量参数及所述堤的表面的所述测量参数，算出所述像素内功能液的厚度或体积的至少之一的形态算出工序。

公开(公告)号：CN101231159B

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200810003019.6

申请日：2008-01-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 酒井宽文 ,  阿南诚

IPC: G01B11/06 ,  G01M11/00 ,  G02F1/13 ,  H01L21/66 ,  B41J2/04 ,  B41J2/21

CPC classification number: G02B5/201 ,  B41J2202/09 ,  G01F23/292 ,  H01J2211/42 ,  H01J2329/18

Abstract: 一种像素内功能液的形态测定方法，其在具有划分出像素区域的堤的基板上，从功能液滴喷头喷出功能液滴并喷落于所述像素区域内，利用由干涉仪构成的表面形状测定装置测定喷落于所述像素区域内的像素内功能液的厚度或体积的至少之一，其特征在于，包括：利用所述表面形状测定装置测定所述像素内功能液的表面形状和所述堤的表面形状，并生成有关所述表面形状的测量参数的表面形状测定工序；将所述堤高度量的高度参数与所生成的所述测量参数的所述像素内功能液的表面的测量参数相加的堤高度相加工序；基于相加后的所述像素内功能液的表面的所述测量参数及所述堤的表面的所述测量参数，算出所述像素内功能液的厚度或体积的至少之一的形态算出工序。