公开(公告)号：CN103575261A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310308770.8

申请日：2013-07-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山口啓一 ,  小仓诚一郎 ,  菊池尊行 ,  西泽竜太 ,  大泽征司

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P9/04 ,  Y10T29/49 ,  Y10T74/12

Abstract: 本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

公开(公告)号：CN101676730B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200910166604.2

申请日：2009-08-20

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  龟田高弘

IPC: G01P15/097 ,  G01L1/10

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P2015/0828

Abstract: 本发明提供一种耐冲击性优秀的振动型传感器，其通过防止因施加于传感器的冲击等而产生于振动片的应力集中，来防止振动片的破损。上述振动型传感器具有：振动片(11)，其具有以预定的共振频率在平面方向弯曲振动的梁状的振动臂(15、16)，并且从振动臂(15、16)的一个端部起依次形成有第一基部(12)、第一收缩部(8)和第一支撑部(17)，而且从振动臂(15、16)的另一端部起依次形成有第二基部(13)、第二收缩部(9)和第二支撑部(18)；以及基座(23)，其用于支撑振动片(11)，振动片(11)的第一支撑部(17)和第二支撑部(18)的一个主面(31)与基座(23)连接。

公开(公告)号：CN102098022A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010583309.X

申请日：2010-12-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太

IPC: H03H9/21 ,  G01C19/56

CPC classification number: H03H9/19 ,  G01C19/5628 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明提供降低了振动损失，在用作角速度传感器时检测灵敏度高的振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。振动片(10)具有：基部(20)；从基部延伸的多个振动臂(40、50)，具有彼此相对的第1主面(11)和第2主面(12)、以及连接第1主面和第2主面且彼此相对的侧面(41、51)和侧面(42、52)，至少振动臂(40)的侧面(41)具有从第1主面侧起设置的第1阶梯部(43)和从第2主面侧起设置的第2阶梯部(44)，振动片具有：检测电极(71)，设于振动臂(40)的侧面(42)；检测电极(72)，设于第1阶梯部的与检测电极相对的位置；检测电极(73)，设于第2阶梯部的与检测电极相对的位置。

公开(公告)号：CN101676730A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200910166604.2

申请日：2009-08-20

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  龟田高弘

IPC: G01P15/097 ,  G01L1/10

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P2015/0828

Abstract: 本发明提供一种耐冲击性优秀的振动型传感器，其通过防止因施加于传感器的冲击等而产生于振动片的应力集中，来防止振动片的破损。上述振动型传感器具有：振动片(11)，其具有以预定的共振频率在平面方向弯曲振动的梁状的振动臂(15、16)，并且从振动臂(15、16)的一个端部起依次形成有第一基部(12)、第一收缩部(8)和第一支撑部(17)，而且从振动臂(15、16)的另一端部起依次形成有第二基部(13)、第二收缩部(9)和第二支撑部(18)；以及基座(23)，其用于支撑振动片(11)，振动片(11)的第一支撑部(17)和第二支撑部(18)的一个主面(31)与基座(23)连接。

公开(公告)号：CN101162237A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200710152427.3

申请日：2007-10-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  田中雅子

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/09 ,  G01P15/10

Abstract: 本发明提供一种小型且灵敏度高的加速度传感器。加速度传感器(1)是由固定在基座上的基部(20)和从基部延伸出来并以预定的谐振频率在平面方向上弯曲振动的梁状的振动臂(21)构成的振动体(10)，其中，振动臂具有：在宽度方向的中央部被在与振动方向垂直且开设于长度方向上的贯通开口(22)剖分的振动臂部(23、24)；具有与连接被剖分的振动臂部的前端部的基部同等或者更大质量的附加质量部(25)；以及设置在振动臂部上的励磁电极(31～34)，振动臂由基部与附加质量部以伪双端固定结构支撑，该加速度传感器检测当被施加加速度时的由附加质量部的惯性效果带来的振动体的谐振频率变化。