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公开(公告)号：CN104333338A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410347246.6
申请日：2014-07-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体。与现有的制造方法相比，能够提高作为压电膜的功能，并且能够通过抑制应力迁移来提高压电膜的可靠性。压电膜制造方法包括以下工序：在N2气体和Ar气体的混合气氛中，将Al-Cu合金(52)作为成膜材料，使用溅射法形成压电体(13)。
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公开(公告)号：CN102195608A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110064912.1
申请日：2011-03-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎隆
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/02086 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种能够减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动的振动体、振动装置以及电子设备。为此，振动装置的振动体具有：基部；两个振动臂，其以从基部起向Y轴方向延伸、并在与Y轴方向正交的X轴方向上排列的方式而被设置；激励电极，其在各个振动臂上各设置一对，并通过通电而使振动臂振动，其中，在一对激励电极中的至少一个激励电极上，局部地形成有多个在其厚度方向上贯穿的微小的孔，由此，调节了振动臂的振动特性。
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公开(公告)号：CN102035499A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010502124.1
申请日：2010-09-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，抑制了因热弹性损失引起的Q值的降低，提高了弯曲振动的效率。振动臂部在一方的主面上具有沿着振动臂部的第1方向设置的第1槽部，在另一方的主面上具有第2槽部和第3槽部，该第2槽部在第2方向上与第1槽部并列地设置，该第3槽部在第1方向上与第1槽部并列地设置，且相比于第1槽部，被设置在基部侧，在一方的主面上具有第4槽部，该第4槽部在第1方向上与第2槽部并列地设置，且相比于第2槽部，被设置在基部侧，第1槽部的深度与第2槽部的深度之和、以及第3槽部的深度与第4槽部的深度之和大于一方的主面与另一方的主面之间的距离。
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公开(公告)号：CN111865259A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010330386.8
申请日：2020-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。振动器件具有：基座基板，其由硅构成，具有第1面以及与所述第1面相反的一侧的第2面；盖体，其与所述基座基板接合；振动元件，其配置于所述基座基板的所述第1面，并被收纳于所述基座基板与所述盖体之间；以及热敏电阻元件，其配置于所述基座基板。
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公开(公告)号：CN111130494A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911325428.2
申请日：2015-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供电子器件、电子设备和移动体。电子器件具备：振动基板，其具备振动片和框部，其中，该振动片具备基部和从所述基部延伸的振动臂，该框部连接于所述基部并且在俯视时包围所述振动片；基础部，其支承所述框部，并且在俯视时呈矩形；端子部，其在俯视时沿着与所述振动臂延伸的方向交叉的方向而与所述振动片并排；以及盖体部，其具有比所述基础部小的外形；在俯视时，所述振动臂延伸的方向相对于所述基础部的所述矩形的边延伸的方向倾斜，所述盖体部在俯视时与所述振动片重叠，且构成为使所述端子部露出。
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公开(公告)号：CN110071701A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910052463.5
申请日：2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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公开(公告)号：CN104660207B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201410646261.0
申请日：2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)包含振动片(3)，振动片(3)具有：基部(31)、振动臂(32)、连接部(34)以及连结基部(31)与连接部(34)的连结部(35)，在设振动片(3)的厚度为T、基部31的宽度为W1、连结部35的宽度为W2时，满足50μm≤T≤210μm、0.067≤W2/W1≤0.335的关系，在设振动臂(32)的臂部(321)的宽度为W3、锤头(322)的宽度为W4时，满足W4≥2.8W3的关系。
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公开(公告)号：CN104993803A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510354535.3
申请日：2012-01-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎隆
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/0547 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备。振动片具有基部和从基部起在第1方向上延伸的至少3根振动臂，各振动臂排列在与第1方向垂直的第2方向上，在沿着由第1方向和第2方向确定的平面的主面的至少一方上具有激励电极，各振动臂的各激励电极具有：设置在主面侧的第1电极；与第1电极相对地设置的第2电极；以及在第1电极与第2电极之间延伸的压电体，在设第1振动臂在第2方向上的臂宽为W1、第2振动臂在第2方向上的臂宽为W、且从第3方向观察时，第1振动臂的第1电极、第2电极以及压电体重叠的宽度为A1’、第2振动臂各自的第1电极、第2电极以及压电体重叠的宽度为A’时，1.35＜W1/W＜1.90且1.35＜A1’/A’＜1.90。
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公开(公告)号：CN102629860B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201210020835.4
申请日：2012-01-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎隆
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/0547 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，振动片具有在厚度方向上振动的振动臂，且能够维持Q值。石英振动片(1)具有：基部(10)；从基部(10)起在Y轴方向上延伸的3根振动臂(11a、11b、11c)，振动臂(11a、11b、11c)排列在与Y轴方向垂直的X轴方向上，在沿着由Y轴方向和X轴方向确定的平面的主面(10a)上具有激励电极(12a、12b、12c)，且在与主面(10a)垂直的Z轴方向上振动，在设振动臂内的、位于排列的中央的振动臂(11b)的X轴方向臂宽为W1、振动臂(11a、11c)的X轴方向臂宽为W、振动臂(11b)的激励电极(12b)的X轴方向电极宽度为A1、振动臂(11a、11c)的激励电极(12a、12c)的X轴方向电极宽度为A时，1.35＜W1/W＜1.90且1.35＜A1/A＜1.90。
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